يتضمن طلاء الرذاذ في SEM تطبيق طبقة رقيقة للغاية من معدن موصل للكهرباء على عينات غير موصلة للكهرباء أو ضعيفة التوصيل. وتُعد هذه العملية ضرورية لمنع شحن العينة وتحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء في التصوير بالموجات فوق الصوتية SEM. يتم تطبيق الطلاء الذي يبلغ سمكه عادةً 2-20 نانومتر باستخدام تقنية تتضمن توليد بلازما معدنية وترسيبها على العينة.
الشرح التفصيلي:
-
الغرض من طلاء الرذاذ:
-
يُستخدم طلاء الرذاذ في المقام الأول لمعالجة مشكلة شحن العينة في SEM. يمكن للمواد غير الموصلة أن تتراكم مجالات كهربائية ساكنة عند تعرضها لحزمة الإلكترونات، مما يشوه الصورة ويمكن أن يتلف العينة. من خلال تطبيق طبقة موصلة، مثل الذهب أو البلاتين أو سبائكهما، يتم تبديد الشحنة، مما يضمن الحصول على صورة واضحة وغير مشوهة.التقنية والعملية:
-
تنطوي عملية الطلاء بالرش على إنشاء بلازما معدنية من خلال التفريغ المتوهج، حيث يؤدي القصف الأيوني للقطب السالب إلى تآكل المادة. ثم تترسب الذرات المنبثقة على العينة لتشكل طبقة رقيقة موصلة. يتم التحكم في هذه العملية بعناية لضمان طلاء موحد ومتسق، وغالبًا ما يتم استخدام معدات آلية للحفاظ على دقة وجودة عالية.
-
فوائد تصوير SEM:
-
إلى جانب منع الشحن، يعزز طلاء الرذاذ أيضًا انبعاث الإلكترونات الثانوية من سطح العينة. وتعمل هذه الزيادة في إنتاجية الإلكترونات الثانوية على تحسين نسبة الإشارة إلى الضوضاء، مما يؤدي إلى الحصول على صور أكثر وضوحًا وتفصيلاً. بالإضافة إلى ذلك، يمكن أن يساعد الطلاء الموصل في تقليل الضرر الحراري للعينة عن طريق توصيل الحرارة الناتجة عن شعاع الإلكترون.أنواع المعادن المستخدمة:
تشمل المعادن الشائعة المستخدمة في طلاء الرذاذ الذهب (Au) والذهب/البلاديوم (Au/Paladium) والبلاتين (Pt) والفضة (Ag) والكروم (Cr) والإيريديوم (Ir). يعتمد اختيار المعدن على عوامل مثل خصائص العينة والمتطلبات المحددة لتحليل SEM.سُمك الطلاء:
