التبخير بالتفريغ هو عملية يتم فيها تسخين المواد لتشكيل أغشية أو طلاءات رقيقة على ركائز مختلفة. تحدث هذه العملية في بيئة مفرغة من الهواء لمنع التلوث وضمان أن المادة المرغوبة فقط هي التي تشكل الطبقة الرقيقة.
شرح 7 نقاط رئيسية: ما هي المواد المستخدمة في التبخير بالتفريغ؟
1. تعريف مواد التبخير والغرض منها
مواد التبخير هي المواد المستخدمة لتشكيل الأغشية الرقيقة أو الطلاءات على الأسطح من خلال عملية التبخير.
يتم تسخين هذه المواد إلى درجات حرارة عالية حتى تتبخر. ثم تتكثف المادة المتبخرة على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة.
2. قوارب التبخير
قوارب التبخير هي مواد تبخير حرارية أساسية. وغالبًا ما تكون مصنوعة من التنجستن والموليبدينوم والتنتالوم.
وتحتوي هذه القوارب على مواد خام مثل BN وTiB2 ومسحوق AlN. وتشمل الأشكال المختلفة القوارب المكونة من 3 مكونات والقوارب المكونة من عنصرين.
3. سخانات السلة
تسمح سخانات السلة بتحميل مادة التبخير مباشرة في السلة بدون بوتقة.
يتم تحديد اختيار مصدر التبخير من خلال الركيزة التي يتم طلاؤها، مما يضمن التطابق بين المصدر والركيزة.
4. عملية التبخير بالتفريغ
يحدث التبخير بالتفريغ في نطاق ضغط غاز يتراوح من 10-5 إلى 10-9 تور لمنع التلوث.
يجب أن تصل المادة المتبخرة إلى درجة حرارة حيث يكون ضغط بخارها 10 ملي تور أو أعلى للحصول على معدل ترسيب ملموس.
وتشمل مصادر التبخير النموذجية الأسلاك أو القوارب أو البوتقات المسخنة بالمقاومة وحزم الإلكترونات عالية الطاقة.
5. التسخين غير المباشر
تكون بعض المواد عرضة للتآكل عند تعرضها لدرجات حرارة عالية مباشرة، مما يجعل التسخين غير المباشر ضرورياً.
تُستخدم مواد مقاومة للحرارة ومستقرة مثل الألومينا أو أكسيد الإيتريوم أو الزركونيا لصنع بوتقات للتسخين غير المباشر.
6. مواد التبخير الحراري
يمكن استخدام مجموعة واسعة من المواد في التبخير بالتفريغ، بما في ذلك الذهب والفضة والتيتانيوم وثاني أكسيد السيليكون والتنغستن والنحاس وسبائك مختلفة.
يتم اختيار هذه المواد بناءً على توافقها مع الركيزة وخصائص الفيلم المطلوبة.
7. السياق التاريخي
بدأت دراسة التبخر الحراري في الفراغ في أواخر القرن التاسع عشر، مع مساهمات مبكرة من علماء مثل H. H. Hertz وS. Stefan.
وقد تقدم توماس أديسون بطلب للحصول على براءة اختراع تغطي التبخير بالتفريغ وترسيب الأغشية، على الرغم من أن عمليته لم تتضمن تبخير المواد المنصهرة.
من خلال فهم هذه النقاط الرئيسية، يمكن لمشتري معدات المختبرات اتخاذ قرارات مستنيرة بشأن اختيار واستخدام مواد التبخير في عمليات التبخير بالتفريغ، مما يضمن أفضل النتائج لتطبيقاتها المحددة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف دقة وموثوقية مواد التبخير لدينا، المصممة للترسيب الأمثل للأغشية الرقيقة. مع قوارب التبخير المتطورة من KINTEK SOLUTION، وسخانات السلة ومجموعة واسعة من مواد التبخير الحراري، ارتقِ بعمليات البحث والتصنيع الخاصة بك.
لا تفوت فرصة الاستفادة من خبراتنا في مشروعك القادم. اتصل بنا اليوم لمعرفة كيف يمكن لشركة KINTEK SOLUTION تحويل تطبيقك من خلال حلول التبخير الدقيقة.
