هناك عدة أنواع من تقنيات الاخرق، وأكثرها شيوعًا هي تقنية الاخرق المغنطروني بالتيار المباشر (DC) وتقنية الاخرق التفاعلي. لكل تقنية خصائص ومزايا فريدة من نوعها.
رش المغنطرون المغنطروني بالتيار المباشر (DC):
في هذه الطريقة، يتم استخدام مصدر طاقة تيار مباشر لتوليد بلازما في بيئة غازية منخفضة الضغط. يتم إنشاء البلازما بالقرب من مادة مستهدفة، عادةً ما تكون مصنوعة من المعدن أو السيراميك، والتي سيتم رشها. تتسبب البلازما في تصادم أيونات الغاز مع الهدف، مما يؤدي إلى إزاحة الذرات من السطح وقذفها إلى المرحلة الغازية. ويساعد المجال المغناطيسي الناتج عن مجموعة المغناطيس على زيادة معدل الرش بالمغناطيس ويضمن ترسيباً أكثر اتساقاً للمادة المرشوشة على الركيزة. يمكن حساب معدل الاخرق باستخدام معادلة محددة تأخذ في الاعتبار عوامل مثل كثافة تدفق الأيونات، وعدد ذرات الهدف لكل وحدة حجم، والوزن الذري للمادة المستهدفة، وغير ذلك.الاخرق التفاعلي:
تنطوي هذه العملية على الجمع بين غاز غير خامل، مثل الأكسجين، ومادة مستهدفة عنصرية، مثل السيليكون. يتفاعل الغاز كيميائياً مع ذرات الرذاذ داخل الغرفة، مما يولد مركباً جديداً يعمل كمادة طلاء بدلاً من المادة المستهدفة النقية الأصلية. وهذه التقنية مفيدة بشكل خاص لإنشاء مركبات كيميائية محددة في عملية الترسيب.
باختصار، في حين أن هناك العديد من المتغيرات في تقنيات الرش بالمغناطيسية، فإن الأنواع الأساسية التي تمت مناقشتها هنا هي الرش المغنطروني بالتيار المستمر والرش التفاعلي. كل طريقة مصممة خصيصًا لتطبيقات ومواد محددة، مما يوفر تحكمًا دقيقًا في عملية الترسيب لمختلف الأغراض الصناعية والعلمية.
