الرش بالتيار المستمر النبضي هو نوع مختلف من تقنية الرش بالتيار المباشر (DC)، والذي يستخدم لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. تنطوي هذه الطريقة على استخدام مصدر طاقة تيار مستمر نابض بدلاً من مصدر طاقة تيار مستمر مما يسمح بتحكم أفضل في عملية الترسيب وتحسين جودة الفيلم.
ملخص تقنية الرش بالتيار المستمر النبضي:
يعد الرش النبضي بالتيار المستمر النبضي شكلاً متقدمًا من أشكال الرش بالتيار المستمر حيث يتناوب مصدر الطاقة بين حالات الجهد العالي والمنخفض، مما يخلق تيارًا مستمرًا نابضًا. وتُعد هذه التقنية مفيدة بشكل خاص لترسيب المواد التي يصعب رشها باستخدام طرق التيار المستمر التقليدية، مثل المواد العازلة أو المواد العازلة. يساعد النبض في تنظيف السطح المستهدف عن طريق إزالة المواد المتراكمة بشكل دوري، مما يعزز كفاءة الاخرق وجودة الأفلام المترسبة.
-
شرح مفصل:
- آلية الرش النبضي بالتيار المستمر النبضي:
-
في عملية الرش النبضي بالتيار المستمر النبضي، يقوم مزود الطاقة بتوصيل سلسلة من النبضات عالية الجهد إلى المادة المستهدفة. يخلق هذا الإجراء النابض بيئة بلازما حيث يتم تسريع الأيونات نحو الهدف خلال مرحلة الجهد العالي، مما يتسبب في قذف المواد. وخلال مرحلة الجهد المنخفض أو خارج الطور، تنخفض كثافة البلازما مما يسمح بإزالة أي مواد متراكمة على سطح الهدف.
- مزايا أكثر من الاخرق التقليدي للتيار المستمر:تحسين استخدام الهدف:
- يساعد النبض في تنظيف سطح الهدف، مما يقلل من تكوين طبقة غير موصلة يمكن أن تعيق عملية الاخرق. وهذا يؤدي إلى تحسين استخدام الهدف وإطالة العمر التشغيلي.تحسين جودة الفيلم:
- يمكن أن يؤدي النبض المتحكم فيه إلى الحصول على أفلام أكثر اتساقًا وأعلى جودة، حيث إنه يقلل من خطر الانحناء وعدم استقرار البلازما الأخرى التي يمكن أن تؤدي إلى تدهور خصائص الفيلم.مناسب للمواد العازلة:
-
يعتبر رش التيار المستمر النبضي فعالاً بشكل خاص في ترسيب المواد العازلة، والتي يصعب رشها باستخدام طرق التيار المستمر التقليدية بسبب خصائصها العازلة.
- أنواع الرش بالتيار المستمر النبضي:الاخرق النبضي أحادي القطب:
- تتضمن هذه الطريقة تطبيق جهد موجب بتردد معين لتنظيف سطح الهدف. وهي فعالة للحفاظ على سطح هدف نظيف ومنع تراكم طبقة عازلة.الاخراخ النبضي ثنائي القطب:
تستخدم هذه التقنية كلاً من النبضات الموجبة والسالبة لتعزيز تأثير التنظيف على سطح الهدف، مما يحسن عملية الاخرق الكلية.الخاتمة:
