يتضمن صنع البلازما في الاخرق عدة خطوات رئيسية. وفيما يلي تفصيل مفصل لمساعدتك على فهم العملية بشكل أفضل.
11 خطوة لفهم عملية صنع البلازما في الاخرق
الخطوة 1: إعداد غرفة التفريغ
تبدأ عملية الاخرق بغرفة تفريغ الهواء. تحتوي هذه الغرفة على المادة المستهدفة والركيزة وأقطاب الترددات اللاسلكية.
الخطوة 2: إدخال غاز الاخرق
يتم توجيه غاز خامل مثل الأرجون أو الزينون إلى الغرفة. يتم اختيار هذه الغازات لأنها لا تتفاعل مع المادة المستهدفة أو غازات المعالجة الأخرى.
الخطوة 3: تطبيق الجهد العالي
يتم تطبيق الجهد العالي بين الكاثود والأنود. يقع الكاثود خلف هدف الاخرق مباشرة، ويتم توصيل الأنود بالحجرة كأرضية كهربائية.
الخطوة 4: تسريع الإلكترونات
يتم تسريع الإلكترونات الموجودة في غاز الاخرق بعيداً عن المهبط. وهذا يسبب تصادمات مع الذرات القريبة من غاز الاخرق.
الخطوة 5: التأين من خلال التصادمات
ينتج عن هذه التصادمات تنافر كهروستاتيكي. ويؤدي ذلك إلى إبعاد الإلكترونات عن ذرات غاز الاخرق مما يسبب التأين.
الخطوة 6: تسريع الأيونات الموجبة
يتم بعد ذلك تسريع أيونات غاز الرش الموجبة نحو المهبط سالب الشحنة. وهذا يؤدي إلى تصادمات عالية الطاقة مع سطح الهدف.
الخطوة 7: إخراج ذرات الهدف
يمكن أن يتسبب كل تصادم في طرد الذرات الموجودة على سطح الهدف إلى بيئة الفراغ. هذه الذرات لديها طاقة حركية كافية للوصول إلى سطح الركيزة.
الخطوة 8: ترسيب الفيلم
تنتقل ذرات الهدف المقذوفة وتترسب على الركيزة كفيلم. وهذا يشكل الطلاء المطلوب.
الخطوة 9: زيادة معدلات الترسيب
لزيادة معدلات الترسيب، عادةً ما يتم اختيار الغازات ذات الوزن الجزيئي المرتفع مثل الأرجون أو الزينون كغاز رش. بالنسبة إلى الاخرق التفاعلي، يمكن إدخال غازات مثل الأكسجين أو النيتروجين أثناء نمو الفيلم.
الخطوة 10: إنشاء البلازما عند ضغط عالٍ
يتم إنشاء البلازما عند ضغوط عالية نسبيًا (10-1 إلى 10-3 ملي بار). من المهم البدء من ضغط منخفض قبل إدخال الأرجون لتجنب التلوث بسبب الغازات المتبقية.
الخطوة 11: تغيير شكل الهدف والمادة المستهدفة
يمكن أن يتنوع شكل ومادة هدف الاخرق لإنشاء أنواع مختلفة من الطبقات الرقيقة والسبائك خلال عملية تشغيل واحدة.
وباختصار، يتم إنشاء البلازما في عملية الاخرق عن طريق تأيين غاز الاخرق، وهو عادةً غاز خامل مثل الأرجون، من خلال تصادمات مع إلكترونات عالية الطاقة. ثم تقوم هذه الأيونات بقصف المادة المستهدفة، مما يؤدي إلى قذف الذرات وترسيبها على الركيزة كغشاء رقيق.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل تبحث عن معدات معملية عالية الجودة لعمليات الاخرق؟لا تبحث أكثر من KINTEK! بفضل تقنيتنا وخبرتنا المتقدمة، نقدم أفضل أنظمة الاخرق التي تقدم نتائج دقيقة وفعالة. سواء أكنت بحاجة إلى رش غاز خامل أو رش تفاعلي بغازات إضافية، فإن معداتنا مصممة لتلبية متطلباتك الفريدة.عزز قدراتك البحثية أو الإنتاجية مع حلول KINTEK الموثوقة والمبتكرة. اتصل بنا اليوم وانقل عمليات الاخرق الخاصة بك إلى المستوى التالي!
