وتشمل المواد المستخدمة في مصادر التبخير الحراري في المقام الأول التنغستن والموليبدينوم والتنتالوم. يتم اختيار هذه المواد لنقاوتها العالية ونقاط انصهارها العالية وضغط بخارها المنخفض، مما يجعلها مناسبة لمصادر التبخير المسخنة بالمقاومة. وتأتي هذه المصادر في أشكال مختلفة مثل القوارب والسلال والخيوط والقضبان المغلفة، وكل منها مصمم لدعم أنواع مختلفة من مواد التبخير والتطبيقات.
التنغستن والموليبدينوم والتنتالوم: يشيع استخدام هذه المواد في تصنيع مصادر التبخير بسبب خصائصها المقاومة للحرارة. ويمكنها تحمل درجات الحرارة العالية دون تدهور كبير، وهو أمر بالغ الأهمية لعملية التبخير حيث يتم تسخين المادة المصدر إلى درجة انصهارها أو أعلى لتبخيرها وترسيبها على الركيزة.
أشكال مصادر التبخير:
- القوارب: وهي شائعة الاستخدام وتأتي بأحجام مختلفة. تتطلب القوارب الأكبر حجمًا طاقة أعلى لنفس معدل الترسيب ولكن يمكنها التعامل مع معدلات ترسيب قصوى أعلى.
- السلال: وتشمل تلك المناسبة لدعم البوتقات وتستخدم للمواد التي قد تتطلب الاحتواء أثناء التبخير.
- الخيوط: تُستخدم عادةً للمواد التي يمكن تبخيرها في درجات حرارة منخفضة أو للتطبيقات الأصغر حجماً.
- القضبان المغلفة: يمكن استخدامها في الحالات التي تتطلب طلاء سطح معين لتعزيز عملية التبخير أو لمنع التلوث.
التطبيقات والتصميم:
يعد تصميم مصدر التبخير أمرًا بالغ الأهمية لتطبيقات محددة مثل طلاء OLED/طلاء متعدد في تصنيع الشاشات المسطحة. وقد صُممت المصادر خصيصًا لتحسين عملية التبخير، مما يضمن ترسيب فعال وموحد للمواد.مصدر الطاقة والتحكم:
تتطلب مصادر التبخير الحراري عادةً مصدر طاقة كهربائية بجهد منخفض وتيارات عالية. وعادة ما يكون الطلب على الطاقة مرتفعًا، خاصة بالنسبة لمصادر تبخير القوارب. وللتحكم في سرعة التبخر ومعدل الترسيب، غالبًا ما تستخدم أنظمة التبخير الحراري موازين الكوارتز البلورية الدقيقة (QCMs) وغيرها من تكوينات البرامج أو الأجهزة لإدارة معدل التبخر وخصائص الفيلم.
مواد التبخير:
