فرن CVD و PECVD
RF PECVD نظام تردد الراديو ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
رقم العنصر : KT-RFPE
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- تكرار
- تردد RF 13.56 ميجا هرتز
- درجة حرارة التسخين
- 200 درجة مئوية كحد أقصى
- أبعاد غرفة التفريغ
- Ф420 مم × 400 مم
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! ترك رسالة الحصول على الاقتباس السريع Via الدردشة عبر الإنترنتRF-PECVD هو اختصار لعبارة "ترسيب البخار الكيميائي المعزز ببلازما التردد اللاسلكي." ترسب مادة DLC (فيلم الكربون الشبيه بالماس) على ركائز الجرمانيوم والسيليكون. يتم استخدامه في نطاق الطول الموجي للأشعة تحت الحمراء 3-12um.
تتضمن العملية استخدام مولد تردد راديوي ينتج البلازما عن طريق تأين خليط غاز من الغازات السليفة مثل السيلان والنيتروجين. تقوم طاقة البلازما بتقسيم الغازات الأولية إلى أنواع تفاعلية تتفاعل مع بعضها البعض وترسب على الركيزة. يتيح استخدام طاقة البلازما في تقنية RF PECVD ترسيب أفلام عالية الجودة عند درجة حرارة منخفضة ، مما يجعل هذه العملية مناسبة للركائز الحساسة للحرارة مثل رقائق السيليكون.
المكونات والوظائف
يتألف هذا الجهاز من غرفة فراغ ، ونظام ضخ فراغ ، وأهداف الكاثود والأنود ، ومصدر RF ، ونظام خلط الغاز القابل للنفخ ، ونظام خزانة التحكم بالكمبيوتر ، وأكثر من ذلك ، يتيح هذا الجهاز طلاءًا سلسًا على زر واحد ، وتخزين واسترجاع العملية ، ووظائف الإنذار ، والإشارة والصمام التبديل ، فضلا عن عملية تسجيل عملية شاملة.
التفاصيل والأمثلة
المواصفات الفنية
جزء المعدات الرئيسية
شكل المعدات |
|
غرفة فراغ |
|
المضيف الهيكل العظمي |
|
نظام تبريد الماء |
|
مجلس الوزراء السيطرة |
|
نظام الشفط
الفراغ المطلق |
|
استعادة وقت الفراغ |
|
معدل ارتفاع الضغط |
|
تكوين نظام الفراغ |
|
قياس نظام الفراغ |
|
تشغيل نظام الفراغ | هناك نوعان من الفراغ اليدوي والاختيار التلقائي للفراغ ؛
|
اختبار الفراغ |
|