فرن CVD و PECVD
آلة طلاء PECVD بترسيب التبخر المحسن بالبلازما
رقم العنصر : KT-PED
السعر يتغير بناءً على specs and customizations
- درجة حرارة تسخين حامل العينة
- ≤800 ℃
- قنوات تطهير الغاز
- 4 قنوات
- حجم غرفة التفريغ
- Φ500 مم × 550 مم
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع On-time Dispatch Guarantee.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! Leave a Message الحصول على الاقتباس السريع Via Whatsappالتطبيقات
تستخدم معدات الطلاء PECVD البلازما لتعزيز التفاعل الكيميائي للترسب ، بحيث يمكن للترسيب الكيميائي للبخار أن يشكل أغشية صلبة عالية الجودة عند درجات حرارة منخفضة.
تشمل تطبيقات معدات طلاء PECVD بشكل أساسي إضاءة LED ، وأشباه موصلات الطاقة ، و MEMS ، إلخ. وهي مناسبة لترسيب SiO2 (SiH4 ، TEOS) ، SiNx ، SiOxNy وأفلام الوسائط الأخرى ، فضلاً عن الترسيب عالي السرعة لأفلام SiO السميكة على ركائز مركبة PSS.
المواصفات الفنية
| حامل العينة | مقاس | 1-6 بوصات |
| تناوب السرعة | 0-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
| درجة حرارة التسخين | ≤800 ℃ | |
| دقة التحكم | ± 0.5 ℃ وحدة تحكم SHIMADEN PID | |
| تطهير الغاز | عداد التدفق | جهاز التحكم في كتلة التدفق (MFC) |
| القنوات | 4 قنوات | |
| طريقة التبريد | تعميم تبريد المياه | |
| غرفة فراغ | حجم الغرفة | Φ500 مم × 550 مم |
| ميناء المراقبة | ميناء عرض كامل مع يربك | |
| مادة الغرفة | 316 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
| نوع الباب | باب أمامي مفتوح | |
| مادة الغطاء | 304 من الفولاذ المقاوم للصدأ | |
| منفذ مضخة فراغ | شفة CF200 | |
| منفذ مدخل الغاز | φ 6 موصل VCR | |
| قوة البلازما | مصدر القوة | طاقة التيار المستمر أو طاقة التردد اللاسلكي |
| وضع اقتران | مقترنة حثيًا أو لوحة بالسعة | |
| انتاج الطاقة | 500 واط - 1000 واط | |
| قوة التحيز | 500 فولت | |
| مضخة فراغ | المضخة المسبقة | 15L / S مضخة فراغ ريشة |
| منفذ مضخة توربو | CF150 / CF200 620L / S-1600L / S. | |
| منفذ الإغاثة | KF25 | |
| سرعة المضخة | مضخة ريشة: 15 لتر / ثانية ، مضخة تربو: 1200 لتر / ثانية 1600 لتر / ثانية | |
| درجة الفراغ | ≤5 × 10-5 باسكال | |
| جهاز استشعار الفراغ | مقياس فراغ التأين / المقاومة / مقياس الفيلم | |
| نظام | امدادات الطاقة الكهربائية | تيار متردد 220 فولت / 380 50 هرتز |
| القوة المصنفة | 5 كيلو واط | |
| أبعاد | 900 مم × 820 مم × 870 مم | |
| وزن | 200 كجم |
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هو فرن CVD؟
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية تستخدم مصادر طاقة مختلفة مثل التسخين أو إثارة البلازما أو الإشعاع الضوئي للتفاعل الكيميائي مع المواد الكيميائية الغازية أو البخارية على الطور الغازي أو السطح البيني الغازي الصلب لتكوين رواسب صلبة في المفاعل عن طريق تفاعل كيميائي: لتوضيح الأمر ببساطة ، يتم إدخال مادتين أو أكثر من المواد الخام الغازية في غرفة التفاعل ، ثم تتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة جديدة وترسبها على سطح الركيزة.
