تتضمن الطرق المستخدمة في البحث عن التسرب في نظام التفريغ في المقام الأول طريقة الحقن وطريقة فوهة الشفط، مع تقنيات إضافية لتسريبات الغاز الخامل والصيانة العامة.
طريقة كشف الحقن بالحقن:
تنطوي هذه الطريقة التقليدية على تفريغ الفرن وتطبيق غاز الهيليوم خارج الفرن، وعادةً ما يتم توصيله بمطياف كتلة الهيليوم. يراقب النظام أي هيليوم قد يدخل إلى نظام التفريغ، مما يشير إلى وجود تسرب. هذه الطريقة فعالة حيث أن الهيليوم جزيء صغير ويمكنه بسهولة اختراق أصغر التسريبات، مما يجعله غاز تتبع موثوق به للكشف عن التسريبات في أنظمة التفريغ.طريقة كشف الفوهة:
هذه الطريقة مناسبة للأجسام التي لا يمكن إخلاؤها، مثل المبادلات الحرارية والشفاه المبردة بالماء والممرات الكهربائية. يتم تعبئة غاز يشير إلى التسرب، عادةً الهيليوم، في الجسم المراد الكشف عنه. وبعد ذلك يتم استخدام جهاز استشعار أو مطياف كتلة الهيليوم للتحقق من تسرب أي غاز من الخارج، مما يشير إلى وجود تسرب. هذه الطريقة مفيدة بشكل خاص للمكونات التي ليست جزءًا من غرفة التفريغ الرئيسية ولكنها ضرورية لسلامة التفريغ الكلي.
كشف تسرب الغاز الخامل:
بالنسبة للأنظمة التي تستخدم الغازات الخاملة، يعد ضمان عدم وجود تسرب من نظام إمداد الغاز إلى فرن التفريغ أمرًا بالغ الأهمية. هناك طريقتان شائعتا الاستخدام للكشف عن تسرب الغاز الخامل هما طريقة الغشاء (فقاعة الصابون) وطريقة الكشف عن تسرب التفريغ. تتضمن طريقة الغشاء وضع محلول صابون على مناطق التسرب المشتبه بها ومراقبة الفقاعات، بينما تستخدم طريقة التفريغ مقياس تفريغ لمراقبة تغيرات الضغط، مما يشير إلى وجود تسرب.الصيانة والتدابير الوقائية:
الصيانة الدورية والتدابير الوقائية ضرورية لتقليل التسريبات. ويشمل ذلك استخدام كاشفات تسرب الهيليوم أو تحليل الغازات المتبقية لتحديد مواقع التسريبات الصغيرة، واستبدال مركبات الختم المؤقتة، وفحص واستبدال المكونات بانتظام مثل موانع التسرب والصمامات والمضخات. لا تمنع الصيانة السليمة تعطل المعدات غير المتوقع فحسب، بل تعمل أيضًا على تحسين أداء فرن التفريغ وعمره الافتراضي، مما يقلل من التكلفة الإجمالية للتشغيل بمرور الوقت.
