RF-PECVD هو اختصار لعبارة "ترسيب البخار الكيميائي المعزز ببلازما التردد اللاسلكي." ترسب مادة DLC (فيلم الكربون الشبيه بالماس) على ركائز الجرمانيوم والسيليكون. يتم استخدامه في نطاق الطول الموجي للأشعة تحت الحمراء 3-12um.
تتضمن العملية استخدام مولد تردد راديوي ينتج البلازما عن طريق تأين خليط غاز من الغازات السليفة مثل السيلان والنيتروجين. تقوم طاقة البلازما بتقسيم الغازات الأولية إلى أنواع تفاعلية تتفاعل مع بعضها البعض وترسب على الركيزة. يتيح استخدام طاقة البلازما في تقنية RF PECVD ترسيب أفلام عالية الجودة عند درجة حرارة منخفضة ، مما يجعل هذه العملية مناسبة للركائز الحساسة للحرارة مثل رقائق السيليكون.
المكونات والوظائف
يتألف هذا الجهاز من غرفة فراغ ، ونظام ضخ فراغ ، وأهداف الكاثود والأنود ، ومصدر RF ، ونظام خلط الغاز القابل للنفخ ، ونظام خزانة التحكم بالكمبيوتر ، وأكثر من ذلك ، يتيح هذا الجهاز طلاءًا سلسًا على زر واحد ، وتخزين واسترجاع العملية ، ووظائف الإنذار ، والإشارة والصمام التبديل ، فضلا عن عملية تسجيل عملية شاملة.
نوع الصندوق: الغطاء العلوي الأفقي يفتح الباب ، وغرفة الترسيب وغرفة العادم ملحومة بشكل متكامل ؛
الآلة بأكملها: المحرك الرئيسي وخزانة التحكم الكهربائية هما تصميم متكامل (حجرة التفريغ على اليسار ، وخزانة التحكم الكهربائية على اليمين).
غرفة فراغ
الأبعاد: Ф420 مم (قطر) × 400 مم (ارتفاع) ؛ مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 0Cr18Ni9 عالي الجودة SUS304 ، السطح الداخلي مصقول ، الصنعة الدقيقة مطلوبة بدون وصلات لحام خشنة ، وهناك أنابيب مياه تبريد على جدار الغرفة ؛
منفذ استخراج الهواء: شبكة فولاذية مقاومة للصدأ مزدوجة الطبقة 304 مع فواصل زمنية أمامية وخلفية 20 مم ، حاجز مضاد للقاذورات على جذع الصمام العالي ، ولوحة موازنة الهواء عند فوهة أنبوب العادم لمنع التلوث ؛
طريقة الختم والدرع: يتم إغلاق باب الغرفة العلوية والحجرة السفلية بحلقة مانعة للتسرب لإغلاق الفراغ ، ويتم استخدام أنبوب الشبكة الفولاذي المقاوم للصدأ في الخارج لعزل مصدر تردد الراديو ، مما يحمي الضرر الناجم عن إشارات التردد اللاسلكي للأشخاص ؛
نافذة المراقبة: يتم تثبيت نافذتين للمراقبة مقاس 120 مم في الأمام والجانب ، والزجاج المضاد للقاذورات مقاوم لدرجة الحرارة العالية والإشعاع ، وهو مناسب لمراقبة الركيزة ؛
وضع تدفق الهواء: يتم ضخ الجانب الأيسر من الحجرة بواسطة المضخة الجزيئية ، والجانب الأيمن هو الهواء المنتفخ لتشكيل وضع الحمل الحراري للشحن والضخ لضمان تدفق الغاز بالتساوي إلى السطح المستهدف ويدخل إلى البلازما منطقة لتأين وترسيب فيلم الكربون بالكامل ؛
مادة الغرفة: جسم غرفة التفريغ ومنفذ العادم مصنوعان من مادة الفولاذ المقاوم للصدأ SUS304 عالية الجودة 0Cr18Ni9 ، الغطاء العلوي مصنوع من الألومنيوم عالي النقاء لتقليل وزن الجزء العلوي.
المضيف الهيكل العظمي
مصنوع من فولاذ المقطع (المادة: Q235-A) ، هيكل الحجرة وخزانة التحكم الكهربائية بتصميم متكامل.
نظام تبريد الماء
خط الأنابيب: أنابيب توزيع المياه الداخل والخارج الرئيسية مصنوعة من أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ ؛
صمام كروي: يتم تزويد جميع مكونات التبريد بالماء بشكل منفصل من خلال 304 صمام كروي ، ومدخل المياه وأنابيب المخرج لها اختلافات في الألوان والعلامات المقابلة ، ويمكن فتح وإغلاق الصمامات الكروية 304 لأنابيب مخرج المياه بشكل منفصل ؛ الهدف ، مصدر طاقة الترددات اللاسلكية ، جدار الغرفة ، وما إلى ذلك مجهز بحماية تدفق المياه ، وهناك إنذار لقطع المياه لمنع انسداد أنبوب الماء. يتم عرض جميع أجهزة إنذار تدفق المياه على الكمبيوتر الصناعي ؛
عرض تدفق المياه: يحتوي الهدف السفلي على مراقبة تدفق المياه ودرجة الحرارة ، ويتم عرض درجة الحرارة وتدفق المياه على الكمبيوتر الصناعي ؛
درجة حرارة الماء البارد والساخن: عندما يتم ترسيب الفيلم على جدار الغرفة ، يتم تمرير الماء البارد من خلال 10-25 درجة لتبريد الماء ، ويتقدم عند فتح باب الغرفة. مرر الماء الساخن 30-55 درجة ماء دافئ.
مجلس الوزراء السيطرة
الهيكل: تم اعتماد الخزانات العمودية ، وخزانة تثبيت الأداة عبارة عن خزانة تحكم قياسية دولية مقاس 19 بوصة ، وخزانة تركيب المكونات الكهربائية الأخرى عبارة عن هيكل لوحة كبير بباب خلفي ؛
اللوحة: يتم اختيار جميع المكونات الكهربائية الرئيسية في خزانة التحكم من الشركات المصنعة التي حصلت على شهادة CE أو شهادة ISO9001. قم بتثبيت مجموعة من مآخذ الطاقة على اللوحة ؛
طريقة الاتصال: خزانة التحكم والمضيف في هيكل متصل ، والجانب الأيسر هو جسم الغرفة ، والجانب الأيمن هو خزانة التحكم ، والجزء السفلي مجهز بفتحة سلكية مخصصة ، والجهد العالي والمنخفض ، و يتم فصل إشارة التردد اللاسلكي وتوجيهها لتقليل التداخل ؛
الجهد الكهربائي المنخفض: مفتاح الهواء الفرنسي من شنايدر والموصل لضمان إمداد طاقة موثوق به للمعدات ؛
المقابس: مقابس احتياطية ومآخذ أجهزة مثبتة في خزانة التحكم.
نظام الشفط
الفراغ المطلق
الغلاف الجوي يصل إلى 2 × 10-4 باسكال 24 ساعة (في درجة حرارة الغرفة ، وحجرة التفريغ نظيفة).
استعادة وقت الفراغ
الغلاف الجوي يصل إلى 3 × 10 -3 Pa≤15 دقيقة (في درجة حرارة الغرفة ، وحجرة التفريغ نظيفة ، مع حواجز ، وحوامل مظلة ، وبدون ركيزة).
معدل ارتفاع الضغط
≤1.0 × 10-1 باسكال / ساعة
تكوين نظام الفراغ
تكوين مجموعة المضخة: مضخة الدعم BSV30 (نينغبو بوس) + مضخة الجذور BSJ70 (نينغبو بوس) + المضخة الجزيئية FF-160 (بكين) ؛
طريقة الضخ: الضخ بجهاز ضخ ناعم (لتقليل التلوث إلى الركيزة أثناء الضخ) ؛
توصيل الأنابيب: أنبوب نظام الفراغ مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 ، ويتم إجراء التوصيل الناعم للأنبوب من ؛
منفاخ معدني كل صمام فراغ هو صمام هوائي.
منفذ شفط الهواء: من أجل منع مادة الغشاء من تلويث المضخة الجزيئية أثناء عملية التبخر وتحسين كفاءة الضخ ، يتم استخدام لوحة عزل متحركة يسهل فكها وتنظيفها بين منفذ شفط الهواء لجسم الحجرة و غرفة العمل.
قياس نظام الفراغ
عرض الفراغ: ثلاثة مستويات منخفضة وواحدة عالية (3 مجموعات من تنظيم ZJ52 + مجموعة واحدة من تنظيم ZJ27) ؛
مقياس التفريغ العالي: يتم تثبيت مقياس التأين ZJ27 أعلى غرفة الضخ في صندوق الفراغ بالقرب من غرفة العمل ، ونطاق القياس هو 1.0 × 10 -1 باسكال إلى 5.0 × 10 -5 باسكال ؛
مقاييس الفراغ المنخفض: يتم تثبيت مجموعة واحدة من مقاييس ZJ52 أعلى غرفة الضخ في صندوق التفريغ ، ويتم تثبيت المجموعة الأخرى على أنبوب الضخ الخام. نطاق القياس هو 1.0 × 10 +5 باسكال إلى 5.0 × 10 -1 باسكال ؛
تنظيم العمل: يتم تثبيت مقياس الفيلم السعوي CDG025D-1 على جسم الحجرة ، ونطاق القياس هو 1.33 × 10 -1 باسكال إلى 1.33 × 10 + 2 باسكال ، واكتشاف الفراغ أثناء الترسيب والطلاء ، ويستخدم بالاقتران مع صمام الفراشة الفراغي الثابت يستخدم.
تشغيل نظام الفراغ
هناك نوعان من الفراغ اليدوي والاختيار التلقائي للفراغ ؛
تتحكم شركة Japan Omron PLC في جميع المضخات ، وعمل صمام التفريغ ، والعلاقة المتشابكة بين عمل صمام إيقاف النفخ لضمان حماية المعدات تلقائيًا في حالة سوء التشغيل ؛
يتم إرسال الصمام العالي ، والصمام المنخفض ، والصمام المسبق ، والصمام الالتفافي العالي للصمام ، وإشارة في الموضع إلى إشارة التحكم PLC لضمان وظيفة تعشيق أكثر شمولاً ؛
يمكن لبرنامج PLC تنفيذ وظيفة الإنذار لكل نقطة خطأ في الماكينة بأكملها ، مثل ضغط الهواء ، وتدفق المياه ، وإشارة الباب ، وإشارة الحماية من التيار الزائد ، وما إلى ذلك ، والتنبيه ، بحيث يمكن العثور على المشكلة بسرعة وسهولة ؛
شاشة اللمس مقاس 15 بوصة هي الكمبيوتر العلوي ، و PLC هو صمام التحكم والمراقبة بالكمبيوتر السفلي. يتم إرسال المراقبة عبر الإنترنت لكل مكون والإشارات المختلفة إلى برنامج تكوين التحكم الصناعي في الوقت المناسب للتحليل والحكم ، وتسجيلها ؛
عندما يكون الفراغ غير طبيعي أو الطاقة مقطوعة ، يجب أن تعود المضخة الجزيئية للصمام الفراغي إلى الحالة المغلقة. تم تجهيز صمام التفريغ بوظيفة حماية التعشيق ، ومدخل الهواء لكل أسطوانة مجهز بجهاز ضبط صمام القطع ، وهناك موضع لضبط المستشعر لعرض الحالة المغلقة للأسطوانة ؛
اختبار الفراغ
وفقا للشروط الفنية العامة لآلة طلاء الفراغ GB11164.
