للكشف عن التسريبات في نظام التفريغ، وخاصة في أفران التفريغ، يتم استخدام عدة طرق. هذه الطرق ضرورية للحفاظ على سلامة وكفاءة نظام التفريغ، وضمان عدم تجاوز معدل التسرب للعتبات الحرجة التي يمكن أن تؤثر على أداء الفرن.
طريقة الكشف عن الحقن:
تنطوي هذه الطريقة التقليدية على تفريغ الفرن ثم استخدام غاز الهيليوم خارج الفرن، وعادةً ما يتم ذلك باستخدام مطياف كتلة الهيليوم. يكتشف المطياف أي هيليوم يدخل إلى نظام التفريغ من خلال التسريبات، مما يشير إلى وجود التسريبات وموقعها. هذه الطريقة فعالة حيث أن الهيليوم جزيء صغير يمكن أن يخترق بسهولة من خلال أصغر التسريبات، واستخدامه مع مطياف الكتلة يوفر كشفًا دقيقًا.طريقة الكشف عن الفوهة:
هذه الطريقة مناسبة للأجسام التي لا يمكن إخلاؤها، مثل المبادلات الحرارية، والشفاه المبردة بالماء، وممرات التغذية الكهربائية. يتم ملء الجسم المراد فحصه بغاز يشير إلى التسرب، وعادةً ما يكون الهيليوم. وبعد ذلك يتم استخدام جهاز استشعار، غالبًا ما يكون مطياف كتلة الهيليوم، لفحص أي غاز يتسرب. هذه الطريقة مفيدة عندما يكون التطبيق المباشر للتفريغ غير ممكن عملياً.
كشف تسرب الغاز الخامل:
سلامة أنظمة الغاز الخامل أمر بالغ الأهمية أيضًا في أفران التفريغ. تشمل الطرق الشائعة للكشف عن التسريبات في أنظمة الغاز الخامل طريقة الغشاء (فقاعة الصابون) والكشف عن تسرب التفريغ. تتضمن طريقة فقاعات الصابون وضع محلول صابون على المناطق المشتبه بها ومراقبة الفقاعات التي تتشكل في حالة وجود تسرب. يتضمن كشف التسرب بالتفريغ مراقبة معدل ارتفاع الضغط في النظام للكشف عن أي تسرب.الصيانة الوقائية والمراقبة:
تعتبر الصيانة الوقائية المنتظمة والمراقبة المستمرة لمستويات التفريغ أثناء المعالجة ضرورية لتحديد التسريبات ومعالجتها على الفور. ويشمل ذلك الفحص المنتظم لتغذية التفريغ، والمضخات، والحلقات O، وأسطح ختم الشفة. إذا تم اكتشاف تسرب، عادةً ما يتم ردم الفرن بالنيتروجين وإعادة اختباره. إذا استمر التسريب، يلزم إجراء صيانة أكثر شمولاً، بما في ذلك فحص تسرب الهيليوم.
