لتحقيق تفريغ عالٍ، عادةً ما يتم استخدام مجموعة من المضخات، حيث تكون المضخة التوربينية أو مضخة نشر الزيت هي الخيار الأساسي لمستويات التفريغ العالية. هذه المضخات متخصصة لتحقيق ضغوط منخفضة للغاية وغالبًا ما تستخدم في سلسلة مع مضخة مسبقة، مثل مضخة الريشة الدوارة أو مضخة التمرير الجاف.
المضخات الجزيئية التوربينية:
المضخات التوربينية الجزيئية مصممة للعمل عند مستويات تفريغ عالية جدًا، عادةً أقل من 10^-7 ملي بار. وهي تعمل باستخدام شفرات دوارة لنقل الزخم إلى جزيئات الغاز في اتجاه معاكس لاتجاه تدفق الغاز، مما يضخ الغاز خارج النظام بشكل فعال. تتميز هذه المضخات بكفاءة عالية في إزالة الغازات وتستخدم عادةً في التطبيقات التي تتطلب تفريغًا عاليًا للغاية، كما هو الحال في تصنيع أشباه الموصلات والبحث العلمي وغرف المحاكاة الفضائية.مضخات نشر الزيت:
مضخات نشر الزيت هي نوع آخر من المضخات المستخدمة في تطبيقات التفريغ العالي. وهي تعمل عن طريق توجيه نفاثة عالية السرعة من بخار الزيت على جدران الغرفة، والتي تتكثف بعد ذلك وتعود إلى الغلاية. تُدفع جزيئات الغاز في الغرفة بواسطة نفاثات بخار الزيت نحو مخرج حيث يتم تجميعها وإزالتها. يمكن أن تحقق هذه المضخات مستويات تفريغ تصل إلى 10^-7 ملي بار، وغالبًا ما تستخدم في التطبيقات العلمية والصناعية التي تتطلب تفريغًا عاليًا.
وتتطلب كل من المضخات التوربينية ومضخات نشر الزيت مضخة دعم (مثل مضخة الريشة الدوارة) للحفاظ على ضغط منخفض بما فيه الكفاية عند مدخلها لتعمل بفعالية. تخلق المضخة الداعمة تفريغًا خشنًا، والذي يتم تنقيحه بعد ذلك بواسطة مضخة التفريغ العالي لتحقيق الضغط المنخفض للغاية المطلوب.
