الأداة المستخدمة لقياس الفراغ هيمقياس الفراغ. هذا المقياس ضروري في أنظمة التفريغ لقياس وعرض الضغط داخل حجرة التفريغ، مما يضمن تحقيق مستوى التفريغ المطلوب والحفاظ عليه.
شرح مفصل:
-
وظيفة مقاييس التفريغ:
-
مقاييس التفريغ مصممة خصيصًا لقياس الضغط في أنظمة التفريغ، والذي يمكن أن يتراوح من الضغط الجوي إلى ضغوط منخفضة للغاية. هذه المقاييس ضرورية لمراقبة أداء مضخات التفريغ وسلامة نظام التفريغ. فهي تساعد في ضبط مستويات التفريغ وفقًا للمواصفات المطلوبة لمختلف التطبيقات، مثل البحث العلمي والعمليات الصناعية والتصنيع.أنواع مقاييس التفريغ:
- هناك عدة أنواع من مقاييس التفريغ، كل منها مناسب لنطاقات مختلفة من الضغط وتطبيقات محددة. تشمل الأنواع الشائعة ما يلي:
- مقاييس التوصيل الحراري: تقيس هذه المقاييس التغير في التوصيل الحراري للغاز مع تغير الضغط. وهي مفيدة لنطاقات التفريغ المتوسطة.
- مقاييس التأين: تعمل هذه المقاييس عن طريق تأيين جزيئات الغاز وقياس التيار الناتج. وتستخدم في نطاقات التفريغ العالية.
- مقياس ماكلويد: هذا مقياس قياسي أساسي يستخدم للمعايرة ويقيس الضغط عن طريق ضغط حجم معروف من الفراغ إلى ضغط قابل للقياس.
-
مقياس بيراني: يقيس هذا المقياس التوصيل الحراري للغاز عند ضغوط منخفضة ويستخدم لقياسات التفريغ التقريبي.
الأهمية في أنظمة التفريغ:
