قارب التبخير التنغستن عبارة عن حاوية تحتوي على المادة المراد تبخيرها وتوفر بيئة يمكن التحكم فيها للتبخر. يتم تسخينه باستخدام تيار كهربائي، مما يتسبب في تبخر المادة وتشكيل سحابة بخار، والتي تتكثف بعد ذلك على الركيزة، مما يؤدي إلى تكوين طبقة أو طلاء. تم اختيار التنغستن كمادة للقارب نظرًا لنقطة انصهاره العالية وضغط البخار المنخفض، مما يضمن تسخينًا فعالًا وتبخرًا موحدًا. تتمتع القوارب بمقاومة ممتازة للتفاعلات الكيميائية، مما يحافظ على نقاء المواد أثناء الترسيب. إنها تأتي بأحجام وأشكال مختلفة، مع ميزات إضافية مثل الأخاديد لتعزيز التبخير. تُستخدم قوارب التبخير التنغستنية على نطاق واسع في صناعات الإلكترونيات والبصريات وطلاء الأغشية الرقيقة، مما يسمح بالتحكم الدقيق وإمكانية التكرار. التعامل الدقيق ضروري بسبب هشاشة التنغستن.