فرن CVD هو نظام أفران واحد مدمج مع وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم في الغازات ، ووحدة تفريغ ، ويستخدم على نطاق واسع لتجربة وإنتاج المواد المركبة ، وعملية الإلكترونيات الدقيقة ، والإلكترونيات الضوئية لأشباه الموصلات ، واستخدام الطاقة الشمسية ، واتصالات الألياف الضوئية ، والموصل الفائق التكنولوجيا ، مجال الطلاء الواقي.
كيف يعمل فرن CVD؟
يتكون نظام فرن CVD من وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم دقيقة بمصدر الغاز المتفاعل ، ومحطة مضخة تفريغ وأجزاء تجميع مقابلة.
تعمل مضخة التفريغ على إزالة الهواء من أنبوب التفاعل ، والتأكد من عدم وجود غازات غير مرغوب فيها داخل أنبوب التفاعل ، وبعد ذلك يقوم الفرن الأنبوبي بتسخين أنبوب التفاعل إلى درجة حرارة مستهدفة ، ثم يمكن لوحدة التحكم الدقيقة في مصدر الغاز المتفاعل إدخال مختلف الغازات ذات النسبة المحددة في أنبوب الفرن للتفاعل الكيميائي ، سيتم تشكيل ترسيب البخار الكيميائي في فرن CVD.
ما هي طريقة PECVD؟
ما هي طرق ترسيب الأغشية الرقيقة؟
ما هو الغاز المستخدم في عملية CVD؟
هناك مصادر غاز هائلة يمكن استخدامها في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، والتفاعلات الكيميائية الشائعة لأمراض القلب والأوعية الدموية تشمل الانحلال الحراري ، والتحلل الضوئي ، والاختزال ، والأكسدة ، والاختزال ، وبالتالي يمكن استخدام الغازات المشاركة في هذه التفاعلات الكيميائية في عملية الأمراض القلبية الوعائية.
نأخذ نمو الجرافين CVD على سبيل المثال ، الغازات المستخدمة في عملية CVD ستكون CH4 و H2 و O2 و N2.
ما هو المبدأ الأساسي للأمراض القلبية الوعائية؟
ما هو استخدام PECVD؟
PACVD هو PECVD؟
ما هي معدات ترسيب الأغشية الرقيقة؟
ما هي مميزات نظام CVD؟
- يمكن إنتاج مجموعة واسعة من الأفلام ، والأفلام المعدنية ، والأفلام اللافلزية ، والأفلام ذات السبائك المتعددة المكونات حسب الحاجة. في الوقت نفسه ، يمكنها تحضير بلورات عالية الجودة يصعب الحصول عليها بطرق أخرى ، مثل GaN و BP وما إلى ذلك.
- سرعة تشكيل الفيلم سريعة ، عادة ما تكون عدة ميكرونات في الدقيقة أو حتى مئات الميكرونات في الدقيقة. من الممكن إيداع كميات كبيرة من الطلاءات ذات التركيب الموحد في وقت واحد ، وهو أمر لا يضاهى بطرق تحضير الفيلم الأخرى ، مثل epitaxy المرحلة السائلة (LPE) و epitaxy الحزمة الجزيئية (MBE).
- يتم تنفيذ ظروف العمل تحت ضغط عادي أو ظروف فراغ منخفضة ، وبالتالي فإن الطلاء له انعراج جيد ، ويمكن طلاء قطع العمل ذات الأشكال المعقدة بشكل موحد ، وهو أفضل بكثير من PVD.
- نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على طلاء بقوة التصاق جيدة ، وهو أمر ضروري لإعداد أغشية مقواة بالسطح مثل الأفلام المقاومة للتآكل والمضادة للتآكل.
- تنمو بعض الأفلام عند درجة حرارة أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم. في ظل حالة النمو في درجات الحرارة المنخفضة ، لا يتفاعل غاز التفاعل وجدار المفاعل والشوائب الموجودة فيهما تقريبًا ، لذلك يمكن الحصول على فيلم بنقاوة عالية وتبلور جيد.
- يمكن أن يحصل ترسيب البخار الكيميائي على سطح ترسيب أملس. هذا لأنه بالمقارنة مع LPE ، يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت إشباع عالٍ ، مع معدل تنوي مرتفع ، وكثافة تنوي عالية ، وتوزيع منتظم على المستوى بأكمله ، مما ينتج عنه سطح أملس مجهري. في الوقت نفسه ، في ترسيب البخار الكيميائي ، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات (الذرات) أكبر بكثير من LPE ، وبالتالي يكون التوزيع المكاني للجزيئات أكثر اتساقًا ، مما يؤدي إلى تكوين سطح ترسيب أملس.
- ضرر الإشعاع المنخفض ، وهو شرط ضروري لتصنيع أشباه موصلات أكسيد المعادن (MOS) والأجهزة الأخرى
ما هي الأنواع المختلفة لطريقة CVD؟
ما هي مزايا PECVD؟
ما هي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة؟
ما هو موقف PECVD؟
PECVD هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط غاز التفاعل ، وتعزيز التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة أو بالقرب من مساحة السطح ، وتوليد فيلم صلب. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي RF أو DC ، يتأين غاز المصدر لتشكيل بلازما ، وتستخدم البلازما منخفضة الحرارة كمصدر للطاقة ، وكمية مناسبة من غاز التفاعل يتم إدخاله ، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط غاز التفاعل وتحقيق ترسب البخار الكيميائي.
وفقًا لطريقة توليد البلازما ، يمكن تقسيمها إلى بلازما RF ، بلازما DC وبلازما ميكروويف CVD ، إلخ ...
ما هو الفرق بين ALD و PECVD؟
ما هو الفرق بين CVD و PECVD؟
الفرق بين PECVD وتقنية CVD التقليدية هو أن البلازما تحتوي على عدد كبير من الإلكترونات عالية الطاقة ، والتي يمكن أن توفر طاقة التنشيط المطلوبة في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وبالتالي تغيير نمط إمداد الطاقة لنظام التفاعل. نظرًا لأن درجة حرارة الإلكترون في البلازما تصل إلى 10000 كلفن ، فإن الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الغاز يمكن أن يعزز كسر الرابطة الكيميائية وإعادة اتحاد جزيئات غاز التفاعل لتوليد مجموعات كيميائية أكثر نشاطًا ، بينما يحافظ نظام التفاعل بأكمله على درجة حرارة منخفضة.
بالمقارنة مع عملية CVD ، يمكن لـ PECVD تنفيذ نفس عملية ترسيب البخار الكيميائي مع درجة حرارة منخفضة.
ما هو الفرق بين PECVD والخرق؟
4.9
out of
5
I'm impressed by how quickly my PECVD coating machine arrived. It was delivered within a week of ordering, which was much faster than I expected.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is an excellent value for the price. It's well-made and produces high-quality coatings.
4.8
out of
5
I've been using the PECVD coating machine for a few months now, and I'm very happy with its performance. The coatings are durable and have improved the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a game-changer for my business. It's helped me to increase my production capacity and improve the quality of my products.
4.7
out of
5
I'm very impressed with the technological advancements of the PECVD coating machine. It's a cutting-edge piece of equipment that has helped me to stay ahead of the competition.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is easy to use and maintain. I've had no problems with it since I purchased it.
4.9
out of
5
I highly recommend the PECVD coating machine to anyone who needs a high-quality, durable coating for their products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very satisfied with the PECVD coating machine. It's a reliable and efficient piece of equipment that has helped me to improve my production process.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great value for the price. It's a high-quality machine that has helped me to improve the efficiency of my production process.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD)
نقدم فرن PECVD الدوار المائل من أجل ترسيب دقيق للغشاء الرقيق. استمتع بمصدر المطابقة التلقائية ، والتحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID ، والتحكم في مقياس تدفق الكتلة MFC عالي الدقة. ميزات أمان مدمجة لراحة البال.
RF PECVD نظام تردد الراديو ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
RF-PECVD هو اختصار لعبارة "ترسيب البخار الكيميائي المعزز ببلازما التردد اللاسلكي." ترسب مادة DLC (فيلم الكربون الشبيه بالماس) على ركائز الجرمانيوم والسيليكون. يتم استخدامه في نطاق الطول الموجي للأشعة تحت الحمراء 3-12um.
فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD
KT-PE12 Slide PECVD System: نطاق طاقة واسع ، تحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة ، تسخين / تبريد سريع مع نظام انزلاقي ، تحكم في التدفق الكتلي MFC ومضخة تفريغ.
