
فرن CVD و PECVD
آلة طلاء PECVD بترسيب التبخر المحسن بالبلازما
رقم العنصر : KT-PED
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة حرارة تسخين حامل العينة
- ≤800 ℃
- قنوات تطهير الغاز
- 4 قنوات
- حجم غرفة التفريغ
- Φ500 مم × 550 مم

الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! ترك رسالة الحصول على الاقتباس السريع Via الدردشة عبر الإنترنتالتطبيقات
تستخدم معدات الطلاء PECVD البلازما لتعزيز التفاعل الكيميائي للترسب ، بحيث يمكن للترسيب الكيميائي للبخار أن يشكل أغشية صلبة عالية الجودة عند درجات حرارة منخفضة.
تشمل تطبيقات معدات طلاء PECVD بشكل أساسي إضاءة LED ، وأشباه موصلات الطاقة ، و MEMS ، إلخ. وهي مناسبة لترسيب SiO2 (SiH4 ، TEOS) ، SiNx ، SiOxNy وأفلام الوسائط الأخرى ، فضلاً عن الترسيب عالي السرعة لأفلام SiO السميكة على ركائز مركبة PSS.
المواصفات الفنية
حامل العينة | مقاس | 1-6 بوصات |
تناوب السرعة | 0-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
درجة حرارة التسخين | ≤800 ℃ | |
دقة التحكم | ± 0.5 ℃ وحدة تحكم SHIMADEN PID | |
تطهير الغاز | عداد التدفق | جهاز التحكم في كتلة التدفق (MFC) |
القنوات | 4 قنوات | |
طريقة التبريد | تعميم تبريد المياه | |
غرفة فراغ | حجم الغرفة | Φ500 مم × 550 مم |
ميناء المراقبة | ميناء عرض كامل مع يربك | |
مادة الغرفة | 316 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نوع الباب | باب أمامي مفتوح | |
مادة الغطاء | 304 من الفولاذ المقاوم للصدأ | |
منفذ مضخة فراغ | شفة CF200 | |
منفذ مدخل الغاز | φ 6 موصل VCR | |
قوة البلازما | مصدر القوة | طاقة التيار المستمر أو طاقة التردد اللاسلكي |
وضع اقتران | مقترنة حثيًا أو لوحة بالسعة | |
انتاج الطاقة | 500 واط - 1000 واط | |
قوة التحيز | 500 فولت | |
مضخة فراغ | المضخة المسبقة | 15L / S مضخة فراغ ريشة |
منفذ مضخة توربو | CF150 / CF200 620L / S-1600L / S. | |
منفذ الإغاثة | KF25 | |
سرعة المضخة | مضخة ريشة: 15 لتر / ثانية ، مضخة تربو: 1200 لتر / ثانية 1600 لتر / ثانية | |
درجة الفراغ | ≤5 × 10-5 باسكال | |
جهاز استشعار الفراغ | مقياس فراغ التأين / المقاومة / مقياس الفيلم | |
نظام | امدادات الطاقة الكهربائية | تيار متردد 220 فولت / 380 50 هرتز |
القوة المصنفة | 5 كيلو واط | |
أبعاد | 900 مم × 820 مم × 870 مم | |
وزن | 200 كجم |
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هي طريقة PECVD؟
ما هو الـ Mpcvd؟
ما هو استخدام PECVD؟
ما هي آلة Mpcvd؟
ما هي مزايا PECVD؟
ما هي مزايا Mpcvd؟
ما هو الفرق بين ALD و PECVD؟
هل ألماس الأمراض القلبية الوعائية حقيقي أم مزيف؟
ما هو الفرق بين PECVD والخرق؟
4.9
out of
5
I'm impressed by how quickly my PECVD coating machine arrived. It was delivered within a week of ordering, which was much faster than I expected.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is an excellent value for the price. It's well-made and produces high-quality coatings.
4.8
out of
5
I've been using the PECVD coating machine for a few months now, and I'm very happy with its performance. The coatings are durable and have improved the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a game-changer for my business. It's helped me to increase my production capacity and improve the quality of my products.
4.7
out of
5
I'm very impressed with the technological advancements of the PECVD coating machine. It's a cutting-edge piece of equipment that has helped me to stay ahead of the competition.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is easy to use and maintain. I've had no problems with it since I purchased it.
4.9
out of
5
I highly recommend the PECVD coating machine to anyone who needs a high-quality, durable coating for their products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very satisfied with the PECVD coating machine. It's a reliable and efficient piece of equipment that has helped me to improve my production process.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great value for the price. It's a high-quality machine that has helped me to improve the efficiency of my production process.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
PDF - آلة طلاء PECVD بترسيب التبخر المحسن بالبلازما
disabled = false, 3000)"> تنزيلكتالوج فرن Cvd و Pecvd
disabled = false, 3000)"> تنزيلكتالوج آلة Pecvd
disabled = false, 3000)"> تنزيلكتالوج آلة Mpcvd
disabled = false, 3000)"> تنزيلاطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة

صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD
احصل على فرن CVD الخاص بك مع الفرن متعدد الاستخدامات KT-CTF16. وظائف انزلاق ودوران وإمالة قابلة للتخصيص للحصول على تفاعلات دقيقة. اطلب الان!

فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ مع أنبوب الكوارتز
الفرن الأنبوبي المنفصل KT-TF12: عازل عالي النقاء، وملفات أسلاك تسخين مدمجة، وحد أقصى 1200C. يستخدم على نطاق واسع للمواد الجديدة وترسيب البخار الكيميائي.

آلة الرنان الأسطوانية MPCVD لنمو المختبر والماس
تعرف على آلة الرنان الأسطواني MPCVD ، وهي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما بالميكروويف المستخدمة في زراعة الأحجار الكريمة والأغشية الماسية في صناعات المجوهرات وأشباه الموصلات. اكتشف مزاياها الفعالة من حيث التكلفة مقارنة بأساليب HPHT التقليدية.

المبخر الدوار 0.5-4 لتر للاستخراج، والطهي الجزيئي للطهي الجزيئي والمختبر
فصل المذيبات "منخفضة الغليان" بكفاءة باستخدام مبخر دوار 0.5-4 لتر. مصمم بمواد عالية الجودة ، مانع تسرب Telfon + Viton ، وصمامات PTFE لعملية خالية من التلوث.

اكتشف مزايا فرن التفريغ بالكبس الساخن! تصنيع المعادن والمركبات المقاومة للحرارة الكثيفة والسيراميك والمركبات تحت درجة حرارة وضغط مرتفعين.

مبخر دوار سعة 5-50 لتر للاستخراج، والطهي الجزيئي للطهي الجزيئي والمختبر
قم بفصل المذيبات منخفضة الغليان بكفاءة باستخدام المبخر الدوراني 5-50 لتر. مثالية للمعامل الكيميائية ، فهي تقدم عمليات تبخير دقيقة وآمنة.

احصل على ضغط سلبي مستقر وفعال من خلال مضخة التفريغ ذات الحجاب الحاجز. مثالي للتبخر والتقطير والمزيد. محرك درجة حرارة منخفضة ، مواد مقاومة للمواد الكيميائية ، وصديقة للبيئة. جربه اليوم!

اكتشف مزايا فرن تفريغ الموليبدينوم عالي التكوين المزود بدرع عازل للحرارة. مثالي لبيئات التفريغ عالية النقاء مثل نمو بلورات الياقوت والمعالجة الحرارية.

فرن الصهر التعريفي بفرن القوس الفراغي غير القابل للاستهلاك
استكشف مزايا فرن القوس بالفراغ غير القابل للاستهلاك المزود بأقطاب كهربائية ذات نقطة انصهار عالية. صغير وسهل التشغيل وصديق للبيئة. مثالي للأبحاث المخبرية على المعادن المقاومة للصهر والكربيدات.

