فرن CVD و PECVD
معدات ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما الدوارة المائلة فرن أنبوبي آلة
رقم العنصر : KT-PED
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة حرارة تسخين حامل العينة
- ≤800℃
- قنوات تنقية الغاز
- 4 قنوات
- حجم غرفة التفريغ
- Φ500mm × 550 mm
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
لماذا تختارنا
شريك موثوقعملية طلب سهلة، منتجات عالية الجودة، ودعم مخصص لنجاح عملك.
مقدمة
ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) هو عملية ترسيب أغشية رقيقة في الفراغ تستخدم الأبخرة أو الغازات كمواد أولية لإنشاء طلاء. PECVD هو نوع من ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الذي يستخدم البلازما بدلاً من الحرارة لتنشيط غاز المصدر أو البخار. نظرًا لأنه يمكن تجنب درجات الحرارة العالية، فإن نطاق الركائز الممكنة يتوسع إلى مواد ذات نقطة انصهار منخفضة - حتى البلاستيك في بعض الحالات. علاوة على ذلك، ينمو أيضًا نطاق مواد الطلاء التي يمكن ترسيبها. يستخدم PECVD لترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك العوازل وأشباه الموصلات والمعادن والعوازل. تستخدم طلاءات PECVD في مجموعة واسعة من التطبيقات، بما في ذلك الخلايا الشمسية وشاشات العرض المسطحة والإلكترونيات الدقيقة.
تطبيقات
توفر آلات طلاء ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) حلاً متعدد الاستخدامات لمختلف الصناعات والتطبيقات:
- إضاءة LED:** ترسيب أغشية عازلة وشبه موصلة عالية الجودة للصمامات الثنائية الباعثة للضوء (LEDs).
- أشباه الموصلات للطاقة:** تكوين طبقات عازلة وأكاسيد بوابة ومكونات حرجة أخرى في أجهزة أشباه الموصلات للطاقة.
- أنظمة MEMS:** تصنيع أغشية رقيقة لأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، مثل المستشعرات والمشغلات.
- الطلاءات البصرية:** ترسيب طلاءات مضادة للانعكاس، وفلاتر بصرية، ومكونات بصرية أخرى.
- الخلايا الشمسية الرقيقة:** إنتاج أغشية سيليكون غير متبلورة وشبه متبلورة للخلايا الشمسية.
- تعديل السطح:** تحسين خصائص السطح، مثل مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل، والتوافق الحيوي.
- تكنولوجيا النانو:** تصنيع المواد النانوية، بما في ذلك الجسيمات النانوية، والأسلاك النانوية، والأغشية الرقيقة.
مميزات
تقدم آلة طلاء ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) العديد من المزايا التي تعزز الإنتاجية وتقدم نتائج استثنائية:
- ترسيب بدرجة حرارة منخفضة: يتيح تكوين أغشية عالية الجودة في درجات حرارة أقل بكثير من طرق CVD التقليدية، مما يجعلها مناسبة للركائز الحساسة.
- معدلات ترسيب عالية: تزيد من الكفاءة إلى أقصى حد عن طريق ترسيب الأغشية بسرعة، مما يقلل من وقت الإنتاج ويزيد من الإنتاج.
- أغشية موحدة ومقاومة للتشقق: تضمن خصائص غشاء متسقة وتقلل من خطر التشقق، مما يؤدي إلى طلاءات موثوقة ودائمة.
- التصاق ممتاز بالركائز: يوفر ترابطًا قويًا بين الغشاء والركيزة، مما يضمن أداءً طويل الأمد ويمنع التقشر.
- قدرات طلاء متعددة الاستخدامات: تسمح بترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك SiO2 و SiNx و SiOxNy، لتلبية متطلبات التطبيقات المتنوعة.
- تخصيص للأشكال الهندسية المعقدة: يستوعب الركائز ذات الأشكال المعقدة، مما يضمن طلاءًا موحدًا وأداءً مثاليًا.
- صيانة منخفضة وتركيب سهل: يقلل من وقت التوقف عن العمل ويبسط الإعداد، مما يعزز الإنتاجية والفعالية من حيث التكلفة.