نظام التدفئة
طريقة التدفئة: طريقة تسخين مصباح اليود التنغستن.
منظم الطاقة: منظم طاقة رقمي ؛
درجة حرارة التسخين: أقصى درجة حرارة 200 درجة مئوية ، طاقة 2000 واط / 220 فولت ، شاشة قابلة للتحكم وقابلة للتعديل ، تحكم ± 2 درجة مئوية ؛
طريقة التوصيل: إدخال سريع واسترجاع سريع ، غطاء واق معدني مضاد للحشف ، ومصدر إمداد طاقة معزول لضمان سلامة الأفراد.
امدادات الطاقة الترددات اللاسلكية
التردد: تردد الترددات اللاسلكية 13.56 ميجا هرتز ؛
الطاقة: 0-2000 واط قابل للتعديل بشكل مستمر ؛
الوظيفة: تعديل وظيفة مطابقة المعاوقة الأوتوماتيكية بالكامل ، الضبط التلقائي بالكامل للحفاظ على وظيفة الانعكاس منخفضة للغاية ، انعكاس داخلي في حدود 0.5٪ ، مع وظيفة تعديل التحويل اليدوي والتلقائي ؛
العرض: مع جهد التحيز ، موضع مكثف CT ، موضع مكثف RT ، ضبط الطاقة ، عرض الوظيفة العاكسة ، مع وظيفة الاتصال ، التواصل مع شاشة اللمس ، ضبط وعرض المعلمات على برنامج التكوين ، عرض خط التوليف ، إلخ.
هدف الكاثود الأنود
هدف الأنود: الركيزة النحاسية φ300mm تستخدم كهدف كاثود ، تكون درجة الحرارة منخفضة عند العمل ، ولا حاجة لمياه التبريد ؛
هدف الكاثود: هدف الكاثود المبرد بالماء النحاسي φ200 مم ، تكون درجة الحرارة مرتفعة عند العمل ، والداخل هو ماء مبرد ، لضمان درجة حرارة ثابتة أثناء العمل ، والحد الأقصى للمسافة بين الأنود وهدف الكاثود هو 100-250 مم.
السيطرة على التضخم
مقياس الجريان: يتم استخدام مقياس الجريان البريطاني رباعي الاتجاهات ، ومعدل التدفق هو 0-200SCCM ، مع عرض الضغط ، ومعلمات إعداد الاتصال ، ويمكن ضبط نوع الغاز ؛
صمام التوقف: صمام إيقاف Qixing Huachuang DJ2C-VUG6 ، يعمل مع مقياس التدفق ، يخلط الغاز ، يملأه في الغرفة من خلال جهاز النفخ الحلقي ، ويتدفق بالتساوي عبر السطح المستهدف ؛
زجاجة تخزين الغاز في مرحلة ما قبل المرحلة: بشكل أساسي زجاجة تحويل الغسل ، والتي تبخر السائل C4H10 ، ثم تدخل خط أنابيب المرحلة الأمامية لمقياس التدفق. تحتوي زجاجة تخزين الغاز على أداة DSP للعرض الرقمي للضغط ، والتي تؤدي الضغط فوق الضغط وتنبيه الضغط المنخفض ؛
زجاجة عازلة مختلطة للغاز: يتم خلط الزجاجة العازلة بأربعة غازات في المرحلة الأخيرة. بعد الخلط ، يتم إخراجها من الزجاجة العازلة على طول الطريق إلى أسفل الحجرة وصولاً إلى الأعلى ، ويمكن إغلاق إحداها بشكل مستقل ؛
جهاز النفخ: خط أنابيب الغاز المنتظم عند مخرج دائرة الغاز لجسم الحجرة ، والذي يتم شحنه بالتساوي على السطح المستهدف لجعل الطلاء الموحد أفضل.
نظام التحكم
شاشة تعمل باللمس: خذ شاشة اللمس TPC1570GI كجهاز كمبيوتر مضيف + لوحة مفاتيح وماوس ؛
برنامج التحكم: إعداد معلمة العملية المجدولة ، عرض معلمة الإنذار ، عرض معلمة الفراغ وعرض المنحنى ، مصدر طاقة الترددات اللاسلكية وإعداد وعرض معلمات مصدر التيار المباشر للتيار المستمر ، جميع سجلات حالة عمل الصمامات والتبديل ، وسجلات العمليات ، وسجلات الإنذار ، ومعلمات سجل الفراغ ، يمكن تخزينها لمدة نصف عام تقريبًا ، ويتم حفظ عملية تشغيل الجهاز بالكامل في ثانية واحدة لحفظ المعلمات ؛
PLC: يستخدم Omron PLC كجهاز كمبيوتر سفلي لجمع بيانات المكونات المختلفة والمفاتيح الموجودة في الموضع وصمامات التحكم والمكونات المختلفة ، ثم إجراء تفاعل البيانات والعرض والتحكم باستخدام برنامج التكوين. هذا أكثر أمانًا وموثوقية ؛
حالة التحكم: طلاء بزر واحد ، كنس آلي ، تفريغ أوتوماتيكي ثابت ، تسخين أوتوماتيكي ، ترسيب تلقائي متعدد الطبقات ، إتمام تلقائي للالتقاط وأعمال أخرى ؛
مزايا الشاشة التي تعمل باللمس: لا يمكن تغيير برنامج التحكم في شاشة اللمس ، والتشغيل المستقر أكثر ملاءمة ومرونة ، ولكن كمية البيانات المخزنة محدودة ، ويمكن تصدير المعلمات مباشرة ، وعندما تكون هناك مشكلة في العملية ؛ 6. المنبه: اعتماد وضع إنذار الصوت والضوء ، وتسجيل الإنذار في مكتبة معلمات إنذار التكوين. يمكن الاستعلام عنها في أي وقت في المستقبل ، ويمكن الاستعلام عن البيانات المحفوظة واستدعاءها في أي وقت.
فراغ ثابت
الفراغ الثابت لصمام الفراشة: يتعاون صمام الفراشة DN80 مع مقياس الفيلم السعوي Inficon CDG025 لعمل فراغ ثابت ، والعيب هو أن منفذ الصمام سهل التلوث وصعب التنظيف ؛
وضع موضع الصمام: اضبط وضع التحكم في الوضع.
الماء والكهرباء والغاز
أنابيب المدخل والمخرج الرئيسية مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ ومجهزة بمداخل مياه الطوارئ ؛
تتبنى جميع الأنابيب المبردة بالماء خارج غرفة التفريغ وصلات ثابتة سريعة التغيير من الفولاذ المقاوم للصدأ وضغط عالي من البلاستيك (أنابيب مياه عالية الجودة ، والتي يمكن استخدامها لفترة طويلة دون تسريب أو كسر) ، ومدخل ومخرج بلاستيكي يجب عرض أنابيب المياه عالية الضغط بلونين مختلفين ويتم تمييزها وفقًا لذلك ؛ ماركة Airtek
جميع الأنابيب المبردة بالماء داخل غرفة التفريغ مصنوعة من مادة SUS304 عالية الجودة ؛
دوائر الماء والغاز مثبتة على التوالي بأجهزة عرض ضغط المياه وضغط الهواء الآمنة والموثوقة وعالية الدقة.
مجهزة بمبرد 8P لتدفق المياه لآلة فيلم الكربون.
مجهزة بمجموعة من آلة الماء الساخن 6KW ، عندما يتم فتح الباب ، سوف يتدفق الماء الساخن من خلال الغرفة.
متطلبات الحماية الأمنية
الآلة مجهزة بجهاز إنذار ؛
عندما لا يصل ضغط الماء أو ضغط الهواء إلى معدل التدفق المحدد ، فإن جميع مضخات وصمامات التفريغ محمية ولا يمكن تشغيلها ، ويصدر صوت إنذار وضوء إشارة حمراء ؛
عندما تكون الآلة في عملية التشغيل العادية ، عندما يكون ضغط الماء أو ضغط الهواء غير كافٍ فجأة ، سيتم إغلاق جميع الصمامات تلقائيًا ، وسيظهر صوت إنذار وضوء إشارة أحمر ؛
عندما يكون نظام التشغيل غير طبيعي (الجهد العالي ، مصدر أيون ، نظام التحكم) ، سيكون هناك صوت إنذار وضوء إشارة ضوئي أحمر ؛
الجهد العالي قيد التشغيل ويوجد جهاز إنذار للحماية.
متطلبات بيئة العمل
درجة الحرارة المحيطة: 10 35 ℃ ؛
الرطوبة النسبية: لا تزيد عن 80٪؛
البيئة المحيطة بالمعدات نظيفة والهواء نظيف. يجب ألا يكون هناك غبار أو غاز يمكن أن يسبب تآكل الأجهزة الكهربائية والأسطح المعدنية الأخرى أو يسبب التوصيل الكهربائي بين المعادن.
متطلبات طاقة المعدات
مصدر المياه: المياه الناعمة الصناعية ، ضغط الماء 0.2 ~ 0.3 ميجا باسكال ، حجم الماء ~ 60 لتر / دقيقة ، درجة حرارة مدخل الماء 25 درجة مئوية ؛ اتصال أنابيب المياه 1.5 بوصة ؛
مصدر الهواء: ضغط الهواء 0.6MPa ؛
مزود الطاقة: نظام ثلاثي الأطوار بخمسة أسلاك 380 فولت ، 50 هرتز ، نطاق تذبذب الجهد: خط الجهد 342 ~ 399 فولت ، جهد الطور 198 ~ 231 فولت ؛ نطاق تذبذب التردد: 49 ~ 51 هرتز ؛ استهلاك طاقة المعدات: ~ 16KW ؛ مقاومة التأريض ≤ 1Ω ؛
متطلبات الرفع: رافعة ذات 3 أطنان ، باب رفع لا يقل عن 2000 × 2200 مم
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هو فرن CVD؟
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن تقنية تستخدم مصادر طاقة مختلفة مثل التسخين أو إثارة البلازما أو الإشعاع الضوئي للتفاعل الكيميائي مع المواد الكيميائية الغازية أو البخارية على الطور الغازي أو السطح البيني الغازي الصلب لتكوين رواسب صلبة في المفاعل عن طريق تفاعل كيميائي: لتوضيح الأمر ببساطة ، يتم إدخال مادتين أو أكثر من المواد الخام الغازية في غرفة التفاعل ، ثم تتفاعل مع بعضها البعض لتشكيل مادة جديدة وترسبها على سطح الركيزة.
فرن CVD هو نظام أفران واحد مدمج مع وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم في الغازات ، ووحدة تفريغ ، ويستخدم على نطاق واسع لتجربة وإنتاج المواد المركبة ، وعملية الإلكترونيات الدقيقة ، والإلكترونيات الضوئية لأشباه الموصلات ، واستخدام الطاقة الشمسية ، واتصالات الألياف الضوئية ، والموصل الفائق التكنولوجيا ، مجال الطلاء الواقي.