فرن 1200 ℃ فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه
اكتشف فرن الغلاف الجوي KT-12A Pro الذي يمكن التحكم فيه - غرفة تفريغ عالية الدقة وشديدة التحمّل، ووحدة تحكم ذكية متعددة الاستخدامات تعمل باللمس، وتوحيد ممتاز لدرجة الحرارة حتى 1200 درجة مئوية. مثالي للتطبيقات المعملية والصناعية على حد سواء.

اكتشف لوح الكربون الزجاجي لدينا - RVC. مثالية لتجاربك ، هذه المادة عالية الجودة سترفع مستوى بحثك إلى المستوى التالي.

وعاء لوضع الأغشية الرقيقة ؛ له جسم سيراميك مغطى بالألمنيوم لتحسين الكفاءة الحرارية والمقاومة الكيميائية. مما يجعلها مناسبة لمختلف التطبيقات.

معقم مساحة بيروكسيد الهيدروجين
معقم الفضاء ببيروكسيد الهيدروجين هو جهاز يستخدم بيروكسيد الهيدروجين المتبخر لتطهير المساحات المغلقة. يقتل الكائنات الحية الدقيقة عن طريق إتلاف مكوناتها الخلوية والمواد الوراثية.
المقالات ذات الصلة

ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD): دليل شامل
تعرّف على كل ما تحتاج إلى معرفته عن الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي (PECVD)، وهي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات. استكشف مبادئها وتطبيقاتها وفوائدها.

فهم PECVD: دليل لترسب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
PECVD هي تقنية مفيدة لإنشاء أغشية رقيقة لأنها تسمح بترسيب مجموعة متنوعة من المواد ، بما في ذلك الأكاسيد والنتريد والكربيدات.

دور البلازما في طلاءات PECVD
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هو نوع من عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم على نطاق واسع لإنشاء طلاءات على ركائز مختلفة. في هذه العملية ، يتم استخدام البلازما لإيداع أغشية رقيقة من مواد مختلفة على الركيزة.

مقدمة عن ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
ترسيب البخار الكيميائي ، أو CVD ، هو عملية طلاء تتضمن استخدام المواد المتفاعلة الغازية لإنتاج أغشية وطبقات رقيقة عالية الجودة.

مزايا ومساوئ الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD)
الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD) هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الاستخدامات المستخدمة على نطاق واسع في مختلف الصناعات. استكشف مزاياها وعيوبها وتطبيقاتها الجديدة المحتملة.

مقارنة أداء PECVD و HPCVD في تطبيقات الطلاء
على الرغم من استخدام كل من PECVD و HFCVD لتطبيقات الطلاء ، إلا أنهما يختلفان من حيث طرق الترسيب والأداء والملاءمة لتطبيقات محددة.

آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية مستخدمة على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.

لماذا يعتبر PECVD ضروريًا لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هي تقنية شائعة لترسيب الأغشية الرقيقة تستخدم في تصنيع أجهزة الإلكترونيات الدقيقة.

دليل خطوة بخطوة لعملية PECVD
PECVD هو نوع من عمليات ترسيب البخار الكيميائي الذي يستخدم البلازما لتعزيز التفاعلات الكيميائية بين سلائف الطور الغازي والركيزة.

دليل شامل لصيانة معدات PECVD
تعد الصيانة المناسبة لمعدات PECVD أمرًا بالغ الأهمية لضمان الأداء الأمثل وطول العمر والسلامة.

مقارنة ترسيب البخار الكيميائي والترسيب الفيزيائي للبخار
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) مقابل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)

عملية تصنيع الماس CVD بواسطة آلة MPCVD
اكتسبت آلات الماس CVD أهمية كبيرة في مختلف الصناعات والبحث العلمي.