وعادةً ما يكون غاز الاخرق غاز خامل، مثل الأرجون، يستخدم في عملية الاخرق.
الاخرق هو طريقة لترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم البلازما الغازية لإزاحة الذرات من سطح مادة مستهدفة صلبة.
وفي هذه العملية، يتم تسريع أيونات الغاز الخامل في المادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات في شكل جسيمات متعادلة.
ثم تجتاز هذه الجسيمات المتعادلة وتترسب على شكل طبقة رقيقة على سطح الركيزة.
5 نقاط أساسية لفهم العملية
1. دور الغاز الخامل
تتضمن عملية الاخرق وضع ركيزة ومادة مستهدفة في غرفة تفريغ مملوءة بغاز خامل.
2. تطبيق الجهد العالي
عندما يتم تطبيق جهد كهربائي عالٍ، تنجذب الأيونات الموجبة الشحنة للغاز إلى المادة المستهدفة السالبة الشحنة، مما يسبب تصادمات.
3. طرد الذرة
تؤدي هذه التصادمات إلى طرد الذرات من المادة المستهدفة، والتي تترسب بعد ذلك على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
4. بيئة الفراغ
يتم إجراء الاخرق في فراغ للحفاظ على بيئة معقمة وخالية من التلوث.
5. تعدد استخدامات الاخرق
إنه شكل متعدد الاستخدامات من أشكال ترسيب البخار الفيزيائي الذي يمكن استخدامه لترسيب طلاءات المواد الموصلة أو العازلة.
ويمكن تصنيف تقنية الاخرق إلى أنواع فرعية مثل التيار المباشر (DC)، والترددات الراديوية (RF)، والترددات المتوسطة (MF)، والتيار المستمر النبضي (DC)، و HiPIMS، ولكل منها قابلية تطبيق خاصة بها.
وعمومًا، يلعب غاز الاخرق، مثل الأرجون، دورًا حاسمًا في عملية الاخرق من خلال تسهيل إزاحة الذرات من المادة المستهدفة وترسيب طبقة رقيقة على الركيزة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن غاز ومعدات رش عالية الجودة لعملية ترسيب الأغشية الرقيقة الخاصة بك؟ لا تبحث أكثر من KINTEK!
تم تصميم غازنا الخامل، مثل الأرجون، خصيصًا لتطبيقات الترسيب بالأغشية الرقيقة، مما يضمن ترسيبًا فعالاً ودقيقًا.
وبفضل غرف التفريغ المتطورة والمواد المستهدفة الموثوق بها، نوفر بيئة معقمة وخالية من التلوث لتجاربك.
ثق في KINTEK لجميع احتياجاتك من معدات المختبر.
اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد وتحسين عملية ترسيب الأغشية الرقيقة الخاصة بك.