كيف يعمل فرن CVD؟
يتكون نظام فرن CVD من وحدة فرن أنبوبية ذات درجة حرارة عالية ، ووحدة تحكم دقيقة بمصدر الغاز المتفاعل ، ومحطة مضخة تفريغ وأجزاء تجميع مقابلة.
تعمل مضخة التفريغ على إزالة الهواء من أنبوب التفاعل ، والتأكد من عدم وجود غازات غير مرغوب فيها داخل أنبوب التفاعل ، وبعد ذلك يقوم الفرن الأنبوبي بتسخين أنبوب التفاعل إلى درجة حرارة مستهدفة ، ثم يمكن لوحدة التحكم الدقيقة في مصدر الغاز المتفاعل إدخال مختلف الغازات ذات النسبة المحددة في أنبوب الفرن للتفاعل الكيميائي ، سيتم تشكيل ترسيب البخار الكيميائي في فرن CVD.
ما هي طريقة PECVD؟
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هي عملية تستخدم في تصنيع أشباه الموصلات لإيداع أغشية رقيقة على الأجهزة الإلكترونية الدقيقة والخلايا الكهروضوئية ولوحات العرض. في PECVD ، يتم إدخال مادة سليفة إلى غرفة التفاعل في حالة غازية ، وتؤدي مساعدة الوسائط المتفاعلة بالبلازما إلى فصل السلائف عند درجات حرارة أقل بكثير من تلك الموجودة في CVD. توفر أنظمة PECVD توحيدًا ممتازًا للفيلم ومعالجة بدرجة حرارة منخفضة وإنتاجية عالية. يتم استخدامها في مجموعة واسعة من التطبيقات وستلعب دورًا متزايد الأهمية في صناعة أشباه الموصلات مع استمرار نمو الطلب على الأجهزة الإلكترونية المتقدمة.
ما المقصود بـ RF PECVD؟
يرمز RF PECVD إلى ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما بتردد الراديو ، وهي تقنية تستخدم لإعداد أفلام متعددة البلورات على ركيزة باستخدام بلازما تفريغ الوهج للتأثير على العملية أثناء ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط. طريقة RF PECVD راسخة لتقنية الدوائر المتكاملة السليكونية القياسية ، حيث تستخدم الرقائق المسطحة عادةً كركائز. هذه الطريقة مفيدة بسبب إمكانية تصنيع غشاء منخفض التكلفة وكفاءة عالية للترسيب. يمكن أيضًا ترسيب المواد كأفلام متدرجة معامل الانكسار أو ككومة من أغشية النانو لكل منها خصائص مختلفة.
ما هي طرق ترسيب الأغشية الرقيقة؟
الطريقتان الرئيسيتان المستخدمتان في ترسيب الأغشية الرقيقة هما ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وترسيب البخار الفيزيائي (PVD). تتضمن الأمراض القلبية الوعائية إدخال غازات متفاعلة في غرفة ، حيث تتفاعل على سطح الرقاقة لتشكيل طبقة صلبة. لا يشتمل PVD على تفاعلات كيميائية ؛ بدلاً من ذلك ، يتم إنشاء أبخرة من المواد المكونة داخل الحجرة ، والتي تتكثف بعد ذلك على سطح الرقاقة لتشكيل فيلم صلب. تشمل الأنواع الشائعة من PVD ترسيب التبخر وترسب الاخرق. الأنواع الثلاثة لتقنيات ترسيب التبخر هي التبخر الحراري ، وتبخر الحزمة الإلكترونية ، والتسخين الاستقرائي.
ما هو الغاز المستخدم في عملية CVD؟
هناك مصادر غاز هائلة يمكن استخدامها في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، والتفاعلات الكيميائية الشائعة لأمراض القلب والأوعية الدموية تشمل الانحلال الحراري ، والتحلل الضوئي ، والاختزال ، والأكسدة ، والاختزال ، وبالتالي يمكن استخدام الغازات المشاركة في هذه التفاعلات الكيميائية في عملية الأمراض القلبية الوعائية.
نأخذ نمو الجرافين CVD على سبيل المثال ، الغازات المستخدمة في عملية CVD ستكون CH4 و H2 و O2 و N2.
ما هو المبدأ الأساسي للأمراض القلبية الوعائية؟
يتمثل المبدأ الأساسي لترسيب البخار الكيميائي (CVD) في تعريض الركيزة لواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة التي تتفاعل أو تتحلل على سطحها لإنتاج رواسب رقيقة. يمكن استخدام هذه العملية في تطبيقات مختلفة ، مثل أغشية الزخرفة ومواد العزل وطبقات التوصيل المعدنية. الأمراض القلبية الوعائية عملية متعددة الاستخدامات يمكنها تصنيع مواد الطلاء والمساحيق والألياف والأنابيب النانوية والمكونات المتجانسة. كما أنها قادرة على إنتاج معظم المعادن والسبائك المعدنية ومركباتها وأشباه الموصلات والأنظمة اللافلزية. ترسب مادة صلبة على سطح ساخن من تفاعل كيميائي في مرحلة البخار يميز عملية CVD.
ما هو استخدام PECVD؟
يستخدم PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات لتصنيع الدوائر المتكاملة ، وكذلك في المجالات الكهروضوئية والترايبولوجية والضوئية والطبية الحيوية. يتم استخدامه لترسيب الأغشية الرقيقة للأجهزة الإلكترونية الدقيقة والخلايا الكهروضوئية ولوحات العرض. يمكن لـ PECVD إنتاج مركبات وأغشية فريدة لا يمكن إنشاؤها بواسطة تقنيات CVD الشائعة وحدها ، وأفلام تظهر مقاومة عالية للمذيبات والتآكل مع الاستقرار الكيميائي والحراري. كما أنها تستخدم لإنتاج بوليمرات عضوية وغير عضوية متجانسة على الأسطح الكبيرة ، وكربون شبيه بالماس (DLC) للتطبيقات الترايبولوجية.
