الرذاذ بالتردد اللاسلكي هو تقنية تُستخدم لإنشاء أغشية رقيقة، في المقام الأول في صناعات الكمبيوتر وأشباه الموصلات. وهي تنطوي على استخدام طاقة التردد اللاسلكي (RF) لتأيين غاز خامل، مما يخلق أيونات موجبة تضرب المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تفككها إلى رذاذ دقيق يغطي الركيزة. تختلف هذه العملية عن الرش بالتيار المباشر (DC) في عدة جوانب رئيسية:
-
متطلبات الجهد: يتطلب رش الرذاذ بالترددات اللاسلكية جهدًا أعلى (1,012 فولت أو أكثر) مقارنةً بالرش بالتيار المستمر، والذي يعمل عادةً بين 2,000-5,000 فولت. هذا الجهد العالي ضروري لأن الاخرق بالترددات اللاسلكية يستخدم الطاقة الحركية لإزالة الإلكترونات من ذرات الغاز، في حين أن الاخرق بالتيار المستمر يتضمن قصف أيون مباشر بواسطة الإلكترونات.
-
ضغط النظام: يعمل الاخرق بالترددات الراديوية عند ضغط غرفة أقل (أقل من 15 ملي متر مكعب) من الاخرق بالتيار المستمر (100 ملي متر مكعب). يقلل هذا الضغط المنخفض من التصادمات بين جسيمات البلازما المشحونة والمادة المستهدفة، مما يعزز كفاءة عملية الرش بالمطرقة.
-
نمط الترسيب والمواد المستهدفة: يناسب الاخرق بالترددات اللاسلكية بشكل خاص المواد المستهدفة غير الموصلة أو العازلة للتيار الكهربائي، والتي من شأنها أن تتراكم الشحنة وتصد المزيد من القصف الأيوني في الاخرق بالتيار المستمر، مما قد يوقف العملية. ويساعد التيار المتردد (AC) في الاخرق بالترددات اللاسلكية على تحييد تراكم الشحنة على الهدف، مما يسمح باستمرار الاخرق للمواد غير الموصلة.
-
التردد والتشغيل: يستخدم الاخرق بالترددات اللاسلكية ترددًا يبلغ 1 ميجا هرتز أو أعلى، وهو أمر ضروري لتفريغ الهدف كهربائيًا أثناء الاخرق. ويسمح هذا التردد بالاستخدام الفعال للتيار المتردد، حيث تقوم الإلكترونات في نصف دورة بتحييد الأيونات الموجبة على سطح الهدف، وفي نصف الدورة الأخرى يتم ترسيب ذرات الهدف المُفَرَّغ على الركيزة.
وباختصار، فإن الرش بالترددات اللاسلكية هو طريقة متعددة الاستخدامات وفعالة لترسيب الأغشية الرقيقة، خاصة على المواد غير الموصلة للكهرباء من خلال استخدام جهد أعلى وضغط أقل للنظام وتيار متردد لإدارة عمليات التأين والترسيب بكفاءة أكبر من الرش بالترددات المستمرة.
اكتشف المزايا المتطورة لتقنية الرش بالترددات اللاسلكية لإنتاج أغشية رقيقة لا مثيل لها في قطاعي الكمبيوتر وأشباه الموصلات! في KINTEK SOLUTION، نفخر في KINTEK SOLUTION بتوفير أنظمة رش مبتكرة تعمل على تحسين الجهد والضغط والتردد، مما يضمن ترسيبًا فعالاً ومتسقًا حتى لأكثر المواد غير الموصلة صعوبة. ارتقِ بعمليات البحث والتصنيع لديك اليوم من خلال حلولنا الرائدة في مجال الرش بالترددات اللاسلكية - اشترك مع KINTEK SOLUTION للحصول على أداء ودقة استثنائيين!
