يعد كل من التبخير بالرش والتبخير بالحزمة الإلكترونية شكلين من أشكال الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، ولكنهما يختلفان في آلياتهما وتطبيقاتهما.
يتضمن الاخرق ينطوي على استخدام أيونات نشطة موجبة الشحنة تتصادم مع مادة مستهدفة سالبة الشحنة. ويؤدي هذا التصادم إلى إخراج الذرات من الهدف، والتي يتم ترسيبها بعد ذلك على الركيزة. وتحدث العملية داخل مجال مغناطيسي مغلق، مما يعزز كفاءة القصف الأيوني وترسيب المواد.
تبخير الحزمة الإلكترونيةمن ناحية أخرى، هو شكل من أشكال التبخير الحراري. وهو ينطوي على تركيز شعاع إلكتروني على مادة مصدر لتوليد درجات حرارة عالية جداً، مما يؤدي إلى تبخير المادة. ثم تتكثف المادة المتبخرة على ركيزة أكثر برودة لتشكل طبقة رقيقة. هذه الطريقة فعالة بشكل خاص للمواد عالية الانصهار وغالباً ما تستخدم في إنتاج دفعات كبيرة الحجم والطلاءات البصرية ذات الأغشية الرقيقة.
المزايا والعيوب:
- تبخير شعاع الإلكترون مفيد لقدرته على التعامل مع المواد ذات نقاط الذوبان العالية وزمن ترسيبها المنخفض نسبيًا. وهو أكثر ملاءمة للتطبيقات التي تتطلب إنتاجاً سريعاً وكبير الحجم. ومع ذلك، قد لا يكون قابلاً للتطوير مثل التبخير بالأشعة الكهربائية، والذي يمكن أن يكون مؤتمتاً للغاية ومكيفاً لمختلف التطبيقات.
- يوفر الاخرق قابلية أعلى للتوسع ويمكن أتمتته بسهولة أكبر، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا ومستويات عالية من الأتمتة. كما أنه يميل إلى إنتاج أفلام ذات التصاق أفضل وسمك أكثر اتساقًا.
الخلاصة:
يعتمد الاختيار بين التبخير بالرش والتبخير بالحزمة الإلكترونية على المتطلبات المحددة للتطبيق، بما في ذلك نوع الطلاء ومواد الركيزة والخصائص المرغوبة للمنتج النهائي. كلتا الطريقتين لها نقاط قوتها الفريدة ويتم اختيارها بناءً على الدقة والوظائف والكفاءة اللازمة للتطبيق المحدد.