ما هي معدات ترسيب الأغشية الرقيقة؟
تشير معدات ترسيب الأغشية الرقيقة إلى الأدوات والأساليب المستخدمة لإنشاء طبقات الطلاء الرقيقة وترسيبها على مادة الركيزة. يمكن أن تكون هذه الطلاءات مصنوعة من مواد مختلفة ولها خصائص مختلفة يمكن أن تحسن أو تغير أداء الركيزة. الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) هو أسلوب شائع يتضمن تبخير مادة صلبة في فراغ ، ثم ترسيبها على ركيزة. تشمل الطرق الأخرى التبخر والرش. تُستخدم معدات ترسيب الأغشية الرقيقة في إنتاج الأجهزة الإلكترونية البصرية ، والغرسات الطبية ، والبصريات الدقيقة ، من بين أشياء أخرى.
ما هي مميزات نظام CVD؟
يمكن إنتاج مجموعة واسعة من الأفلام ، والأفلام المعدنية ، والأفلام اللافلزية ، والأفلام ذات السبائك المتعددة المكونات حسب الحاجة. في الوقت نفسه ، يمكنها تحضير بلورات عالية الجودة يصعب الحصول عليها بطرق أخرى ، مثل GaN و BP وما إلى ذلك.
سرعة تشكيل الفيلم سريعة ، عادة ما تكون عدة ميكرونات في الدقيقة أو حتى مئات الميكرونات في الدقيقة. من الممكن إيداع كميات كبيرة من الطلاءات ذات التركيب الموحد في وقت واحد ، وهو أمر لا يضاهى بطرق تحضير الفيلم الأخرى ، مثل epitaxy المرحلة السائلة (LPE) و epitaxy الحزمة الجزيئية (MBE).
يتم تنفيذ ظروف العمل تحت ضغط عادي أو ظروف فراغ منخفضة ، وبالتالي فإن الطلاء له انعراج جيد ، ويمكن طلاء قطع العمل ذات الأشكال المعقدة بشكل موحد ، وهو أفضل بكثير من PVD.
نظرًا للانتشار المتبادل لغاز التفاعل ومنتج التفاعل والركيزة ، يمكن الحصول على طلاء بقوة التصاق جيدة ، وهو أمر ضروري لإعداد أغشية مقواة بالسطح مثل الأفلام المقاومة للتآكل والمضادة للتآكل.
تنمو بعض الأفلام عند درجة حرارة أقل بكثير من درجة انصهار مادة الفيلم. في ظل حالة النمو في درجات الحرارة المنخفضة ، لا يتفاعل غاز التفاعل وجدار المفاعل والشوائب الموجودة فيهما تقريبًا ، لذلك يمكن الحصول على فيلم بنقاوة عالية وتبلور جيد.
يمكن أن يحصل ترسيب البخار الكيميائي على سطح ترسيب أملس. هذا لأنه بالمقارنة مع LPE ، يتم إجراء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) تحت إشباع عالٍ ، مع معدل تنوي مرتفع ، وكثافة تنوي عالية ، وتوزيع منتظم على المستوى بأكمله ، مما ينتج عنه سطح أملس مجهري. في الوقت نفسه ، في ترسيب البخار الكيميائي ، يكون متوسط المسار الحر للجزيئات (الذرات) أكبر بكثير من LPE ، وبالتالي يكون التوزيع المكاني للجزيئات أكثر اتساقًا ، مما يؤدي إلى تكوين سطح ترسيب أملس.
ضرر الإشعاع المنخفض ، وهو شرط ضروري لتصنيع أشباه موصلات أكسيد المعادن (MOS) والأجهزة الأخرى
ما هي الأنواع المختلفة لطريقة CVD؟
تشمل الأنواع المختلفة من طرق CVD الضغط الجوي CVD (APCVD) ، CVD للضغط المنخفض (LPCVD) ، الفراغ العالي جدًا CVD ، CVD المدعوم بالهباء الجوي ، الحقن المباشر للسائل CVD ، CVD للجدار الساخن ، CVD للجدار البارد ، CVD البلازما بالميكروويف ، البلازما- CVD المحسن (PECVD) ، CVD المحسن بالبلازما عن بعد ، CVD المحسن بالبلازما منخفض الطاقة ، CVD للطبقة الذرية ، CVD الاحتراق ، و CVD الساخن. تختلف هذه الطرق في آلية بدء التفاعلات الكيميائية وظروف التشغيل.
ما هي مزايا PECVD؟
تتمثل المزايا الأساسية لـ PECVD في قدرتها على العمل في درجات حرارة منخفضة للترسيب ، مما يوفر توافقًا أفضل وتغطية خطوة على الأسطح غير المستوية ، وتحكم أكثر إحكامًا في عملية الأغشية الرقيقة ، ومعدلات الترسيب العالية. يسمح PECVD بالتطبيقات الناجحة في المواقف التي قد تؤدي فيها درجات حرارة CVD التقليدية إلى إتلاف الجهاز أو الطبقة السفلية المغلفة. من خلال التشغيل عند درجة حرارة منخفضة ، يخلق PECVD ضغطًا أقل بين طبقات الأغشية الرقيقة ، مما يسمح بأداء كهربائي عالي الكفاءة والارتباط بمعايير عالية جدًا.
