وتتمثل وظيفة مضخة الانتشار في خلق بيئة تفريغ عالية باستخدام الطاقة الحركية للسائل المتبخر لحبس وإزالة جزيئات الغاز من الغرفة. على عكس المضخات الميكانيكية التي تستخدم أجزاء متحركة لإزاحة الهواء، تعمل مضخات الانتشار عن طريق تبخير سائل، عادةً ما يكون زيت، والذي يلتقط بعد ذلك جزيئات الهواء وينقلها إلى منطقة أكثر برودة حيث يتم إطلاقها. تعتمد هذه العملية على زخم تدفق البخار وتأثير التبريد لإخلاء الغرفة بكفاءة.
الشرح التفصيلي:
-
مبدأ التشغيل:
-
تعمل مضخات الانتشار على مبدأ احتباس السوائل، حيث يلتقط بخار السائل المغلي جزيئات الهواء. وهذا على النقيض من المضخات الميكانيكية، التي تستخدم آليات فيزيائية مثل المكابس أو الشفرات لدفع الهواء خارج الغرفة. في مضخات الانتشار، يتم تسخين المائع (غالباً ما يشار إليه بالزيت) حتى يتبخر. بعد ذلك يتفاعل تيار البخار عالي السرعة مع جزيئات الغاز في الغرفة، ويجرفها بشكل فعال نحو المخرج.آلية إزالة الغاز:
-
ينتقل السائل المتبخر، الذي يحمل جزيئات الغاز المحبوسة، إلى جزء أكثر برودة من المضخة حيث يتكثف. ويطلق هذا التكثيف جزيئات الغاز المحتجزة، والتي يتم تفريغها بعد ذلك من النظام. ويساعد الجمع بين الجاذبية والتدفق الاتجاهي للأبخرة في توجيه جزيئات الغاز نحو قاع المضخة، مما يعزز كفاءة عملية الإخلاء.
-
قدرات تفريغ عالية:
-
مضخات التفريغ قادرة على تحقيق ضغوط منخفضة للغاية، تتراوح من 10-2 إلى 10-10 تور. هذه القدرة العالية على التفريغ تجعلها مناسبة لمختلف التطبيقات الصناعية مثل الفحص المجهري بالحزمة الإلكترونية والترسيب بالتفريغ والطلاء وأفران التفريغ. ويسهم عدم وجود أجزاء متحركة في مضخات التفريغ في متانتها وموثوقيتها.متطلبات التشغيل:
على الرغم من أن مضخات الانتشار نفسها لا تحتوي على أجزاء متحركة، إلا أنها تتطلب مضخة دعم للحفاظ على ضغط منخفض في النظام أثناء فترات الخمول. عندما تكون مضخة الانتشار قيد التشغيل، تكون المضخة المساندة معزولة، ووظيفتها الأساسية هي المساعدة في الحفاظ على ظروف التفريغ اللازمة.
