لصنع البلازما في الاخرق، يتم اتباع الخطوات التالية:
1. تبدأ عملية الرش بغرفة مفرغة تحتوي على المادة المستهدفة، والركيزة، وأقطاب الترددات اللاسلكية.
2. يتم توجيه الغاز المتطاير، وهو عادة غاز خامل مثل الأرجون أو الزينون، إلى الغرفة. يتم اختيار هذه الغازات لأنها لا تتفاعل مع المادة المستهدفة أو غازات المعالجة الأخرى.
3. يتم تطبيق الجهد العالي بين الكاثود، الذي يقع مباشرة خلف هدف الاخرق، والأنود، الذي يتم توصيله بالغرفة كأرضية كهربائية.
4. يتم تسريع الإلكترونات الموجودة في الغاز المتطاير بعيدًا عن الكاثود، مما يتسبب في تصادمات مع ذرات الغاز المتطايرة القريبة.
5. تؤدي هذه الاصطدامات إلى تنافر إلكتروستاتيكي يطرد الإلكترونات من ذرات الغاز المتطايرة، مما يسبب التأين.
6. يتم بعد ذلك تسريع أيونات الغاز الموجبة نحو الكاثود سالب الشحنة، مما يؤدي إلى اصطدامات عالية الطاقة مع سطح الهدف.
7. يمكن أن يؤدي كل تصادم إلى قذف الذرات الموجودة على سطح الهدف إلى بيئة الفراغ بطاقة حركية كافية للوصول إلى سطح الركيزة.
8. تنتقل ذرات الهدف المقذوفة وتترسب على الركيزة كفيلم، لتشكل الطبقة المرغوبة.
9. لزيادة معدلات الترسيب، عادةً ما يتم اختيار الغازات ذات الوزن الجزيئي العالي مثل الأرجون أو الزينون كغاز متطاير. إذا كانت عملية الرش التفاعلي مرغوبة، فيمكن إدخال غازات مثل الأكسجين أو النيتروجين إلى الغرفة أثناء نمو الفيلم.
10. يتم إنشاء البلازما عند ضغوط عالية نسبياً (10-1 إلى 10-3 ملي بار). ومن المهم البدء بضغط منخفض قبل إدخال الأرجون لتجنب التلوث بسبب الغازات المتبقية.
11. يمكن أن يتنوع شكل والمادة المستخدمة في هدف الرش لإنشاء أنواع مختلفة من الطبقات الرقيقة والسبائك أثناء التشغيل الواحد.
باختصار، يتم إنشاء البلازما في الاخرق عن طريق تأين غاز الاخرق، وعادة ما يكون غازًا خاملًا مثل الأرجون، من خلال الاصطدامات مع الإلكترونات عالية الطاقة. ثم تقصف هذه الأيونات المادة المستهدفة، مما يتسبب في قذف الذرات وترسيبها على الركيزة كطبقة رقيقة.
هل تبحث عن معدات مخبرية عالية الجودة لعمليات الرش؟ لا تنظر أبعد من KINTEK! من خلال التكنولوجيا والخبرة المتقدمة لدينا، نحن نقدم أنظمة الرش المتطورة التي تقدم نتائج دقيقة وفعالة. سواء كنت بحاجة إلى الرش بالغاز الخامل أو الرش التفاعلي بغازات إضافية، فقد تم تصميم معداتنا لتلبية متطلباتك الفريدة. عزز قدراتك البحثية أو الإنتاجية من خلال حلول KINTEK الموثوقة والمبتكرة. اتصل بنا اليوم وانتقل بعمليات الرش إلى المستوى التالي!
