يكمن الفرق الرئيسي بين التبخير بالحزمة الإلكترونية والتبخير الحراري في الطريقة المستخدمة لتبخير المادة. فالتبخير الحراري يستخدم تيارًا كهربائيًا لتسخين بوتقة تعمل على إذابة وتبخير المادة المصدر، بينما يستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية شعاعًا من الإلكترونات عالية الطاقة لتسخين المادة المصدر مباشرة.
التبخير الحراري:
التبخير الحراري هو عملية ترسيب فيزيائي للبخار (PVD) حيث يتم تبخير المادة باستخدام الحرارة. في هذه الطريقة، يتم تسخين بوتقة تحتوي على المادة إلى درجة حرارة عالية، مما يؤدي إلى تبخير المادة. ثم تتكثف المادة المتبخرة على ركيزة لتشكيل طبقة رقيقة. هذه التقنية مناسبة للمواد ذات درجات انصهار منخفضة، مثل المعادن وبعض المواد غير المعدنية. ومع ذلك، يمكن أن ينتج عن التبخير الحراري طلاءات رقيقة أقل كثافة ومخاطر أعلى من الشوائب بسبب تسخين البوتقة، مما قد يؤدي إلى ظهور ملوثات.التبخير بالشعاع الإلكتروني:
- التبخير بالحزمة الإلكترونية أو التبخير بالحزمة الإلكترونية هو أيضًا شكل من أشكال التبخير بالطباعة بالطباعة بالرقائق الفسفورية حيث يتم قصف المادة المستهدفة بحزمة إلكترونية من خيوط التنجستن المشحونة. تقوم هذه الحزمة عالية الطاقة بتبخير المادة وتحويلها إلى حالة غازية للترسيب على المادة المراد طلاؤها. تحدث هذه العملية في غرفة تفريغ عالية، مما يضمن ترسيب الذرات أو الجزيئات في مرحلة البخار وتشكيل طبقة رقيقة على الركيزة. التبخير بالشعاع الإلكتروني قادر على التعامل مع مواد ذات درجة حرارة أعلى، مثل الأكاسيد، وعادةً ما ينتج عنه أغشية عالية النقاء ومعدل ترسيب أعلى مقارنةً بالتبخير الحراري.المقارنة:
- طريقة التسخين: يستخدم التبخير الحراري تياراً كهربائياً لتسخين بوتقة، بينما يستخدم التبخير بالحزمة الإلكترونية شعاعاً من الإلكترونات عالية الطاقة لتسخين المادة مباشرة.
- ملاءمة المواد: التبخير الحراري هو الأنسب للمواد ذات درجات الانصهار المنخفضة، في حين أن التبخير بالحزمة الإلكترونية يمكنه التعامل مع المواد ذات درجات الانصهار الأعلى.
- النقاء والكثافة: ينتج التبخير بالشعاع الإلكتروني بشكل عام أغشية ذات نقاء وكثافة أعلى بسبب التسخين المباشر للمادة وتجنب تلوث البوتقة.
معدل الترسيب:
عادةً ما يكون للتبخير بالحزمة الإلكترونية معدل ترسيب أعلى من التبخير الحراري.