المواصفات الفنية
| حامل العينة | الحجم | 1-6 بوصة |
| سرعة الدوران | 0-20 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل | |
| درجة حرارة التسخين | ≤800 درجة مئوية | |
| دقة التحكم | ±0.5 درجة مئوية متحكم PID من SHIMADEN | |
| تطهير الغاز | مقياس التدفق | متحكم في مقياس التدفق الكتلي (MFC) |
| القنوات | 4 قنوات | |
| طريقة التبريد | تبريد بالماء المتداول | |
| غرفة التفريغ | حجم الغرفة | Φ500 مم × 550 مم |
| منفذ المراقبة | منفذ رؤية كامل مع حاجز | |
| مادة الغرفة | ستانلس ستيل 316 | |
| نوع الباب | باب أمامي مفتوح | |
| مادة الغطاء | ستانلس ستيل 304 | |
| منفذ مضخة التفريغ | شفة CF200 | |
| منفذ مدخل الغاز | موصل VCR φ6 | |
| طاقة البلازما | طاقة المصدر | طاقة تيار مستمر أو طاقة ترددات لاسلكية |
| وضع الاقتران | اقتران حثي أو سعوي لوحي | |
| طاقة الخرج | 500 واط - 1000 واط | |
| طاقة التحيز | 500 فولت | |
| مضخة التفريغ | مضخة أولية | مضخة تفريغ دوارة 15 لتر/ثانية |
| منفذ مضخة التوربو | CF150/CF200 620 لتر/ثانية - 1600 لتر/ثانية | |
| منفذ التخفيف | KF25 | |
| سرعة المضخة | مضخة دوارة: 15 لتر/ثانية، مضخة توربينية: 1200 لتر/ثانية أو 1600 لتر/ثانية | |
| درجة التفريغ | ≤5×10-5 باسكال | |
| مستشعر التفريغ | مقياس تفريغ تأيوني/مقاوم/مقياس غشاء | |
| النظام | مزود الطاقة الكهربائية | تيار متردد 220 فولت / 380 فولت 50 هرتز |
| الطاقة المقدرة | 5 كيلو واط | |
| الأبعاد | 900 مم × 820 مم × 870 مم | |
| الوزن | 200 كجم |
المبدأ
يستخدم ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) البلازما لتحفيز التفاعلات الكيميائية أثناء الترسيب، مما يتيح تكوين أغشية صلبة عالية الجودة في درجات حرارة منخفضة. من خلال استخدام بلازما عالية الطاقة، تعزز آلات PECVD معدلات التفاعل وتخفض درجات حرارة التفاعل. تستخدم هذه التقنية على نطاق واسع في إضاءة LED وأشباه الموصلات للطاقة وأنظمة MEMS. تسمح بترسيب أغشية SiO2 و SiNx و SiOxNy وغيرها من الأغشية الوسيطة، بالإضافة إلى الترسيب عالي السرعة لأغشية SiO السميكة على الركائز المركبة. يوفر PECVD جودة تشكيل غشاء ممتازة، ويقلل من الثقوب الدقيقة، ويقلل من التشقق، مما يجعله مناسبًا لإنتاج أجهزة الخلايا الشمسية الرقيقة غير المتبلورة وشبه المتبلورة.
الميزة
- القدرة على ترسيب مواد متنوعة: يمكن لـ PECVD ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك الكربون الشبيه بالألماس، ومركبات السيليكون، وأكاسيد المعادن، مما يسمح بإنشاء أغشية ذات خصائص مصممة خصيصًا.
- التشغيل في درجات حرارة منخفضة: يعمل PECVD في درجات حرارة منخفضة (عادة 300-450 درجة مئوية)، مما يجعله مناسبًا للركائز الحساسة للحرارة.
- أغشية رقيقة عالية الجودة: ينتج PECVD أغشية رقيقة ذات توحيد ممتاز، وتحكم في السماكة، ومقاومة للتشقق.
- التصاق ممتاز: تظهر الأغشية المترسبة بواسطة PECVD التصاقًا قويًا بالركيزة، مما يضمن المتانة والموثوقية.
- طلاء متوافق: يتيح PECVD طلاء الأشكال الهندسية المعقدة، مما يوفر تغطية وحماية موحدة.
- معدلات ترسيب عالية: يوفر PECVD معدلات ترسيب سريعة، مما يزيد من الإنتاجية ويقلل من وقت الإنتاج.
