الغاز الذي يشيع استخدامه في الاخرق هو الأرجون، بسبب طبيعته الخاملة، ومعدل الاخرق العالي، وسعره المنخفض، وتوافره في شكل نقي. وتُستخدم أيضًا غازات خاملة أخرى مثل الكريبتون والزينون، خاصةً في رش العناصر الثقيلة، لأن أوزانها الذرية أقرب إلى تلك العناصر، مما يسهل نقل الزخم بكفاءة. يمكن أيضًا استخدام الغازات التفاعلية مثل الأكسجين والنيتروجين في الاخرق التفاعلي لتكوين مركبات على سطح الهدف أو أثناء الطيران أو على الركيزة.
الأرجون كغاز الاخرق الأساسي:
يُفضَّل استخدام الأرجون في عمليات الاخرق في المقام الأول لأنه غاز خامل، مما يعني أنه لا يتفاعل بسهولة مع العناصر الأخرى. وهذه الخاصية حاسمة في الحفاظ على سلامة المادة المستهدفة والفيلم المترسب. بالإضافة إلى ذلك، يتمتع الأرجون بمعدل رش مرتفع، مما يعزز كفاءة عملية الترسيب. كما أن تكلفته المنخفضة وتوافره على نطاق واسع يجعله خياراً اقتصادياً للتطبيقات الصناعية والمعملية.استخدام الغازات الخاملة الأخرى:
على الرغم من أن الأرجون هو الأكثر شيوعًا، إلا أن الغازات النادرة الأخرى مثل الكريبتون (Kr) والزينون (Xe) تُستخدم أحيانًا، خاصة عند رش العناصر الثقيلة. هذه الغازات لها أوزان ذرية أقرب إلى أوزان المواد المستهدفة الأثقل، مما يحسن من كفاءة نقل الزخم أثناء عملية الاخرق. وهذا مهم بشكل خاص لتحقيق أغشية رقيقة عالية الجودة ذات خصائص مرغوبة.
الاخرق التفاعلي بغازات مثل الأكسجين والنيتروجين:
في عملية الاخرق التفاعلي، يتم استخدام الغازات غير الخاملة مثل الأكسجين أو النيتروجين مع المواد المستهدفة الأولية. وتتفاعل هذه الغازات كيميائياً مع ذرات الرذاذ، مما يؤدي إلى تكوين مركبات جديدة تعمل كمواد طلاء. وتُعد هذه الطريقة مفيدة بشكل خاص لترسيب أغشية الأكسيد أو النيتريد، والتي تعتبر ضرورية في مختلف التطبيقات التكنولوجية، بما في ذلك الإلكترونيات والبصريات.
التكوين والتحسين الأمثل لأنظمة الاخرق:
