يُطلق على الحاوية التي تحمل المادة المصدرية المعدنية في التبخير بالحزمة الإلكترونية اسم البوتقة.
الشرح:
-
تعريف البوتقة ووظيفتها:
-
البوتقة في سياق التبخير بالحزمة الإلكترونية هي حاوية مصممة لحمل المادة المصدر التي سيتم تبخيرها. توضع هذه البوتقة في غرفة عالية التفريغ وتكون هدفًا لحزمة إلكترونية مركزة. وتتمثل الوظيفة الأساسية للبوتقة في الاحتفاظ بالمادة بشكل آمن أثناء تسخينها إلى نقطة التبخير بواسطة شعاع الإلكترون.المواد وبنية البوتقات:
-
عادةً ما تُصنع البوتقات المستخدمة في التبخير بالحزمة الإلكترونية من مواد ذات درجات انصهار عالية لتحمل الحرارة الشديدة الناتجة عن حزمة الإلكترونات. وتشمل المواد الشائعة لبناء البوتقات النحاس والتنغستن والسيراميك، وخاصة نيتريد البورون. ويعتمد اختيار المواد على نوع المادة المصدر ومتطلبات درجة حرارة عملية التبخير. على سبيل المثال، قد تكون البوتقات الخزفية مفضلة للمواد ذات درجة الحرارة العالية لمنع أي تفاعل كيميائي بين البوتقة والمواد المصدر.
-
أنظمة التبريد:
-
لمنع البوتقة نفسها من الوصول إلى درجات حرارة عالية، والتي يمكن أن تؤدي إلى تلف أو تفاعلات غير مرغوب فيها، غالبًا ما تكون البوتقات مجهزة بأنظمة تبريد بالماء. تضمن آلية التبريد هذه تسخين المادة المصدر فقط بواسطة حزمة الإلكترونات، بينما تظل البوتقة في درجة حرارة تشغيل آمنة.التكوين والتعامل مع المواد المتعددة:
يمكن أن تحتوي أنظمة التبخير بالحزمة الإلكترونية المتقدمة على بوتقات متعددة، مما يسمح بترسيب مواد مختلفة بالتتابع دون كسر التفريغ. هذا التكوين مفيد بشكل خاص في التطبيقات التي تتطلب طلاء متعدد الطبقات. يمكن تدوير البوتقات أو وضعها بحيث يمكن لشعاع الإلكترون استهداف وتبخير كل مادة مصدرية بدورها، مما يسهل عمليات الطلاء المعقدة.
