أهداف الاخرق هي المواد المستخدمة في عملية الاخرق، وهي تقنية لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مثل رقائق أشباه الموصلات والخلايا الشمسية والمكونات البصرية. وعادةً ما تكون هذه الأهداف عبارة عن ألواح صلبة مصنوعة من معادن نقية أو سبائك أو مركبات مثل الأكاسيد والنتريدات. إن التطبيق الأساسي لأهداف الاخرق هو في صناعة أشباه الموصلات، حيث يتم استخدامها لتشكيل طبقات موصلة وأغشية رقيقة أخرى ضرورية لوظائف الأجهزة الإلكترونية.
شرح مفصل:
-
تكوين وأنواع أهداف الاخرق:
-
يمكن صنع أهداف الاخرق من مجموعة متنوعة من المواد، بما في ذلك المعادن النقية مثل النحاس أو الألومنيوم، والسبائك مثل الفولاذ المقاوم للصدأ، والمركبات مثل ثاني أكسيد السيليكون أو نيتريد التيتانيوم. ويعتمد اختيار المواد على التطبيق المحدد والخصائص المطلوبة في الفيلم الرقيق الذي يتم ترسيبه. على سبيل المثال، في أشباه الموصلات، غالبًا ما تستخدم المواد ذات الموصلية الكهربائية العالية لتشكيل طبقات موصلة.عملية الاخرق:
-
في عملية الرش بالرش، يتم قصف المادة المستهدفة بجسيمات عالية الطاقة (عادةً أيونات)، مما يتسبب في طرد الذرات من الهدف وترسيبها كطبقة رقيقة على الركيزة. تحدث هذه العملية في درجات حرارة منخفضة نسبياً، وهو أمر مفيد للحفاظ على سلامة الركائز الحساسة للحرارة مثل رقائق أشباه الموصلات. يمكن أن يتراوح سمك الفيلم المترسب من بضعة أنجستروم إلى عدة ميكرون، ويمكن أن يكون طبقة واحدة أو بنية متعددة الطبقات حسب متطلبات التطبيق.
-
التطبيقات في أشباه الموصلات:
في صناعة أشباه الموصلات، يعد الاخرق ضرورياً لترسيب الأغشية الرقيقة التي تخدم وظائف مختلفة، مثل التوصيل الكهربائي أو العزل أو تكوين خصائص إلكترونية محددة. ويُعد توحيد ونقاء الأغشية المرشوشة أمراً بالغ الأهمية لضمان أداء وموثوقية أجهزة أشباه الموصلات. ولذلك، يجب أن تفي أهداف الرذاذ المستخدمة في هذه الصناعة بمعايير صارمة للنقاء الكيميائي والتوحيد المعدني.
الاعتبارات البيئية والاقتصادية:
