البلازما المستحثة بالموجات الدقيقة هي عملية رائعة تنطوي على توليد البلازما ومعالجتها باستخدام الموجات الدقيقة، وعادةً ما تكون بتردد 2.45 جيجاهرتز.
كيف تعمل البلازما المستحثة بالموجات الدقيقة؟ شرح 6 خطوات رئيسية
1. توليد الموجات الدقيقة
يتم توليد الموجات الدقيقة بواسطة أجهزة مثل المغنطرونات أو الكليسترونات.
ثم يتم توجيه هذه الموجات الدقيقة إلى غرفة مفرغة من خلال نافذة كوارتز.
2. إدخال الغاز والتحكم فيه
يقوم نظام توصيل الغاز، المزود بوحدات تحكم في التدفق الكتلي، بإدخال وتنظيم تدفق الغاز إلى غرفة التفريغ.
يتأين هذا الغاز بواسطة الموجات الدقيقة لتكوين البلازما.
3. تكوين البلازما والتلاعب بها
تعمل الموجات الدقيقة على تأيين الغاز، مما يؤدي إلى تكوين بلازما.
هذه البلازما تفاعلية للغاية بسبب الطاقة العالية للإلكترونات (1-20 إي فولت)، وهي أعلى بكثير من الطاقة النموذجية البالغة 0.025 إي فولت في درجة حرارة الغرفة.
وتسمح هذه الطاقة العالية للإلكترونات بتأيين جزيئات الغاز وتفكيكها، مما يخلق بيئة تفاعلية كيميائية.
4. استخدام البلازما
تُستخدم البلازما لتعزيز التفاعلات الكيميائية وتعديل أسطح الركيزة.
وفي عمليات مثل ترسيب البخار الكيميائي المحسّن بالبلازما (PECVD)، تعزز البلازما كفاءة الترسيب ويمكن أن تؤدي إلى تكوين أغشية رقيقة عالية الجودة في درجات حرارة منخفضة.
وتساهم طاقة البلازما أيضًا في تسخين الركائز، وهو أمر بالغ الأهمية لتطبيقات مختلفة مثل تخليق الماس.
5. التحكم والمراقبة
يتم التحكم في درجة حرارة الركيزة ومراقبتها بواسطة المزدوجات الحرارية لضمان بقائها في درجة الحرارة المطلوبة أثناء عمليات مثل الترسيب.
6. التقنيات المتقدمة
تستخدم تقنيات مثل الترسيب الكيميائي بالبخار المعزز بالبلازما المحسّن بالبلازما بالموجات الدقيقة (MWECR-PECVD) تأثير الرنين السيكلوتروني للإلكترونات في الموجات الدقيقة والمجالات المغناطيسية لتشكيل بلازما نشطة وكثيفة للغاية.
وهذا يسمح بتشكيل أغشية رقيقة عالية الجودة في ظروف التفريغ في درجات حرارة منخفضة.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
اكتشف قوة تكنولوجيا البلازما المستحثة بالموجات الدقيقة معمعدات KINTEK SOLUTION أحدث المعدات.
تستخدم أنظمتنا المبتكرة ترددات الميكروويف والتقنيات المتقدمة لتوليد البلازما التفاعلية ومعالجتها، مما يتيح تعديل المواد وتركيبها بدقة.
من PECVD إلى تصنيع الماس، اعتمد علىحل Kintek للحصول على حلول بلازما فائقة ترتقي بقدرات مختبرك إلى آفاق جديدة.
اطلب عرضاً تجريبياً اليوم وشاهد الإمكانات التحويلية لمنتجاتنا المتطورة!
