عادةً ما يتضمن طلاء SEM تطبيق طبقة رقيقة من مادة موصلة مثل الذهب أو البلاتين أو سبيكة الذهب/الإيريديوم/البلاتين على العينات غير الموصلة أو ضعيفة التوصيل. هذا الطلاء ضروري لمنع شحن سطح العينة تحت شعاع الإلكترون وتعزيز انبعاث الإلكترون الثانوي وتحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء، مما يؤدي إلى الحصول على صور أكثر وضوحًا وثباتًا. بالإضافة إلى ذلك، يمكن للطلاء حماية العينات الحساسة للحزمة وتقليل التلف الحراري.
الطلاءات الموصلة:
الطلاءات الأكثر شيوعًا المستخدمة في SEM هي المعادن مثل الذهب والبلاتين وسبائك هذه المعادن. يتم اختيار هذه المواد لتوصيلها العالي وإنتاجيتها الثانوية للإلكترونات، مما يحسن بشكل كبير من قدرات التصوير في SEM. على سبيل المثال، يمكن أن يؤدي طلاء عينة ببضعة نانومترات فقط من الذهب أو البلاتين إلى زيادة نسبة الإشارة إلى الضوضاء بشكل كبير، مما يؤدي إلى الحصول على صور واضحة ونقية.
- فوائد الطلاء المعدني:تقليل تلف الشعاع:
- يمكن أن تحمي الطلاءات المعدنية العينة من التعرض المباشر لحزمة الإلكترونات، مما يقلل من احتمال حدوث تلف.زيادة التوصيل الحراري:
- من خلال توصيل الحرارة بعيدًا عن العينة، تساعد الطلاءات المعدنية على منع التلف الحراري الذي يمكن أن يغير بنية العينة أو خصائصها.تقليل شحن العينة:
- تمنع الطبقة الموصلة تراكم الشحنات الكهروستاتيكية على سطح العينة، والتي يمكن أن تشوه الصورة وتتداخل مع تشغيل حزمة الإلكترونات.تحسين انبعاث الإلكترونات الثانوية:
- تعمل الطلاءات المعدنية على تحسين انبعاث الإلكترونات الثانوية، والتي تُعد ضرورية للتصوير في الماسح الضوئي SEM.تقليل اختراق الشعاع وتحسين دقة الحواف:
يمكن أن يقلل الطلاء المعدني من عمق اختراق شعاع الإلكترون، مما يحسّن من دقة وضوح ملامح السطح.طلاء الرذاذ:
طلاء الرذاذ هو الطريقة القياسية لتطبيق هذه الطبقات الموصلة. وهي تنطوي على عملية ترسيب الرذاذ حيث يتم قصف هدف معدني بأيونات الأرجون، مما يتسبب في قذف ذرات المعدن وترسيبها على العينة. وتسمح هذه الطريقة بالتحكم الدقيق في سمك الطلاء وتوحيده، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق الأداء الأمثل للمجهر الصوتي SEM.
اعتبارات التحليل الطيفي بالأشعة السينية:
عند استخدام التحليل الطيفي بالأشعة السينية، قد تتداخل الطلاءات المعدنية مع التحليل. في مثل هذه الحالات، يُفضل استخدام طلاء الكربون لأنه لا يُدخل عناصر إضافية يمكن أن تعقد التحليل الطيفي.قدرات SEM الحديثة:
