فريق التقنية · Kintek Solution

تتراوح سماكة طلاء الاخرق عادةً من الأنجستروم إلى الميكرون، اعتمادًا على التطبيق المحدد ومعلمات العملية.وتتأثر السماكة بعوامل مثل وقت الاخرق والطاقة المطبقة على الهدف وخصائص المواد وظروف العملية مثل ضغط التفريغ والمسافة بين الهدف والعينة.يمكن أن تكون الطلاءات أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات، مع اختيار المواد بناءً على الموصلية وحجم الحبيبات وخصائص انبعاث الإلكترونات الثانوية.هذه العملية قابلة للتخصيص بدرجة كبيرة، مما يسمح بالتحكم الدقيق في سُمك وجودة الطبقة المودعة.

شرح النقاط الرئيسية:

1. نطاق السُمك النموذجي:

   • تتراوح طبقات الرذاذ عمومًا من أنجستروم (Å) إلى ميكرون (µم) .
   • أنجستروم (Å):1 Å = 0.1 نانومتر (نانومتر).يستخدم هذا النطاق للطلاءات الرقيقة جداً، وغالباً في التطبيقات التي تتطلب دقة عالية، مثل تصنيع أشباه الموصلات أو تكنولوجيا النانو.
   • ميكرون (ميكرومتر):1 ميكرومتر = 1000 نانومتر.يستخدم هذا النطاق للطلاءات الأكثر سماكة، كما هو الحال في الطبقات الواقية أو الطلاءات البصرية.

2. العوامل المؤثرة في السماكة:

   • وقت الاهتزاز:كلما طالت عملية الاخرق كلما زادت سماكة الطلاء.هذه علاقة مباشرة، حيث يتم ترسيب المزيد من المواد بمرور الوقت.
   • الطاقة المطبقة على الهدف:تعمل مستويات الطاقة الأعلى على زيادة طاقة الجسيمات المبثوقة، مما يؤدي إلى معدل ترسيب أعلى وطلاءات أكثر سمكًا.
   • خصائص المواد:تؤثر كتلة ومستوى طاقة جسيمات الطلاء على كيفية ترسبها على الركيزة.قد تؤدي المواد الأثقل أو الجسيمات ذات الطاقة الأعلى إلى ترسيب المزيد من المواد لكل وحدة زمنية.
   • شروط العملية:
     • ضغط الفراغ:يمكن أن يؤدي انخفاض الضغط في حجرة العينة إلى ترسيب أكثر تحكمًا واتساقًا.
     • المسافة بين الهدف والعينة:يمكن أن تؤدي المسافة الأقصر إلى زيادة معدل الترسيب، بينما قد تؤدي المسافة الأطول إلى طلاءات أكثر اتساقًا.
     • غاز الرذاذ:يمكن أن يؤثر نوع الغاز المستخدم (على سبيل المثال، الأرجون) على طاقة واتجاه الجسيمات المنبثقة.

3. الطلاء المفرد مقابل الطلاء متعدد الطبقات:

   • الطلاءات أحادية المادة الواحدة:هذه واضحة ومباشرة، مع طبقة موحدة من مادة واحدة.يتم التحكم في السماكة بواسطة معلمات الاخرق.
   • الطلاء متعدد الطبقات:تتضمن طبقات متناوبة من مواد مختلفة.يمكن أن يكون لكل طبقة سُمك مختلف، اعتماداً على الخصائص المطلوبة (على سبيل المثال، التوصيلية أو الانعكاسية أو المتانة).السماكة الكلية هي مجموع الطبقات الفردية.

4. اختيار المواد:

   • مواد مثل الذهب/البلاديوم (Au/Paladium) , البلاتين (Pt) و الفضة (Ag) شائعة الاستخدام بسبب خصائصها المحددة:
     • التوصيلية:ضروري لتطبيقات مثل الفحص المجهري الإلكتروني، حيث يحتاج الطلاء إلى توصيل الكهرباء لمنع الشحن.
     • حجم الحبيبات:يمكن أن تؤدي أحجام الحبيبات الأصغر إلى طلاءات أكثر سلاسة، وهو أمر مهم للتصوير عالي الدقة.
     • انبعاث الإلكترون الثانوي:تعد هذه الخاصية ضرورية لتعزيز الإشارة في تقنيات مثل الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM).

5. المعلمات الرئيسية التي تؤثر على عملية طلاء الرذاذ:

   • تيار الرذاذ والجهد:تتحكم هذه في طاقة ومعدل انبعاث الجسيمات من الهدف.
   • الضغط في غرفة العينة:عادةً ما يكون التفريغ العالي مطلوبًا لتقليل التلوث والتحكم في بيئة الترسيب.
   • سمك الهدف والمواد المستهدفة:تؤثر خصائص الهدف على معدل الاخرق وجودة الفيلم المترسب.
   • مادة العينة:يمكن أن تؤثر مادة الركيزة على مدى جودة التصاق الطلاء وخصائصه النهائية.

6. التطبيقات والتخصيص:

   • التطبيقات الدقيقة:في مجالات مثل تصنيع أشباه الموصلات، قد تحتاج الطلاءات إلى أن تكون رقيقة للغاية (أنجستروم) وموحدة.
   • الطلاءات الواقية:للتطبيقات التي تتطلب المتانة، يمكن استخدام طلاءات أكثر سمكًا (ميكرون).
   • الطلاءات البصرية:غالبًا ما تتضمن هذه الهياكل متعددة الطبقات لتحقيق خصائص انعكاس أو نفاذية محددة.

وباختصار، فإن سُمك الطلاء الرذاذي متغير للغاية ويعتمد على مجموعة من العوامل، بما في ذلك معلمات العملية وخصائص المواد والتطبيق المحدد.وتسمح القدرة على التحكم في هذه العوامل بإنشاء طلاءات تلبي المتطلبات الدقيقة، سواءً للطبقات فائقة الرقة في تكنولوجيا النانو أو الطلاءات الأكثر سمكًا ومتانة في التطبيقات الصناعية.

جدول ملخص:

الجانب	التفاصيل
نطاق السُمك	من أنجستروم (Å) إلى ميكرون (µم)
العوامل المؤثرة الرئيسية	وقت الاخرق والطاقة وخصائص المادة وضغط التفريغ والمسافة
أنواع الطلاء	أحادي الطبقة أو متعدد الطبقات
المواد الشائعة	الذهب/البلاديوم, البلاتين, الفضة, البلاتين
التطبيقات	تصنيع أشباه الموصلات، والطبقات الواقية، والطلاءات البصرية

هل تحتاج إلى طلاءات رذاذ دقيقة لتطبيقك؟ اتصل بخبرائنا اليوم للبدء!