شعاع الإلكترون طلاء التبخر بوتقة النحاس خالية من الأكسجين
عند استخدام تقنيات تبخير الحزمة الإلكترونية ، فإن استخدام بوتقات النحاس الخالية من الأكسجين يقلل من خطر تلوث الأكسجين أثناء عملية التبخر.
آلة الرنان الأسطوانية MPCVD لنمو المختبر والماس
تعرف على آلة الرنان الأسطواني MPCVD ، وهي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما بالميكروويف المستخدمة في زراعة الأحجار الكريمة والأغشية الماسية في صناعات المجوهرات وأشباه الموصلات. اكتشف مزاياها الفعالة من حيث التكلفة مقارنة بأساليب HPHT التقليدية.
آلة رنان الجرس MPCVD لنمو المختبر والماس
احصل على أغشية ألماس عالية الجودة باستخدام آلة Bell-jar Resonator MPCVD المصممة لنمو المختبر والماس. اكتشف كيف يعمل ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما الميكروويف على زراعة الماس باستخدام غاز الكربون والبلازما.
ألماس CVD للإدارة الحرارية: ألماس عالي الجودة مع موصلية حرارية تصل إلى 2000 واط/م ك، مثالي لموزعات الحرارة، وثنائيات الليزر، وتطبيقات GaN على الماس (GOD).
يمكن استخدامه لترسيب البخار للعديد من المعادن والسبائك. يمكن أن تتبخر معظم المعادن تمامًا دون خسارة. سلال التبخر قابلة لإعادة الاستخدام.
قارب تبخير التنجستن / الموليبدينوم نصف كروي
يستخدم لطلاء الذهب والطلاء الفضي والبلاتين والبلاديوم ومناسب لكمية صغيرة من مواد الأغشية الرقيقة. تقليل الفاقد من مواد الفيلم وتقليل تبديد الحرارة.
الماس المغطى بالبورون CVD: مادة متعددة الاستخدامات تتيح التوصيل الكهربائي المخصص والشفافية البصرية والخصائص الحرارية الاستثنائية للتطبيقات في مجال الإلكترونيات والبصريات والاستشعار وتقنيات الكم.
ماكينة ألماس MPCVD 915 ميجا هرتز
915 ميجا هرتز MPCVD الماس آلة الماس 915MHz ونموها الفعال متعدد البلورات، يمكن أن تصل المساحة القصوى إلى 8 بوصات، ويمكن أن تصل مساحة النمو الفعال القصوى للبلورة الواحدة إلى 5 بوصات. تُستخدم هذه المعدات بشكل أساسي لإنتاج أفلام الماس متعدد الكريستالات كبيرة الحجم، ونمو الماس أحادي البلورة الطويل، ونمو الجرافين عالي الجودة في درجات حرارة منخفضة، وغيرها من المواد التي تتطلب طاقة توفرها بلازما الميكروويف للنمو.
وعاء لوضع الأغشية الرقيقة ؛ له جسم سيراميك مغطى بالألمنيوم لتحسين الكفاءة الحرارية والمقاومة الكيميائية. مما يجعلها مناسبة لمختلف التطبيقات.
صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD
احصل على فرن CVD الخاص بك مع الفرن متعدد الاستخدامات KT-CTF16. وظائف انزلاق ودوران وإمالة قابلة للتخصيص للحصول على تفاعلات دقيقة. اطلب الان!
عالية النقاء البلاديوم (Pd) الاخرق الهدف / مسحوق / سلك / كتلة / حبيبة
هل تبحث عن مواد بلاديوم ميسورة التكلفة لمختبرك؟ نحن نقدم حلولًا مخصصة بنقاوة وأشكال وأحجام مختلفة - من أهداف الرش إلى مساحيق نانومتر ومساحيق الطباعة ثلاثية الأبعاد. تصفح مجموعتنا الآن!