- صيانة منخفضة: تم تصميم أنظمة PECVD لتكون ذات صيانة منخفضة، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل ويزيد من وقت التشغيل.
- سهولة التركيب: معدات PECVD سهلة التركيب والدمج في خطوط الإنتاج الحالية نسبيًا.
- تصميم قوي: تم بناء أنظمة PECVD بتصميمات قوية، مما يضمن الاستقرار والأداء طويل الأمد.
- عمر عمل ممتد: تم تصميم أنظمة PECVD لتدوم طويلاً، مما يوفر حلاً فعالاً من حيث التكلفة لاحتياجات ترسيب الأغشية الرقيقة طويلة الأجل.
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هي طريقة PECVD؟
ما هو الـ Mpcvd؟
ما هو استخدام PECVD؟
ما هي آلة Mpcvd؟
ما هي مزايا PECVD؟
ما هي مزايا Mpcvd؟
ما هو الفرق بين ALD و PECVD؟
هل ألماس الأمراض القلبية الوعائية حقيقي أم مزيف؟
ما هو الفرق بين PECVD والخرق؟
4.9
out of
5
I'm impressed by how quickly my PECVD coating machine arrived. It was delivered within a week of ordering, which was much faster than I expected.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is an excellent value for the price. It's well-made and produces high-quality coatings.
4.8
out of
5
I've been using the PECVD coating machine for a few months now, and I'm very happy with its performance. The coatings are durable and have improved the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a game-changer for my business. It's helped me to increase my production capacity and improve the quality of my products.
4.7
out of
5
I'm very impressed with the technological advancements of the PECVD coating machine. It's a cutting-edge piece of equipment that has helped me to stay ahead of the competition.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is easy to use and maintain. I've had no problems with it since I purchased it.
4.9
out of
5
I highly recommend the PECVD coating machine to anyone who needs a high-quality, durable coating for their products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very satisfied with the PECVD coating machine. It's a reliable and efficient piece of equipment that has helped me to improve my production process.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great value for the price. It's a high-quality machine that has helped me to improve the efficiency of my production process.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
نظام معدات ترسيب البخار الكيميائي متعدد الاستخدامات ذو الأنبوب الحراري المصنوع حسب الطلب للعملاء
احصل على فرن ترسيب البخار الكيميائي الحصري الخاص بك مع فرن KT-CTF16 متعدد الاستخدامات المصنوع حسب الطلب للعملاء. وظائف قابلة للتخصيص للانزلاق والتدوير والإمالة للتفاعلات الدقيقة. اطلب الآن!
فرن أنبوبي مقسم 1200 درجة مئوية مع فرن أنبوبي مختبري من الكوارتز
فرن أنبوبي مقسم KT-TF12: عزل عالي النقاء، ملفات تسخين مدمجة، ودرجة حرارة قصوى 1200 درجة مئوية. يستخدم على نطاق واسع في المواد الجديدة وترسيب البخار الكيميائي.
تعرف على جهاز الرنين الأسطواني MPCVD، وهي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما الميكروويف المستخدمة لنمو الأحجار الكريمة والأفلام الماسية في صناعات المجوهرات وأشباه الموصلات. اكتشف مزاياها الفعالة من حيث التكلفة مقارنة بالطرق التقليدية HPHT.
آلة فرن الضغط الساخن بالفراغ مكبس الضغط الساخن بالفراغ
اكتشف مزايا فرن الضغط الساخن بالفراغ! قم بتصنيع معادن ومركبات مقاومة للحرارة وكثيفة، وسيراميك، ومركبات تحت درجة حرارة وضغط عاليتين.
فرن معالجة حرارية بالفراغ من الموليبدينوم
اكتشف فوائد فرن الموليبدينوم الفراغي عالي التكوين مع عزل درع حراري. مثالي للبيئات الفراغية عالية النقاء مثل نمو بلورات الياقوت والمعالجة الحرارية.
فرن صهر القوس الفراغي غير المستهلك
استكشف فوائد فرن القوس الفراغي غير المستهلك مع أقطاب كهربائية ذات نقطة انصهار عالية. صغير وسهل التشغيل وصديق للبيئة. مثالي للبحث المخبري للمعادن المقاومة للحرارة والكربيدات.
