منقي الغازات المعملية عالي النقاء للغلاف الجوي الخامل وغازات العمليات فائقة النظافة

نظرة عامة على المنتج

تم تصميم نظام تنقية الغاز عالي النقاء هذا لإزالة الشوائب الدقيقة من الغازات الخاملة وغازات العمليات، مما يوفر بيئات فائقة النظافة ضرورية للأبحاث المعملية الحساسة والتصنيع النصف صناعي. ومن خلال استخدام أعمدة الامتزاز بالنخل الجزيئي وإزالة الأكسجين الحفزية متقدمة متعددة المراحل، يقلل الجهاز باستمرار من مستويات تلوث الرطوبة (H2O) والأكسجين (O2) إلى أقل من 0.1 جزء في المليون (ppm). ويوفر تصميمه القوي حلاً حاسماً للمرافق التي تتطلب توليد غاز نقي موثوقًا ومستقرًا واقتصاديًا عند الطلب دون الاعتماد على أسطوانات الغازات المتخصصة عالية الدرجة.

صُممت هذه الوحدة خصيصًا لبيئات الأبحاث والإنتاج المتطلبة، وتتكامل بسلاسة مع الأفران الأنبوبية عالية الحرارة، وأفران التخمير ذات الغلاف الجوي المحكوم، ومفاعلات ترسيب البخار الكيميائي (CVD/PECVD)، وأنظمة صندوق القفازات، وأنظمة التصنيع بالإضافة (الطباعة ثلاثية الأبعاد). تشمل القطاعات المستهدفة تصنيع أشباه الموصلات، وأبحاث بطاريات الليثيوم أيون، والإلكترونيات الضوئية المتقدمة، والتعدين الدقيق، ومختبرات توصيف المحفزات. وفي جميع هذه المجالات، يُعد منع الأكسدة غير المرغوب فيها، أو النتردة، أو التدهور الناتج عن الرطوبة الجوية أمرًا حيويًا لإعادة تكرار التجارب وتحسين إنتاجية التصنيع.

تم تصميم النظام مع التركيز على المرونة التشغيلية المستمرة، حيث يشتمل على قدرات تجديد آلية بالكامل ثنائية الأعمدة، ومجموعات صمامات هوائية ذات درجة صناعية، وأجهزة مراقبة عالية الدقة. تضمن بنية التعامل مع السوائل المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ للخدمة الشاقة سلامة الإغلاق التام ضد التسريب حتى تحت ضغوط التشغيل المرتفعة. ومن خلال الحفاظ على التصفية والتجديد المستمرين دون التسبب في انقطاع إمداد الغاز في المراحل اللاحقة، يمنح هذا الجهاز الباحثين ومهندسي العمليات ثقة مطلقة في التحكم طويل الأجل في الغلاف الجوي أثناء المعالجات الحرارية الطويلة والتقييمات التحليلية.

الميزات الرئيسية

• تنقية غاز عميقة لأقل من جزء في المليون (Sub-PPM): تعتمد على تكنولوجيا الامتصاص الحفزي والمناخل الجزيئية الاصطناعية لتحقيق إزالة الأكسجين والتجفيف في وقت واحد، مما يخفض مستويات الأكسجين والرطوبة بشكل موثوق إلى أقل من 0.1 جزء في المليون (<100 ppb) عبر دورات التشغيل المستمرة.
• تشغيل دوري مستمر بأعمدة ثنائية: يتميز بأعمدة امتزاز مزدوجة مهيأة لأوضاع التنقية والتجديد التناوبية، مما يضمن التزويد المستمر بالغاز فائق النقاء أثناء عمليات المعالجة الحرارية طويلة الأمد ذات الحرارة العالية.
• تجديد حراري آلي: مجهز بأغلفة تسخين مدمجة عالية الكفاءة وعناصر تحكم في التطهير الدقيق القابلة للبرمجة والتي تجدد أسرة الامتزاز المشبعة بالكامل تلقائيًا دون الحاجة إلى التفكيك أو الاستبدال اليدوي للمحفز.
• أنابيب معدنية بالكامل للتفريغ الفائق (UHV): مصنعة من أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المصقولة كهربائيًا، ووصلات ملحومة مداريًا، وتجهيزات مانعة للتسرب بحشوات معدنية (VCR/ضغط) لضمان معدلات تسريب الهيليوم لأقل من 1×10⁻⁹ mbar·L/s.
• مراقبة نقطة الندى والأكسجين في الوقت الفعلي: يدمج مستشعرات أكسجين كهرومغناطيسية كيميائية عالية الدقة وأجهزة إرسال نقطة الندى السيراميكية، مما يوفر تحققًا رقميًا مستمرًا من جودة الغاز مباشرة على شاشة اللمس المركزية.
• تحكم ذكي بواسطة PLC مع واجهة HMI بديهية: يستخدم وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة صناعية مقترنة بوحدة واجهة بين الإنسان والآلة ملونة بالكامل، مما يوفر تنظيمًا آليًا للضغط، وإجراءات بدء/إيقاف بلمسة واحدة، وتشخيص الأعطال، وأقفال أمان آلية.
• أقفال أمان للضغط الزائد والتدفق: مصمم بآليات حماية متعددة المستويات تشمل صمامات إغلاق هوائية أوتوماتيكية، وصمامات تخفيف الضغط الزائد الميكانيكية، وإنذارات صوتية ومرئية لمنع التلوث في المراحل اللاحقة أو الضغط الزائد للنظام.
• توافق متعدد الاستخدامات مع غاز التغذية: قادر على تنقية طيف واسع من الغازات التقنية والناقلة، بما في ذلك الأرجون النقي، والنيتروجين، والهيليوم، وغازات التشكيل، مما يحول أسطوانات الدرجة الصناعية القياسية إلى خطوط إمداد ذات درجة بحثية.

التطبيقات

موثوق به من قبل رواد الصناعة