ما هي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة؟
تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة هي عملية تطبيق طبقة رقيقة جدًا من المواد ، تتراوح سماكتها من بضعة نانومترات إلى 100 ميكرومتر ، على سطح ركيزة أو على طبقات ترسبت مسبقًا. تُستخدم هذه التقنية في إنتاج الإلكترونيات الحديثة ، بما في ذلك أشباه الموصلات ، والأجهزة البصرية ، والألواح الشمسية ، والأقراص المدمجة ، ومحركات الأقراص. الفئتان العريضتان لترسب الأغشية الرقيقة هما الترسيب الكيميائي ، حيث ينتج عن التغيير الكيميائي طلاء ترسب كيميائيًا ، وترسب بخار فيزيائي ، حيث يتم إطلاق مادة من المصدر وترسب على ركيزة باستخدام العمليات الميكانيكية أو الكهروميكانيكية أو الديناميكية الحرارية.
ما هو موقف PECVD؟
PECVD هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط غاز التفاعل ، وتعزيز التفاعل الكيميائي على سطح الركيزة أو بالقرب من مساحة السطح ، وتوليد فيلم صلب. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي RF أو DC ، يتأين غاز المصدر لتشكيل بلازما ، وتستخدم البلازما منخفضة الحرارة كمصدر للطاقة ، وكمية مناسبة من غاز التفاعل يتم إدخاله ، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط غاز التفاعل وتحقيق ترسب البخار الكيميائي.
وفقًا لطريقة توليد البلازما ، يمكن تقسيمها إلى بلازما RF ، بلازما DC وبلازما ميكروويف CVD ، إلخ ...
ما هو الفرق بين ALD و PECVD؟
ALD هي عملية ترسيب غشاء رقيق تسمح بدقة سماكة الطبقة الذرية والتوحيد الممتاز للأسطح ذات نسبة العرض إلى الارتفاع والطبقات الخالية من الثقوب. يتم تحقيق ذلك من خلال التكوين المستمر للطبقات الذرية في تفاعل محدود ذاتيًا. من ناحية أخرى ، يتضمن PECVD خلط مادة المصدر بواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة باستخدام البلازما للتفاعل الكيميائي وتحطيم مادة المصدر. تستخدم العمليات حرارة ذات ضغوط أعلى تؤدي إلى فيلم أكثر قابلية للتكرار حيث يمكن إدارة سماكة الفيلم بالوقت / الطاقة. هذه الأفلام هي أكثر متكافئة ، وأكثر كثافة وقادرة على إنتاج أغشية عازلة عالية الجودة.
ما هو الفرق بين CVD و PECVD؟
الفرق بين PECVD وتقنية CVD التقليدية هو أن البلازما تحتوي على عدد كبير من الإلكترونات عالية الطاقة ، والتي يمكن أن توفر طاقة التنشيط المطلوبة في عملية ترسيب البخار الكيميائي ، وبالتالي تغيير نمط إمداد الطاقة لنظام التفاعل. نظرًا لأن درجة حرارة الإلكترون في البلازما تصل إلى 10000 كلفن ، فإن الاصطدام بين الإلكترونات وجزيئات الغاز يمكن أن يعزز كسر الرابطة الكيميائية وإعادة اتحاد جزيئات غاز التفاعل لتوليد مجموعات كيميائية أكثر نشاطًا ، بينما يحافظ نظام التفاعل بأكمله على درجة حرارة منخفضة.
بالمقارنة مع عملية CVD ، يمكن لـ PECVD تنفيذ نفس عملية ترسيب البخار الكيميائي مع درجة حرارة منخفضة.
ما هو الفرق بين PECVD والخرق؟
PECVD والرش كلاً من تقنيات ترسيب البخار الفيزيائية المستخدمة لترسيب الأغشية الرقيقة. PECVD هي عملية منتشرة مدفوعة بالغاز تنتج أغشية رفيعة عالية الجودة بينما الرش هو ترسب على خط البصر. يسمح PECVD بتغطية أفضل على الأسطح غير المستوية مثل الخنادق والجدران والتوافق العالي ويمكن أن ينتج مركبات وأفلام فريدة. من ناحية أخرى ، يعد الرش مفيدًا لترسيب طبقات دقيقة من عدة مواد ، وهو مثالي لإنشاء أنظمة طلاء متعددة الطبقات ومتعددة الدرجات. يستخدم PECVD بشكل أساسي في صناعة أشباه الموصلات ، والمجالات الترايبولوجية ، والضوئية ، والطبية الحيوية بينما يستخدم الاخرق في الغالب للمواد العازلة والتطبيقات الترايبولوجية.
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great tool for depositing high-quality thin films. We've been using it for several months now and have been very happy with the results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition has been a lifesaver in our lab. It's allowed us to produce high-quality thin films quickly and easily.
4.9
out of
5
We are very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a game-changer for our research. It's allowed us to explore new possibilities that we never thought possible.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few months now and have been very impressed with its performance. It's a powerful tool that has helped us to achieve great results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great investment for any lab. It's easy to use and produces high-quality results. I highly recommend it.
4.9
out of
5
We're very happy with our RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a reliable system that has helped us to improve our research.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a top-of-the-line system. It's a must-have for any lab that wants to stay ahead of the curve.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few years now and have been very happy with it. It's a versatile system that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great value for the money. It's a powerful system that can be used for a variety of applications.
4.9
out of
5
We're very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a game-changer for our research. It's allowed us to explore new possibilities that we never thought possible.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few months now and have been very impressed with its performance. It's a powerful tool that has helped us to achieve great results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great investment for any lab. It's easy to use and produces high-quality results. I highly recommend it.
4.9
out of
5
We're very happy with our RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a reliable system that has helped us to improve our research.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a top-of-the-line system. It's a must-have for any lab that wants to stay ahead of the curve.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few years now and have been very happy with it. It's a versatile system that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great value for the money. It's a powerful system that can be used for a variety of applications.
