عادةً ما يكون غاز الرش غازًا خاملًا، مثل الأرجون، الذي يتم استخدامه في عملية الرش. الرش هو طريقة لترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم البلازما الغازية لطرد الذرات من سطح المادة الصلبة المستهدفة. في هذه العملية، يتم تسريع أيونات الغاز الخامل إلى المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى قذف الذرات على شكل جسيمات محايدة. ثم تعبر هذه الجسيمات المحايدة وتترسب كطبقة رقيقة على سطح الركيزة.
تتضمن عملية الرش وضع الركيزة والمواد المستهدفة في غرفة مفرغة مملوءة بغاز خامل. عند تطبيق جهد كهربائي عالي، تنجذب أيونات الغاز الموجبة الشحنة إلى المادة المستهدفة المشحونة سالبًا، مما يسبب الاصطدامات. تؤدي هذه الاصطدامات إلى طرد الذرات من المادة المستهدفة، والتي تترسب بعد ذلك على الركيزة، وتشكل طبقة رقيقة.
يتم إجراء الرش في فراغ للحفاظ على بيئة معقمة وخالية من التلوث. وهو شكل متعدد الاستخدامات لترسيب البخار الفيزيائي الذي يمكن استخدامه لترسيب طبقات من المواد الموصلة أو العازلة. يمكن تصنيف تقنية الاخرق كذلك إلى أنواع فرعية مثل التيار المباشر (DC)، والتردد الراديوي (RF)، والتردد المتوسط (MF)، والعاصمة النبضية، وHPIMS، ولكل منها إمكانية تطبيقها الخاصة.
بشكل عام، يلعب غاز الاخرق، مثل الأرجون، دورًا حاسمًا في عملية الاخرق عن طريق تسهيل إزاحة الذرات من المادة المستهدفة وترسب طبقة رقيقة على الركيزة.
هل تبحث عن غاز ومعدات رش عالية الجودة لعملية ترسيب الأغشية الرقيقة لديك؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! تم تصميم الغاز الخامل الخاص بنا، مثل الأرجون، خصيصًا لتطبيقات الرش، مما يضمن ترسيبًا فعالاً ودقيقًا. من خلال غرف التفريغ الحديثة والمواد المستهدفة الموثوقة، فإننا نوفر بيئة معقمة وخالية من التلوث لتجاربك. ثق بـ KINTEK لتلبية جميع احتياجات معدات المختبرات الخاصة بك. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد وتحسين عملية ترسيب الأغشية الرقيقة.
