مواد التبخير هي مواد تستخدم لتشكيل أغشية أو طلاءات رقيقة على الأسطح من خلال عملية التبخير. يتم تسخين هذه المواد إلى درجة حرارة عالية حتى تبدأ في التبخر. وأثناء وجودها في بيئة التفريغ، تتجه المادة المتبخرة مباشرةً نحو سطح جسم ما، عادةً ما يكون ركيزة وهو الهدف المراد طلاؤه. وهناك، تبدأ المادة المتبخرة في التكثيف وتشكيل طبقة رقيقة على الركيزة.
المواد المستخدمة في التبخير:
تتراوح المواد المستخدمة في التبخير من المعادن النقية إلى مركبات مختلفة مثل الأنتيمونيدات والزرنيخيدات والبوريدات والكربيدات والفلوريدات والنتريدات والنتريدات والأكاسيد والسيلينيدات والسيليكيدات والكبريتيدات والتيلوريدات. وتشمل الأمثلة الذهب، الذي يشيع استخدامه في الطلاءات البصرية، ومختلف الأكاسيد والنتريدات التي تعتبر حاسمة في إنتاج الخلايا الشمسية وأجهزة الاستشعار.مستويات النقاء:
تُعد مستويات نقاء مواد التبخير حرجة وتتراوح عادةً من 99.9% إلى 99.9999999%، اعتمادًا على التطبيق. النقاء العالي ضروري لضمان سلامة الطلاءات وأدائها، خاصةً في التطبيقات الحساسة مثل المكونات البصرية والأجهزة الطبية.
أشكال مواد التبخير:
- تأتي مواد التبخير بأشكال مختلفة، بما في ذلك القطع والرقائق والكريات والأسلاك والقضبان والطلقات والرخويات. يعتمد اختيار الشكل على تقنية التبخير المحددة وسهولة التعامل والتسخين أثناء عملية التبخير.تقنيات التبخير الحراري:
- تُستخدم عدة تقنيات للتبخير الحراري، بما في ذلك:
- التبخير بالتسخين المقاوم: يتم تسخين المادة في بوتقة تسخين مقاوم، ويتكثف البخار على الركيزة.
- التبخير بالحزمة الإلكترونية: يتم تركيز شعاع إلكتروني على المادة، مما يؤدي إلى تسخينها بسرعة وتبخرها.
التبخر الوامض: يتم تسخين المادة بسرعة إلى درجة حرارة التبخر باستخدام نبضات عالية التيار أو مصدر حرارة شديد.
التبخر بالتسخين الحثي: يستحث التسخين التعريفي تيارات في المادة المصدر، مما يؤدي إلى التسخين والتبخر.
مصادر التبخير:
