الرش بالترددات اللاسلكية هو عملية طلاء متخصصة تتضمن العديد من المعلمات الرئيسية لضمان ترسيب الأغشية الرقيقة بكفاءة وجودة عالية.
شرح 4 عوامل رئيسية
مصدر الطاقة والجهد
يستخدم الرش بالترددات اللاسلكية مصدر طاقة تيار متردد.
يعمل هذا المصدر بتردد محدد يبلغ 13.56 ميجاهرتز.
يساعد هذا التردد على منع تراكم الشحنات على المواد المستهدفة.
يتم ضبط الجهد من الذروة إلى الذروة عند 1000 فولت.
هذا الجهد ضروري للحفاظ على البلازما وضمان كفاءة الاخرق.
كثافة الإلكترونات وضغط الغرفة
تتراوح كثافات الإلكترونات في الاخرق بالترددات اللاسلكية من 10^9 إلى 10^11 سم^3.
وتؤثر هذه الكثافات على تأين الغاز والكفاءة الكلية لعملية الاخرق.
يتم ضبط ضغط الغرفة بين 0.5 إلى 10 mTorr.
يقلل هذا الضغط المنخفض من تصادمات الغاز المتأين ويعزز كفاءة عملية الترسيب.
تساعد بيئة الضغط المنخفض على تحقيق ترسيب أكثر اتساقاً وتحكماً.ملاءمة المواد ومعدل الترسيب