4.9
out of
5
We're very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
قم بترقية عملية الطلاء الخاصة بك باستخدام معدات الطلاء PECVD. مثالية لمصابيح LED وأشباه موصلات الطاقة والنظم الكهروميكانيكية الصغرى والمزيد. يودع أغشية صلبة عالية الجودة في درجات حرارة منخفضة.
KT-PE12 Slide PECVD System: نطاق طاقة واسع ، تحكم في درجة الحرارة قابل للبرمجة ، تسخين / تبريد سريع مع نظام انزلاقي ، تحكم في التدفق الكتلي MFC ومضخة تفريغ.
تعرف على آلة الرنان الأسطواني MPCVD ، وهي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما بالميكروويف المستخدمة في زراعة الأحجار الكريمة والأغشية الماسية في صناعات المجوهرات وأشباه الموصلات. اكتشف مزاياها الفعالة من حيث التكلفة مقارنة بأساليب HPHT التقليدية.
إن آلة توزيع الغراء المختبرية الأوتوماتيكية بالكامل بتجويف سبائك الألومنيوم مقاس 4 بوصة عبارة عن جهاز مدمج ومقاوم للتآكل مصمم للاستخدام المختبري. إنه يتميز بغطاء شفاف مع وضع ثابت لعزم الدوران، وتجويف داخلي مفتوح للقالب لسهولة التفكيك والتنظيف، وزر قناع الوجه الملون بشاشة LCD لسهولة الاستخدام.
احصل على أغشية ألماس عالية الجودة باستخدام آلة Bell-jar Resonator MPCVD المصممة لنمو المختبر والماس. اكتشف كيف يعمل ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما الميكروويف على زراعة الماس باستخدام غاز الكربون والبلازما.
إن آلة توزيع الغراء المختبرية الأوتوماتيكية بالكامل ذات التجويف الأكريليكي مقاس 4 بوصة عبارة عن آلة مدمجة ومقاومة للتآكل وسهلة الاستخدام مصممة للاستخدام في عمليات صندوق القفازات. يتميز بغطاء شفاف مع وضع عزم دوران ثابت لوضع السلسلة، وتجويف داخلي لفتح القالب، وزر قناع الوجه الملون بشاشة LCD. يمكن التحكم في سرعة التسارع والتباطؤ وتعديلها، كما يمكن ضبط التحكم في تشغيل البرنامج متعدد الخطوات.
915 ميجا هرتز MPCVD الماس آلة الماس 915MHz ونموها الفعال متعدد البلورات، يمكن أن تصل المساحة القصوى إلى 8 بوصات، ويمكن أن تصل مساحة النمو الفعال القصوى للبلورة الواحدة إلى 5 بوصات. تُستخدم هذه المعدات بشكل أساسي لإنتاج أفلام الماس متعدد الكريستالات كبيرة الحجم، ونمو الماس أحادي البلورة الطويل، ونمو الجرافين عالي الجودة في درجات حرارة منخفضة، وغيرها من المواد التي تتطلب طاقة توفرها بلازما الميكروويف للنمو.
تعتبر غرفة تجانس الغراء المختبري الأوتوماتيكية بالكامل مقاس 4 بوصة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عبارة عن جهاز مدمج ومقاوم للتآكل مصمم للاستخدام في عمليات صندوق القفازات. إنه يتميز بغطاء شفاف مع وضع ثابت لعزم الدوران وتجويف داخلي مفتوح للقالب لسهولة التفكيك والتنظيف والاستبدال.
قم بإعداد العينات بكفاءة باستخدام مكبس بطارية الزر 5T. مثالية لمختبرات أبحاث المواد والإنتاج على نطاق صغير. بصمة صغيرة وخفيفة الوزن ومتوافقة مع الفراغ.
اكتشف مكبسنا المختبري المسخّن الأوتوماتيكي المنفصل 30T/40T لتحضير العينات بدقة في أبحاث المواد والصيدلة والسيراميك والصناعات الإلكترونية. بفضل مساحتها الصغيرة وتسخينها حتى 300 درجة مئوية، فهي مثالية للمعالجة في بيئة التفريغ.
الطاحونة الأسطوانية عبارة عن طاحونة أفقية ذات قدرة طحن على دفعات من 1-20 لتر. تستخدم خزانات مختلفة، تدور لطحن عينات أقل من 20 ميكرومتر. تشتمل الميزات على هيكل من الفولاذ المقاوم للصدأ، وغطاء عازل للصوت، وإضاءة LED، ونافذة كمبيوتر شخصي.
تحضير العينات بكفاءة باستخدام مكبس المختبر الكهربائي المنفصل - متوفر بأحجام مختلفة ومثالي لأبحاث المواد والصيدلة والسيراميك. استمتع بتنوع أكبر وضغط أعلى مع هذا الخيار المحمول والقابل للبرمجة.
استمتع بتجربة تحضير العينات بكفاءة مع ماكينة ضغط المختبر الأوتوماتيكية. مثالية لأبحاث المواد والصيدلة والسيراميك وغيرها. تتميز بحجم صغير ووظيفة الضغط الهيدروليكي مع ألواح تسخين. متوفرة بأحجام مختلفة.
يمكنك معالجة العينات بالكبس الحراري بكفاءة باستخدام مكبس المختبر اليدوي المسخّن المتكامل الخاص بنا. مع نطاق تسخين يصل إلى 500 درجة مئوية، فهي مثالية لمختلف الصناعات.
تحضير العينات بكفاءة مع مكبسنا الأوتوماتيكي للمختبر البارد المتساوي الضغط. تُستخدم على نطاق واسع في أبحاث المواد والصيدلة والصناعات الإلكترونية. يوفر مرونة وتحكمًا أكبر مقارنةً بمكابس التنظيف المكاني الكهربائية.
