تُستخدم تقنية الحزمة الإلكترونية أو تكنولوجيا الحزمة الإلكترونية في المقام الأول لترسيب المعادن وتعديل خصائص المواد والتعقيم وتطبيقات متخصصة مختلفة في صناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة. وتستخدم هذه التقنية شعاعاً مركزاً من الإلكترونات لتسخين المواد، مما يؤدي إلى تبخيرها وترسيبها على الركيزة أو تعديل خصائص المواد أو تعقيم المنتجات.
ترسيب المعادن:
ينطوي ترسيب المعادن بالحزمة الإلكترونية على استخدام شعاع إلكتروني لتسخين كريات صغيرة من المادة في الفراغ، مما يؤدي إلى تبخيرها. ثم تترسب المادة المتبخرة على ركيزة لتشكل طبقة رقيقة عالية الكثافة. وتعد هذه العملية مفيدة في إنشاء أغشية عالية النقاء وملتصقة بإحكام بمعدلات ترسيب سريعة. التبخير بالحزمة الإلكترونية مفيد بشكل خاص في ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المعادن عالية الحرارة وأكاسيد المعادن، ويمكن أن يسهل الترسيب متعدد الطبقات دون الحاجة إلى التنفيس.تعديل خصائص المواد:
تعتبر المعالجة بالحزمة الإلكترونية فعالة في تغيير خصائص المواد عن طريق إحداث تشابك البوليمرات، وانشطار السلسلة، وغيرها من التغييرات. وقد تم تطبيق هذه التقنية على مواد مختلفة، مما أدى إلى تحسين أدائها في تطبيقات مثل البلاستيك القابل للتقلص بالحرارة، والمعالجة بالحرارة المركبة، وتحسين أشباه الموصلات. يتيح التحكم الدقيق في شعاع الإلكترون إجراء تعديلات مستهدفة مما يوفر فوائد اقتصادية وبيئية.
التعقيم:
التعقيم بالحزمة الإلكترونية هو طريقة مقبولة على نطاق واسع لتطهير المعدات والمنتجات الطبية. وهي توفر معدل جرعات عالية ومستوى ضمان تعقيم عالٍ، مما يسمح بالإفراج الفوري عن المواد المعقمة. يمكن لهذه التقنية اختراق مواد مختلفة، بما في ذلك الرقائق، وتسمح بالتحكم في درجة الحرارة أثناء التشعيع، مما يضمن الحفاظ على خصائص المواد وسلامة المنتج.
التطبيقات المتخصصة:
