الرذاذ المغنطروني هو تقنية ترسيب بخار فيزيائي (PVD) تستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز عن طريق تأيين المادة المستهدفة في غرفة تفريغ. تنطوي العملية على استخدام مجال مغناطيسي لتوليد بلازما تؤين المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى رشها أو تبخيرها وترسيبها على الركيزة.
ملخص الإجابة:
ينطوي الاخرق المغنطروني على استخدام مجال مغناطيسي لتعزيز عملية الاخرق، وتحسين معدلات الترسيب والسماح بطلاء المواد العازلة. تتأين المادة المستهدفة بواسطة البلازما، وتترسب الذرات المقذوفة على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة.
-
شرح تفصيلي:نظرة عامة على العملية:
-
في الرش المغنطروني المغنطروني، توضع المادة المستهدفة في غرفة مفرغة من الهواء ويتم قصفها بأيونات نشطة من البلازما. يتم تسريع هذه الأيونات نحو الهدف، مما يتسبب في طرد الذرات من سطح الهدف. ثم تنتقل هذه الذرات المقذوفة، أو الجسيمات المنبثقة، عبر الفراغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
-
دور المجال المغناطيسي:
-
الابتكار الرئيسي في الرش المغناطيسي هو استخدام المجال المغناطيسي. يتم توليد هذا المجال بواسطة مغناطيسات موضوعة تحت المادة المستهدفة. ويحبس المجال المغناطيسي الإلكترونات في منطقة قريبة من الهدف، مما يعزز تأين غاز الرش وزيادة كثافة البلازما. ويزيد هذا الحبس للإلكترونات بالقرب من الهدف من معدل تسارع الأيونات نحو الهدف، وبالتالي زيادة معدل الاخرق.المزايا والتطبيقات:
-
يعتبر الاخرق المغنطروني مفيداً لأنه يسمح بمعدلات ترسيب أعلى مقارنة بطرق الاخرق التقليدية. كما أنه يتيح ترسيب المواد العازلة، وهو ما لم يكن ممكناً باستخدام تقنيات الرش بالمغناطيسية السابقة بسبب عدم قدرتها على الحفاظ على البلازما. وتُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات والبصريات والإلكترونيات الدقيقة لترسيب الأغشية الرقيقة من مواد مختلفة.
مكونات النظام:
يتضمن نظام رش المغنطرون المغنطروني النموذجي غرفة تفريغ، ومادة مستهدفة، وحامل ركيزة، ومغنطرون (الذي يولد المجال المغناطيسي)، ومصدر طاقة. يمكن أن يعمل النظام باستخدام التيار المباشر (DC) أو التيار المتردد (AC) أو مصادر التردد اللاسلكي (RF) لتأيين غاز الرش وبدء عملية الرش.
