والطريقة الأكثر استخداماً لتركيب العينات، خاصةً في الفحص المجهري الإلكتروني، هي الرش المغنطروني بالتيار المباشر. وتُفضَّل هذه الطريقة نظرًا لطبيعتها السريعة وغير المكلفة وقابليتها للتطبيق على العينات الحساسة لأنها تنطوي على الحد الأدنى من الحرارة المطبقة على العينة.
الرش المغنطروني المغنطروني بالتيار المباشر:
تنطوي هذه التقنية على استخدام مغنطرون لإنشاء بلازما تقوم برش المعدن أو الكربون على العينة. تحدث هذه العملية في غرفة مفرغة حيث يتم قصف المادة المستهدفة (عادةً الذهب أو البلاتين أو سبيكة الذهب والبلاديوم) بجسيمات عالية الطاقة مما يؤدي إلى قذف الذرات وترسيبها على العينة. يوفر هذا الطلاء التوصيل للعينة، وهو أمر بالغ الأهمية للفحص المجهري الإلكتروني لأنه يمنع الشحن ويعزز جودة الصور.
- مزايا الاخرق المغنطروني بالتيار المباشر:استخدام الحد الأدنى من الحرارة:
- على عكس الطرق الأخرى التي يمكن أن تسخن العينة بشكل كبير، يطبق الرش المغنطروني المغنطروني الحد الأدنى من الحرارة، مما يجعله مناسبًا للعينات الحساسة والحساسة للحرارة.طلاء موحد:
- توفر هذه الطريقة طلاءً موحدًا للغاية، وهو أمر ضروري للحصول على صور عالية الدقة في الفحص المجهري الإلكتروني.تعدد الاستخدامات:
يمكن استخدامه على مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المواد غير الموصلة للكهرباء مثل السيراميك والبوليمرات.طرق الطلاء الأخرى:
في حين أن الرش المغنطروني بالتيار المغنطروني المباشر هو الأكثر شيوعًا، تُستخدم أيضًا طرق أخرى مثل التبخير بالكربون أو المعدن والتظليل منخفض الزاوية والتبخير بالحزمة الإلكترونية والرش بالحزمة الأيونية. ومع ذلك، يمكن أن تكون هذه الطرق أكثر تكلفة أو تتطلب معدات أكثر تطوراً.
أهمية الطلاء في الفحص المجهري الإلكتروني:
