يعد منع تسربات التفريغ أمرًا بالغ الأهمية للحفاظ على كفاءة أنظمة التفريغ وطول عمرها الافتراضي.
7 إستراتيجيات أساسية لمنع تسربات الفراغ
1. ضمان التصنيع والتجميع السليم
الخطوة الأكثر أهمية هي قياس الأشكال والأبعاد بدقة أثناء التصنيع.
وهذا يضمن ملاءمة المكونات معًا بشكل مثالي، مما يقلل من احتمالية حدوث تسربات.
2. اختبار إحكام الإغلاق
من الضروري إجراء اختبار منتظم لمدى إحكام إغلاق أنظمة تدفق الغاز، بما في ذلك حالة تركيبات الشفة.
يمكن القيام بذلك باستخدام أجهزة كشف تسرب الهيليوم أو تحليل الغازات المتبقية لتحديد أماكن التسريبات الصغيرة غير المرئية بالعين المجردة.
3. صيانة واستبدال مركبات منع التسرب
يعد تتبع مواقع التسرب السابقة واستبدال مركبات العزل المؤقتة أمرًا بالغ الأهمية.
يقلل هذا النهج الاستباقي من المشاكل المستقبلية ويمنع تعطل المعدات غير المتوقع.
4. استخدام الغازات الخاملة
يساعد تطهير أنظمة تدفق الغاز بالغازات الخاملة على منع التسربات والتلوث.
وهذا مهم بشكل خاص في الأنظمة التي تتم فيها معالجة المواد التفاعلية.
5. الحد من الغازات المنبعثة
يمكن تقليل الغازات الخارجة عن طريق التجفيف قبل ضخ التفريغ.
تتطلب أنظمة التفريغ العالي غرفًا معدنية مزودة بموانع تسرب حشية معدنية، وهي أكثر موثوقية من الحشيات المطاطية المستخدمة في أنظمة التفريغ المنخفضة.
يجب الحفاظ على النظام نظيفًا وخاليًا من المواد العضوية لتقليل الانبعاثات الغازية.6. تحسين كفاءة الضخ بالنسبة للتطبيقات الحرجة، فإن الحفاظ على معدل تسرب أقل من 5 ميكرون/ساعة أمر إلزامي.