الفاناديوم عالي النقاء (V) الاخرق الهدف / مسحوق / سلك / كتلة / حبيبة
هل تبحث عن مواد عالية الجودة من الفاناديوم (V) لمختبرك؟ نحن نقدم مجموعة واسعة من الخيارات القابلة للتخصيص لتناسب احتياجاتك الفريدة ، بما في ذلك أهداف الرش ، والمساحيق ، والمزيد. اتصل بنا اليوم للحصول على أسعار تنافسية.
طلاء الماس CVD: موصلية حرارية فائقة وجودة كريستالية والتصاق لأدوات القطع والاحتكاك والتطبيقات الصوتية
النوافذ الضوئية الماسية: شفافية استثنائية واسعة النطاق للأشعة تحت الحمراء، وموصلية حرارية ممتازة وتشتت منخفض في الأشعة تحت الحمراء، لتطبيقات نوافذ الليزر والأشعة تحت الحمراء عالية الطاقة.
قم بترقية تجاربك الكهروكيميائية باستخدام قطب القرص البلاتيني. جودة عالية وموثوقة للحصول على نتائج دقيقة.
رف تنظيف الركيزة الزجاجية الموصلة PTFE
يتم استخدام رف تنظيف الركيزة الزجاجية الموصلة PTFE كحامل لرقائق السيليكون ذات الخلايا الشمسية المربعة لضمان معالجة فعالة وخالية من التلوث أثناء عملية التنظيف.
معدات رسم طلاء نانو الماس HFCVD
يستخدم قالب سحب الطلاء المركب بالماس النانوي المركب كربيد الأسمنت (WC-Co) كركيزة، ويستخدم طريقة طور البخار الكيميائي (طريقة CVD للاختصار) لطلاء الطلاء المركب التقليدي بالماس والماس النانوي المركب على سطح الثقب الداخلي للقالب.
المقالات ذات الصلة
ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD): دليل شامل
تعرّف على كل ما تحتاج إلى معرفته عن الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي (PECVD)، وهي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات. استكشف مبادئها وتطبيقاتها وفوائدها.
فهم PECVD: دليل لترسب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
PECVD هي تقنية مفيدة لإنشاء أغشية رقيقة لأنها تسمح بترسيب مجموعة متنوعة من المواد ، بما في ذلك الأكاسيد والنتريد والكربيدات.
دور البلازما في طلاءات PECVD
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هو نوع من عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم على نطاق واسع لإنشاء طلاءات على ركائز مختلفة. في هذه العملية ، يتم استخدام البلازما لإيداع أغشية رقيقة من مواد مختلفة على الركيزة.
مقدمة عن ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
ترسيب البخار الكيميائي ، أو CVD ، هو عملية طلاء تتضمن استخدام المواد المتفاعلة الغازية لإنتاج أغشية وطبقات رقيقة عالية الجودة.
مزايا ومساوئ الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD)
الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD) هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الاستخدامات المستخدمة على نطاق واسع في مختلف الصناعات. استكشف مزاياها وعيوبها وتطبيقاتها الجديدة المحتملة.
مقارنة أداء PECVD و HPCVD في تطبيقات الطلاء
على الرغم من استخدام كل من PECVD و HFCVD لتطبيقات الطلاء ، إلا أنهما يختلفان من حيث طرق الترسيب والأداء والملاءمة لتطبيقات محددة.
آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية مستخدمة على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.
لماذا يعتبر PECVD ضروريًا لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هي تقنية شائعة لترسيب الأغشية الرقيقة تستخدم في تصنيع أجهزة الإلكترونيات الدقيقة.
دليل خطوة بخطوة لعملية PECVD
PECVD هو نوع من عمليات ترسيب البخار الكيميائي الذي يستخدم البلازما لتعزيز التفاعلات الكيميائية بين سلائف الطور الغازي والركيزة.
دليل شامل لصيانة معدات PECVD
تعد الصيانة المناسبة لمعدات PECVD أمرًا بالغ الأهمية لضمان الأداء الأمثل وطول العمر والسلامة.
مقارنة ترسيب البخار الكيميائي والترسيب الفيزيائي للبخار
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) مقابل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)
عملية تصنيع الماس CVD بواسطة آلة MPCVD
اكتسبت آلات الماس CVD أهمية كبيرة في مختلف الصناعات والبحث العلمي.