تُستخدم مضخة الانتشار لتوليد فراغات عالية في مختلف التطبيقات الصناعية، وتعمل بدون أجزاء متحركة باستخدام بخار مائع يغلي لالتقاط جزيئات الهواء وتحريكها.
ملخص الإجابة:
مضخة الانتشار هي نوع من مضخات تفريغ السوائل التي تستخدم بخار مائع يغلي لالتقاط جزيئات الهواء، والتي يتم نقلها إلى موقع آخر وإطلاقها بعد التبريد. تسمح هذه العملية للمضخة بتوليد فراغات عالية تتراوح من 10-2 إلى 10-10 تورات، مما يجعلها مناسبة لتطبيقات مثل الفحص المجهري بالحزمة الإلكترونية والترسيب بالتفريغ والطلاء وأفران التفريغ.
-
الشرح التفصيلي:مبدأ التشغيل:
-
على عكس المضخات الميكانيكية التي تستخدم مكابس أو زعانف لإزاحة الهواء فيزيائياً، تستخدم مضخات الانتشار سائل (غالباً ما يشار إليه بالزيت) يتم غليه لإنتاج بخار. يلتقط هذا البخار جزيئات الهواء ويحملها إلى قاع المضخة، حيث يتم تبريدها وإطلاقها. يساعد التدفق الهابط للبخار بسبب الجاذبية في هذه العملية.أنواع السوائل المستخدمة:
-
يمكن للمضخة استخدام أنواع مختلفة من السوائل، لكل منها خصائص محددة. على سبيل المثال، البولي فينيل إيثر مقاوم للقصف الإلكتروني وله ضغط بخار منخفض، مما يجعله مناسبًا لبعض التطبيقات عالية التقنية. ومن ناحية أخرى، فإن البيرفلوروبولي إيثر خامل للغاية ويتحلل إلى غاز عند تسخينه، وهو مفيد في الحفاظ على سلامة التفريغ ولكنه يتطلب معالجة دقيقة بسبب سميته.التطبيقات:
-
إن قدرة مضخات الانتشار على إنتاج فراغات عالية بدون أجزاء متحركة تجعلها متينة وموثوقة لمختلف الاستخدامات الصناعية. ويشمل ذلك العمليات الحرجة مثل الفحص المجهري بالحزمة الإلكترونية، حيث يكون التفريغ العالي ضروريًا لتشغيل حزمة الإلكترونات، والترسيب بالتفريغ، حيث يتم تبخير المواد وترسيبها على الركائز في بيئة مفرغة.الصيانة والتشغيل:
-
تتطلب مضخات الانتشار الحد الأدنى من الصيانة، والتي تنطوي في المقام الأول على مراقبة وصيانة مستوى الزيت ونظام التسخين. المحاذاة الصحيحة لعناصر التسخين أمر بالغ الأهمية للتشغيل الفعال.مقارنة مع المضخات الأخرى:
تختلف مضخات الانتشار اختلافًا كبيرًا عن المضخات الحركية، التي تستخدم الدفاعات أو زخم البخار لدفع الغاز نحو المخرج. تستخدم المضخات الحركية عادةً في تطبيقات الضغط العالي وتعتبر مضخات ثانوية في أنظمة التفريغ.
وفي الختام، فإن مضخة الانتشار هي أداة متخصصة لإنشاء فراغات عالية في البيئات الصناعية، والاستفادة من خصائص السوائل المختلفة لالتقاط جزيئات الهواء وإزالتها بفعالية وكفاءة.
