ينطوي طلاء الرذاذ لـ SEM عادةً على وضع طبقة رقيقة للغاية من المعدن، مثل الذهب أو الذهب/البلاديوم أو البلاتين أو الفضة أو الكروم أو الإيريديوم على عينات غير موصلة أو ضعيفة التوصيل. والغرض من هذا الطلاء هو منع شحن العينة وتعزيز نسبة الإشارة إلى الضوضاء عن طريق زيادة انبعاث الإلكترونات الثانوية. يتراوح سمك الأغشية المنبثقة بشكل عام من 2 إلى 20 نانومتر.
شرح تفصيلي:
-
نطاق السماكة: تتراوح السماكة القياسية لطلاءات الرذاذ المستخدمة في الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM) بين 2 إلى 20 نانومتر. يتم اختيار هذا النطاق لضمان أن يكون الطلاء رقيقًا بما يكفي لعدم حجب التفاصيل الدقيقة للعينة ولكن سميكًا بما يكفي لتوفير توصيل كهربائي كافٍ ومنع الشحن.
-
أمثلة محددة:
- تم طلاء رقاقة مقاس 6 بوصة ب 3 نانومتر من الذهب/البلاديوم باستخدام جهاز الطلاء الرذاذيذ SC7640، مما يدل على أنه يمكن تحقيق طلاءات أرق (حتى 3 نانومتر) باستخدام معدات دقيقة.
- أظهرت صورة TEM فيلم بلاتينيوم متناثر بسماكة 2 نانومتر، مما يشير إلى القدرة على إنتاج طلاءات رقيقة جدًا مناسبة للتصوير عالي الدقة.
-
حساب السُمك: قدمت التجارب باستخدام تقنيات قياس التداخل معادلة لحساب سُمك طلاءات Au/Pd:
-
[Th = 7.5 I t \text{ (أنجستروم)}
-
]حيث (Th) هو السُمك بالأنجستروم، و(I) هو التيار بالمللي أمبير، و(t) هو الوقت بالدقائق. تنطبق هذه المعادلة في ظل ظروف محددة (V = 2.5 كيلو فولت، المسافة بين الهدف والعينة = 50 مم).
انتظام ودقة الطلاء
: يمكن لأجهزة طلاء الرذاذ المتطورة المزودة بميزات مثل التفريغ العالي وبيئات الغاز الخامل وأجهزة مراقبة سماكة الفيلم ترسيب طلاءات رقيقة تصل إلى 1 نانومتر. وتعد هذه الأدوات الدقيقة ضرورية للتطبيقات التي تتطلب دقة عالية، مثل تحليل EBSD، حيث تكون أصغر التفاصيل مهمة.
