تنطوي عملية هدف الرذاذ على استخدام مادة صلبة، تعرف باسم هدف الرذاذ، والتي يتم تفتيتها إلى جسيمات صغيرة بواسطة أيونات غازية في غرفة تفريغ. وتشكل هذه الجسيمات بعد ذلك رذاذًا يغطي الركيزة مكونًا طبقة رقيقة. تُستخدم هذه التقنية، المعروفة باسم ترسيب الرذاذ أو ترسيب الأغشية الرقيقة، بشكل شائع في صناعة أشباه الموصلات ورقائق الكمبيوتر.
-
إعداد غرفة التفريغ: تبدأ العملية في غرفة تفريغ حيث يكون الضغط الأساسي منخفضًا للغاية، وعادةً ما يكون حوالي 10 إلى -6 ملي بار، وهو جزء من المليار من الضغط الجوي العادي. وتُعد بيئة التفريغ هذه ضرورية لمنع أي تلوث للفيلم الرقيق.
-
إدخال الغاز الخامل: يتم إدخال غاز خامل كيميائياً، وهو عادةً الأرجون الخامل كيميائياً، في الغرفة. وتصبح ذرات الغاز أيونات موجبة الشحنة عن طريق فقدان الإلكترونات داخل البلازما.
-
توليد البلازما: يتم تطبيق تيار كهربائي على الكاثود الذي يحتوي على المادة المستهدفة بالرش. وهذا يولد بلازما ذاتية الاستدامة. وتتعرض المادة المستهدفة، التي يمكن أن تكون معدنية أو خزفية أو حتى بلاستيكية، لهذه البلازما.
-
عملية الاخرق: يتم تسريع أيونات الأرجون موجبة الشحنة نحو المادة المستهدفة بطاقة حركية عالية. وعندما تصطدم بالهدف، تقوم بخلع الذرات أو الجزيئات من المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى تكوين تيار بخار من هذه الجسيمات.
-
الترسيب على الركيزة: تمر المادة المنبثقة، التي أصبحت الآن في شكل بخار، عبر الحجرة وتصطدم بالركيزة، حيث تلتصق وتشكل طبقة رقيقة أو طلاء. وتكون هذه الركيزة عادةً في المكان المطلوب فيه الغشاء الرقيق، مثل أشباه الموصلات أو رقائق الكمبيوتر.
-
التبريد والتحكم: أثناء العملية، يمكن استخدام مصفوفة مغناطيسية داخل الهدف للتحكم في البلازما، ويتم تدوير مياه التبريد داخل أسطوانة الهدف لتبديد الحرارة المتولدة.
-
تصنيع أهداف الاخرق: تعتمد عملية تصنيع أهداف الاخرق على المادة والاستخدام المقصود منها. وتستخدم تقنيات مثل الكبس الساخن الكلاسيكي والتفريغ، والكبس على البارد والتلبيد، والصهر والصب بالتفريغ. تخضع كل دفعة إنتاج لعمليات تحليلية صارمة لضمان الجودة العالية.
تضمن هذه العملية التفصيلية ترسيب الأغشية الرقيقة عالية الجودة، والتي تعتبر ضرورية في مختلف التطبيقات التكنولوجية، خاصةً في صناعة الإلكترونيات.
هل أنت مستعد لرفع قدراتك في ترسيب الأغشية الرقيقة؟ في KINTEK، نحن متخصصون في تصنيع أهداف الترسيب عالية الجودة المصممة لتلبية المتطلبات الصارمة لإنتاج أشباه الموصلات وشرائح الكمبيوتر. تضمن تقنياتنا المتقدمة ومراقبة الجودة الصارمة أن كل هدف يقدم أداءً متسقًا ومتفوقًا. اختبر دقة وموثوقية أهداف KINTEK الخاصة بالرشاشات. اتصل بنا اليوم لمناقشة احتياجاتك الخاصة واتخاذ الخطوة الأولى نحو تحسين تطبيقات الأغشية الرقيقة الخاصة بك.
