فريق التقنية · Kintek Solution

تعد مضخة الانتشار مكونًا حاسمًا في تحقيق مستويات تفريغ عالية، وتعمل عادةً في نطاق 10^-3 إلى 10^-9 تور.وهي تعتمد على تبخير الزيت لإنشاء نفاثة عالية السرعة، والتي تلتقط جزيئات الغاز وتزيلها من النظام.يتم دعم هذه العملية بواسطة مضخة تفريغ دوارة ذات ريشة دوارة، والتي تعمل كمضخة دعم للحفاظ على نطاق الضغط اللازم لمضخة الانتشار لتعمل بفعالية.يعتمد مستوى التفريغ الذي يتم تحقيقه على عوامل مثل نوع الزيت المستخدم وتصميم المضخة ومتطلبات النظام.تُستخدم مضخات التفريغ على نطاق واسع في التطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا، مثل الفحص المجهري الإلكتروني، والطلاء بالتفريغ، وتصنيع أشباه الموصلات.

شرح النقاط الرئيسية:

1. مبدأ تشغيل مضخة الانتشار:

   • تعمل مضخة الانتشار عن طريق تبخير الزيت لتكوين نفاثة عالية السرعة.تقوم هذه المضخة النفاثة بالتقاط جزيئات الغاز وتوجيهها نحو عادم المضخة، حيث تتم إزالتها بواسطة مضخة تفريغ الهواء، وهي عادةً مضخة تفريغ ذات ريشة دوارة.
   • يتم تنشيط المضخة في نطاق الضغط من 10 إلى 1 ميكرون (10^-2 إلى 10^-3 تور)، وهي المنطقة الانتقالية بين التفريغ الخشن والتفريغ العالي.

2. مستويات التفريغ التي يمكن تحقيقها:

   • يمكن لمضخات التفريغ أن تحقق مستويات تفريغ تتراوح من 10^-3 إلى 10^-9 تور، اعتمادًا على تصميم النظام ونوع الزيت وظروف التشغيل.
   • إن خاصية نسبة الضغط المرتفعة التي تتميز بها مضخات التفريغ تجعلها مناسبة للتكوينات متعددة المراحل، مما يعزز من أدائها.

3. دور المضخة المساندة:

   • مضخة التفريغ ذات الريشة الدوارة ضرورية للحفاظ على نطاق الضغط اللازم لتشغيل مضخة الانتشار.وهي تقلل من ضغط النظام إلى مستوى يمكن لمضخة الانتشار أن تتولى فيه مضخة الانتشار بفعالية.
   • تضمن مضخة الدعم تشغيل مضخة الانتشار ضمن نطاقها الأمثل، مما يمنع التحميل الزائد ويحافظ على الكفاءة.

4. العوامل المؤثرة على مستويات التفريغ:

   • يؤثر نوع الزيت المستخدم في مضخة الانتشار بشكل كبير على أدائها.ويفضل استخدام الزيوت ذات ضغط البخار المنخفض لتحقيق مستويات تفريغ أعمق.
   • كما يلعب تصميم النظام، بما في ذلك حجم المضخة وتكوينها، دورًا حاسمًا في تحديد مستوى التفريغ الذي يمكن تحقيقه.

5. تطبيقات مضخات الانتشار:

   • تُستخدم مضخات التفريغ على نطاق واسع في التطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا، مثل الفحص المجهري الإلكتروني، والطلاء بالتفريغ، وتصنيع أشباه الموصلات.
   • قدرتها على تحقيق مستويات تفريغ عالية للغاية والحفاظ عليها تجعلها لا غنى عنها في هذه المجالات.

6. متطلبات النظام واعتبارات المذيبات:

   • يعتمد مستوى التفريغ المطلوب في النظام على المذيب المستخدم ودرجة حرارة التبخير.تنظم الأنظمة الحديثة عمق التفريغ لتحقيق نتائج محددة، مثل تقليل التلوث أو تعزيز كفاءة العملية.

من خلال فهم هذه النقاط الرئيسية، يمكن لمشتري المعدات اتخاذ قرارات مستنيرة بشأن اختيار مضخات الانتشار وتشغيلها لتطبيقاتهم المحددة.يعد التفاعل بين مضخة الانتشار والمضخة الداعمة لها، إلى جانب اختيار الزيت وتصميم النظام، عوامل حاسمة في تحقيق مستويات التفريغ المطلوبة.

جدول ملخص:

الجانب	التفاصيل
نطاق التفريغ	10^-3 إلى 10^-9 تور
مبدأ التشغيل	تقوم بتبخير الزيت لإنشاء نفاثة عالية السرعة، والتقاط جزيئات الغاز وإزالتها.
مضخة دعم	تحافظ مضخة التفريغ ذات الريشة الدوارة على نطاق الضغط اللازم.
العوامل الرئيسية	نوع الزيت وتصميم المضخة ومتطلبات النظام.
التطبيقات	الفحص المجهري الإلكتروني، والطلاء بالتفريغ، وتصنيع أشباه الموصلات.

اكتشف كيف يمكن لمضخة الانتشار أن تلبي احتياجاتك من التفريغ عالي التفريغ- اتصل بخبرائنا اليوم !