فيلم الرذاذ عبارة عن طبقة رقيقة من المواد التي يتم إنشاؤها بواسطة عملية الرذاذ، حيث يتم إخراج الذرات من مادة مستهدفة صلبة وترسيبها على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. تُستخدم هذه التقنية على نطاق واسع في مختلف الصناعات، بما في ذلك أشباه الموصلات والأجهزة البصرية والخلايا الشمسية، نظرًا للجودة العالية والتحكم الدقيق في الأغشية المترسبة.
عملية الاخرق:
يتضمن الاخرق استخدام بلازما غازية لإزاحة الذرات من المادة المستهدفة. وتبدأ العملية بحقن كمية صغيرة من الغاز، عادةً الأرجون، في غرفة تفريغ. يتم وضع المادة المستهدفة داخل الغرفة، ويتم وضع ركيزة حيث تستقر الجسيمات المقذوفة. يتم تطبيق الجهد، مما يخلق بلازما من الغاز. يتم تسريع الأيونات من هذه البلازما نحو المادة المستهدفة، فتضربها بطاقة كافية لقذف الذرات أو الجزيئات من سطحها. وتنتقل هذه الجسيمات المقذوفة وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.خصائص الأفلام المنبثقة:
تشتهر الأغشية المرشوشة بتجانسها الممتاز وكثافتها ونقائها والتصاقها. تسمح العملية بترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك العناصر والسبائك والمركبات. ويجعل هذا التنوع من عملية الترسيب طريقة مفضلة للتطبيقات التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في تكوين الفيلم وخصائصه.
تطبيقات فيلم الرذاذ:
تتنوع تطبيقات أغشية الرذاذ، بما في ذلك في تصنيع أشباه الموصلات، حيث يتم استخدامها لترسيب الأغشية الرقيقة الضرورية لوظائف الأجهزة. وفي صناعة شاشات العرض، تُستخدم الأغشية الرقيقة الرقيقة في الأقطاب الكهربائية الشفافة في شاشات TFT-LCD ومرشحات الألوان. وقد شهدت التطورات الأخيرة استخدام أفلام الرقائق الرقيقة في إنتاج الأقطاب الكهربائية الشفافة والأقطاب الكهربائية المعدنية للخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة. بالإضافة إلى ذلك، تُستخدم أفلام الرقائق الرذاذ بشكل شائع في التطبيقات المعمارية، مثل أغشية النوافذ التي توفر العزل الحراري، مما يساعد على الحفاظ على درجات حرارة مريحة في الأماكن المغلقة وتقليل استهلاك الطاقة للتدفئة والتبريد.