فرن جو متحكم فيه بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية فرن جو خامل بالنيتروجين
اكتشف فرن الجو المتحكم فيه KT-12A Pro الخاص بنا - دقة عالية، حجرة تفريغ شديدة التحمل، وحدة تحكم بشاشة لمس ذكية متعددة الاستخدامات، وتوحيد ممتاز لدرجة الحرارة حتى 1200 درجة مئوية. مثالي للتطبيقات المختبرية والصناعية.
ورقة كربون زجاجي RVC للتجارب الكهروكيميائية
اكتشف ورقة الكربون الزجاجي الخاصة بنا - RVC. هذه المادة عالية الجودة مثالية لتجاربك، وسترفع مستوى أبحاثك إلى المستوى التالي.
قارب تبخير سيراميك مطلي بالألمنيوم لترسيب الأغشية الرقيقة
وعاء لترسيب الأغشية الرقيقة؛ له جسم سيراميك مطلي بالألمنيوم لتحسين الكفاءة الحرارية والمقاومة الكيميائية، مما يجعله مناسبًا لمختلف التطبيقات.
معدات التعقيم بالـ VHP بيروكسيد الهيدروجين معقم مساحات H2O2
معقم المساحات ببيروكسيد الهيدروجين هو جهاز يستخدم بيروكسيد الهيدروجين المتبخر لإزالة التلوث من المساحات المغلقة. يقتل الكائنات الحية الدقيقة عن طريق إتلاف مكوناتها الخلوية والمواد الوراثية.
المقالات ذات الصلة
ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD): دليل شامل
تعرّف على كل ما تحتاج إلى معرفته عن الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي (PECVD)، وهي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات. استكشف مبادئها وتطبيقاتها وفوائدها.
فهم PECVD: دليل لترسب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
PECVD هي تقنية مفيدة لإنشاء أغشية رقيقة لأنها تسمح بترسيب مجموعة متنوعة من المواد ، بما في ذلك الأكاسيد والنتريد والكربيدات.
دور البلازما في طلاءات PECVD
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هو نوع من عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم على نطاق واسع لإنشاء طلاءات على ركائز مختلفة. في هذه العملية ، يتم استخدام البلازما لإيداع أغشية رقيقة من مواد مختلفة على الركيزة.
مقدمة عن ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
ترسيب البخار الكيميائي ، أو CVD ، هو عملية طلاء تتضمن استخدام المواد المتفاعلة الغازية لإنتاج أغشية وطبقات رقيقة عالية الجودة.
مزايا ومساوئ الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD)
الترسيب الكيميائي للبخار الكيميائي (CVD) هو تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة متعددة الاستخدامات المستخدمة على نطاق واسع في مختلف الصناعات. استكشف مزاياها وعيوبها وتطبيقاتها الجديدة المحتملة.
مقارنة أداء PECVD و HPCVD في تطبيقات الطلاء
على الرغم من استخدام كل من PECVD و HFCVD لتطبيقات الطلاء ، إلا أنهما يختلفان من حيث طرق الترسيب والأداء والملاءمة لتطبيقات محددة.
آلات CVD لترسيب الأغشية الرقيقة
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هي تقنية مستخدمة على نطاق واسع لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة.
لماذا يعتبر PECVD ضروريًا لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هي تقنية شائعة لترسيب الأغشية الرقيقة تستخدم في تصنيع أجهزة الإلكترونيات الدقيقة.
دليل خطوة بخطوة لعملية PECVD
PECVD هو نوع من عمليات ترسيب البخار الكيميائي الذي يستخدم البلازما لتعزيز التفاعلات الكيميائية بين سلائف الطور الغازي والركيزة.
ما وراء الحرارة: الفوضى المنظمة للترسيب الكيميائي للبخار
استكشف عالم أفران الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) المعقد، حيث تخلق الفوضى المنظمة على المستوى الذري مواد المستقبل.
دليل شامل لصيانة معدات PECVD
تعد الصيانة المناسبة لمعدات PECVD أمرًا بالغ الأهمية لضمان الأداء الأمثل وطول العمر والسلامة.
مقارنة ترسيب البخار الكيميائي والترسيب الفيزيائي للبخار
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) مقابل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)