كربيد السيليكون (SiC) ليس عازلًا كهربائيًا جيدًا؛ في الواقع، تُظهر أشكال معينة من كربيد السيليكون، وخاصة تلك التي يتم إنتاجها بواسطة الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، مقاومة كهربائية منخفضة، مما يجعلها موصلات معقولة للكهرباء. وتتجلى هذه الخاصية بشكل خاص في "كربيد السيليكون منخفض المقاومة بالترسيب الكيميائي بالبخار CVD"، والذي يتميز بمقاومة سائبة، حيث تبلغ مقاومته السائبة أقل من 0.1 أوم-سم.
شرح التوصيلية الكهربائية في كربيد السيليكون:
تتأثر الموصلية الكهربائية لكربيد السيليكون بطريقة إنتاجه والظروف المحددة التي تتم معالجته في ظلها. يمكن هندسة كربيد السيليكون CVD، على وجه الخصوص، بحيث تكون مقاومته الكهربائية منخفضة للغاية، حوالي واحد أوم سم، وهو ما يصنفه كموصل وليس عازل. وتُعزى هذه المقاومة المنخفضة إلى النقاء العالي والتحكم الدقيق في عملية الترسيب، مما يسمح بإنشاء مادة ذات عيوب وشوائب أقل من شأنها أن تعيق تدفق الإلكترونات.التطبيقات التي تستفيد من الموصلية الكهربائية لمادة SiC:
تفتح الخصائص الموصلة لكربيد السيليكون CVD العديد من التطبيقات في صناعة أشباه الموصلات. ويُستخدم في مكونات مثل المستقبلات، وغرف المعالجة، وألواح توزيع الغاز، والأظرف الكهروستاتيكية، حيث تكون الموصلية الكهربائية ضرورية. بالإضافة إلى ذلك، تسمح قدرتها على توصيل الكهرباء باستخدام طرق التفريغ الكهربائي (EDM) في تصنيع الأجزاء الدقيقة، وهو أمر مفيد بشكل خاص لتوليد ثقوب صغيرة ذات نسبة عرضية عالية.
التباين مع خصائص SiC العامة:
بينما تُظهر كربيد السيليكون CVD خصائص موصلة للكهرباء، من المهم ملاحظة أنه ليست كل أشكال كربيد السيليكون موصلة للكهرباء. قد يكون لكربيد السيليكون العام، وخاصةً الأصناف الملبدة أو المرتبطة بالتفاعل، خصائص عازلة اعتمادًا على نقاوتها وبنيتها المجهرية. كما يمكن لطبقة أكسيد السيليكون الواقية التي تتشكل على كربيد السيليكون في الهواء عند درجات حرارة عالية أن تعزز خصائصه العازلة.
