وتتميز خواص السوائل المستخدمة في مضخات الانتشار، ولا سيما البولي فينيل الأثير وبولي إيثر البيرفلوروبولي إيثر، بانخفاض ضغط بخارها ومقاومتها للتحلل والخمول الكيميائي. ويتميز بولي فينيل الأثير متعدد الفينيل بضغط بخاره المنخفض ومقاومته للقصف الإلكتروني، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات عالية التفريغ. ومن ناحية أخرى، فإن البيرفلوروبولي إيثر خامل للغاية بالنسبة للأكسجين والهالوجينات والأحماض، ويتحلل إلى غاز دون المساس بالسائل الرئيسي، على الرغم من أنه يكون سامًا عند التحلل.
بولي فينيل الأثير:
يتم اختيار البولي فينيل إيثر بسبب ضغط بخاره المنخفض للغاية، وهو أمر حاسم للحفاظ على تفريغ عالي في مضخات الانتشار. وتعد مقاومته للقصف الإلكتروني مفيدة بشكل خاص في البيئات التي قد تتعرض فيها المضخة لجسيمات عالية الطاقة، كما هو الحال في الفحص المجهري بالحزمة الإلكترونية أو عمليات الترسيب بالتفريغ. وعلى الرغم من أنه أكثر تكلفة من زيت السيليكون، إلا أن خصائص أدائه تجعله خياراً مفضلاً لتطبيقات محددة حيث يتطلب تفريغاً عالياً وثباتاً تحت القصف الإلكتروني.البيرفلوروبولي إيثر:
إن البيرفلوروبولي إيثر المشبع بالفلور هو نوع من السوائل حيث يتم استبدال جميع ذرات الهيدروجين في الهيدروكربون بذرات الفلور، مما يؤدي إلى زيادة الوزن الجزيئي وتعزيز الاستقرار الكيميائي. هذا السائل خامل بالنسبة للكثير من المواد الكيميائية العنيفة، بما في ذلك الأكسجين والهالوجينات والأحماض، مما يجعله مثالياً للاستخدام في البيئات التي قد توجد فيها مثل هذه المواد. ويضمن تحللها إلى غاز عند تحللها بقاء السائل الرئيسي سليماً، على الرغم من أن الغاز الناتج سام ويتطلب مناولة واحتواء دقيقين.
اعتبارات عامة لمضخات الانتشار:
عند اختيار سائل لمضخات الانتشار، من الضروري مراعاة جودة الزيت لضمان الأداء الأمثل والحد الأدنى من الصيانة. تساعد الزيوت عالية الجودة في تحقيق مستويات التفريغ المطلوبة (تتراوح من 10-2 إلى 10-10 تور) وهي ضرورية لتطبيقات مثل الفحص المجهري بالحزمة الإلكترونية والترسيب بالتفريغ وأفران التفريغ. إن بساطة التشغيل وقلة الأجزاء المتحركة في مضخات التفريغ تجعلها متينة وموثوقة، مما يتطلب صيانة تركز في المقام الأول على الحفاظ على مستوى الزيت المناسب وضمان عمل السخانات.
التوافق الكيميائي والصيانة الكيميائية:
