فيلم الرذاذ عبارة عن طبقة رقيقة من المواد التي يتم إنشاؤها من خلال عملية تسمى الرذاذ، وهي نوع من الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD). وفي هذه العملية، تُقذف الذرات من مادة مصدر، تُعرف باسم الهدف، عن طريق نقل الزخم من جسيم قاذف، وهو عادةً جزيء غاز مؤين. وبعد ذلك ترتبط الذرات المقذوفة بالركيزة على المستوى الذري، وتشكل طبقة رقيقة ذات رابطة غير قابلة للكسر تقريبًا.
تحدث عملية الاخرق في غرفة تفريغ، حيث يتم حقن كمية صغيرة من غاز الأرجون. يتم وضع المادة المستهدفة والركيزة على جوانب متقابلة من الغرفة، ويتم تطبيق جهد كهربائي بينهما باستخدام طرق مثل التيار المباشر (DC) أو التردد اللاسلكي (RF) أو التردد المتوسط. تقوم الجسيمات عالية الطاقة بقصف المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تبادل الذرات والجزيئات لتبادل الزخم والخروج من السطح، وهي ظاهرة تعرف باسم الاخرق.
يعتبر الاخرق تقنية مثبتة قادرة على ترسيب أغشية رقيقة من مجموعة واسعة من المواد على أشكال وأحجام متنوعة من الركائز. هذه العملية قابلة للتكرار ويمكن توسيع نطاقها من مشاريع البحث والتطوير الصغيرة إلى دفعات الإنتاج التي تتضمن مساحات ركيزة متوسطة إلى كبيرة. ولتحقيق الخصائص المرغوبة في الغشاء الرقيق المترسب بالرشاش، فإن عملية التصنيع المستخدمة لتصنيع هدف الرش أمر بالغ الأهمية. ويمكن أن تتكون المادة المستهدفة من عنصر أو خليط من العناصر أو السبائك أو المركبات، ومن الضروري إجراء عملية إنتاج المادة المحددة في شكل مناسب لتصنيع الأغشية الرقيقة بالرش الرذاذ بجودة متسقة.
وتتمثل إحدى مزايا عملية الاخرق في أن الذرات المقذوفة بالرشاش لها طاقات حركية أعلى بكثير من المواد المبخرة، مما يؤدي إلى التصاق أفضل. ويمكن إجراء عملية الرشق من الأسفل إلى الأعلى أو من الأعلى إلى الأسفل، وحتى المواد ذات نقاط الانصهار العالية جداً يمكن رشها بسهولة. تُظهر الأفلام المرشوشة تماثلًا وكثافة ونقاءً والتصاقًا ممتازًا. من الممكن إنتاج سبائك ذات تركيبة دقيقة باستخدام الرش التقليدي أو الأكاسيد والنتريدات والمركبات الأخرى عن طريق الرش التفاعلي.
أطلق العنان لإمكانات المواد الخاصة بك مع KINTEK SOLUTION! جرب دقة وموثوقية أنظمة الاخرق المتطورة لدينا، المصممة لترسيب أغشية رقيقة موحدة وعالية الجودة مع التصاق لا مثيل له. اكتشف كيف يمكن لأهداف وعمليات الاخرق المتقدمة لدينا أن ترفع من قدراتك البحثية والإنتاجية - اتصل بنا اليوم لاستكشاف حلولنا المتطورة لتطبيقات PVD والارتقاء بمشروعك إلى آفاق جديدة!
