يوفر الاخرق بالترددات اللاسلكية العديد من المزايا الرئيسية، بما في ذلك الجودة الفائقة للفيلم والتغطية المتدرجة، وتعدد الاستخدامات في ترسيب مواد مختلفة، وتقليل تأثيرات الشحنات والانحناء، والتشغيل عند ضغوط منخفضة، وتحسين الكفاءة. بالإضافة إلى ذلك، فهو فعال للأهداف العازلة وقد تم تعزيزه بشكل أكبر من خلال تطوير تقنية الصمام الثنائي الترددي.
جودة الفيلم الفائقة والتغطية المتدرجة:
ينتج الاخرق بالترددات اللاسلكية أغشية ذات جودة أفضل وتغطية متدرجة مقارنة بتقنيات التبخير. وهذا أمر بالغ الأهمية في التطبيقات التي تتطلب ترسيبًا دقيقًا وموحدًا للفيلم، حيث يضمن التصاق الفيلم جيدًا بالركيزة، حتى في الأشكال الهندسية المعقدة.براعة في ترسيب المواد:
هذه التقنية قادرة على ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك العوازل والمعادن والسبائك والمواد المركبة. هذا التنوع مفيد بشكل خاص في الصناعات التي تتطلب مواد مختلفة لتطبيقات مختلفة، مما يسمح بعملية إنتاج أكثر انسيابية وفعالية من حيث التكلفة.
تقليل تأثيرات زيادة الشحن والتقوس:
يساعد استخدام مصدر التردد اللاسلكي المتردد بتردد 13.56 ميجاهرتز في تجنب تأثيرات زيادة الشحن وتقليل الانحناء. وذلك لأن إشارة المجال الكهربائي تتغير عند كل سطح داخل غرفة البلازما مع الترددات اللاسلكية، مما يمنع تراكم الشحنات التي يمكن أن تؤدي إلى تقوس القوس. يمكن أن يتسبب الانحناء في ترسيب غير منتظم للفيلم ومشكلات أخرى تتعلق بالجودة، لذا فإن الحد منه مهم للحفاظ على إنتاج فيلم عالي الجودة.التشغيل عند ضغوط منخفضة:
يمكن أن يعمل الرش بالترددات اللاسلكية عند ضغوط منخفضة (من 1 إلى 15 ملي طن متري) مع الحفاظ على البلازما. وتعزز عملية الضغط المنخفض هذه من كفاءة العملية من خلال تقليل عدد تصادمات الغاز المتأين مما يؤدي إلى ترسيب أكثر كفاءة في خط الرؤية لمادة الطلاء.
تحسين الكفاءة ومراقبة الجودة:
