
فرن CVD و PECVD
فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD
رقم العنصر : KT-PE12
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- الأعلى. درجة حرارة
- 1200 ℃
- درجة حرارة عمل ثابتة
- 1100
- قطر أنبوب الفرن
- 60 ملم
- طول منطقة التسخين
- 1x450 ملم
- معدل التسخين
- 0-20 ℃ / دقيقة
- مسافة انزلاق
- 600 ملم

الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! ترك رسالة الحصول على الاقتباس السريع Via الدردشة عبر الإنترنتالتطبيقات
يتكون نظام PECVD المنزلق KT-PE12 المزود بغاز سائل من مصدر بلازما RF بقدرة 500 وات وفرن منزلق TF-1200 و 4 وحدة تحكم بالغاز دقيقة MFC ومحطة تفريغ قياسية واحدة. نظام انزلاق سكة غرفة الفرن ، والذي يمكن أن يحقق الغرض من التسخين السريع والتبريد السريع ، يمكن تركيب مروحة تدوير الهواء القسري المساعدة الاختيارية لتسريع معدل التبريد ؛ حركة انزلاق اختيارية تعمل تلقائيًا ؛ الأعلى. درجة حرارة العمل تصل إلى 1200 درجة مئوية ، وأنبوب الفرن عبارة عن أنبوب كوارتز بقطر 60 مم ؛ 4 قنوات متر تدفق الكتلة MFC مع مصادر غاز الميثان ، H2 ، O2 و N2 ؛ محطة التفريغ هي مضخة تفريغ دوارة دوارة 4 لتر / ثانية ، بحد أقصى. ضغط الفراغ يصل إلى 10 باسكال.
مزايا
- مصدر المطابقة الأوتوماتيكية لبلازما الترددات اللاسلكية ، خرج مستقر لنطاق طاقة خرج واسع من 5-500 وات
- يتوفر نظام انزلاق حجرة الفرن للتدفئة عالية السرعة والتبريد لوقت قصير والتبريد السريع الإضافي وحركة الانزلاق الأوتوماتيكية
- التحكم في درجة الحرارة القابلة للبرمجة PID ودقة التحكم الممتازة ودعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي
- التحكم في مقياس التدفق الكتلي عالي الدقة MFC ، الخلط المسبق لغازات المصدر وسرعة إمداد الغاز المستقرة
- شفة فراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منفذ تكييف مختلف لتلبية إعداد محطة مضخة فراغ مختلفة ، وختم جيد ودرجة فراغ عالية
- يطبق CTF Pro جهاز تحكم بشاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات وإعداد برنامج أكثر ملاءمة وتحليل بيانات التاريخ
تتوفر أنظمة درجات حرارة مختلفة وإعدادات CVD




ميزة السلامة
- يمتلك فرن الأنبوب Kindle Tech الحماية الحالية ووظيفة الإنذار بدرجة الحرارة الزائدة ، وسوف يقوم الفرن بإيقاف تشغيل الطاقة تلقائيًا
- بناء الفرن في وظيفة الكشف الحراري للزوجين ، سيتوقف الفرن عن التسخين وسيتم تشغيل الإنذار بمجرد كسره أو اكتشاف عطل
- يدعم PE Pro وظيفة إعادة تشغيل انقطاع التيار الكهربائي ، وسوف يستأنف الفرن برنامج تسخين الفرن عند وصول الطاقة بعد الفشل
المواصفات الفنية
نموذج الفرن | KT-PE12-60 |
الأعلى. درجة حرارة | 1200 ℃ |
درجة حرارة عمل ثابتة | 1100 |
مادة أنبوب الفرن | الكوارتز عالي النقاء |
قطر أنبوب الفرن | 60 ملم |
طول منطقة التسخين | 1x450 ملم |
مادة الغرفة | ألياف الألومينا اليابانية |
عنصر التسخين | لفائف الأسلاك Cr2Al2Mo2 |
معدل التسخين | 0-20 ℃ / دقيقة |
زوجان حراريان | بناء في نوع K. |
تحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID / جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ± 1 |
مسافة انزلاق | 600 ملم |
وحدة بلازما RF | |
انتاج الطاقة | 5 -500 واط قابل للتعديل بثبات ± 1٪ |
تردد RF | 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪ استقرار |
قوة الانعكاس | 350 واط كحد أقصى. |
مطابقة | تلقائي |
ضوضاء | <50 ديسيبل |
تبريد | تبريد الهواء. |
وحدة تحكم دقيقة بالغاز | |
عداد التدفق | مقياس تدفق الكتلة MFC |
قنوات الغاز | 4 قنوات |
معدل المد و الجزر | MFC1: 0-5SCCM O2.0 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
الخطية | ± 0.5٪ FS |
التكرار | ± 0.2٪ FS |
خط الأنابيب والصمام | ستانلس ستيل |
أقصى ضغط تشغيل | 0.45 ميجا باسكال |
تحكم مقياس التدفق | جهاز تحكم رقمي بمقبض / جهاز تحكم بشاشة تعمل باللمس |
وحدة تفريغ قياسية (اختيارية) | |
مضخة فراغ | مضخة فراغ دوارة دوارة |
معدل تدفق المضخة | 4 لتر / S. |
منفذ شفط فراغ | KF25 |
مقياس الفراغ | مقياس فراغ بيراني / مقاومة السيليكون |
ضغط الفراغ المقدر | 10 باسكال |
وحدة تفريغ عالية (اختياري) | |
مضخة فراغ | مضخة دوارة دوارة + مضخة جزيئية |
معدل تدفق المضخة | 4 لتر / ثانية + 110 لتر / ثانية |
منفذ شفط فراغ | KF25 |
مقياس الفراغ | مقياس الفراغ المركب |
ضغط الفراغ المقدر | 6x10-4Pa |
يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات أعلاه |
الحزمة القياسية
لا. | وصف | كمية |
1 | فرن | 1 |
2 | أنبوب الكوارتز | 1 |
3 | شفة فراغ | 2 |
4 | كتلة أنبوب الحرارية | 2 |
5 | أنبوب كتلة هوك الحرارية | 1 |
6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
7 | مصدر البلازما RF | 1 |
8 | تحكم دقيق بالغاز | 1 |
9 | وحدة فراغ | 1 |
10 | دليل التشغيل | 1 |
الإعداد الاختياري
- الكشف عن الغازات الأنبوبية ومراقبتها ، مثل H2 و O2 وما إلى ذلك
- مراقبة درجة حرارة الفرن المستقلة وتسجيلها
- منفذ اتصالات RS 485 للتحكم عن بعد في جهاز الكمبيوتر وتصدير البيانات
- أدخل التحكم في معدل تدفق الغازات ، مثل مقياس الجريان الكتلي ومقياس التدفق العائم
- وحدة تحكم في درجة حرارة شاشة تعمل باللمس مع وظائف متعددة الاستخدامات سهلة الاستخدام للمشغل
- تجهيزات محطة ضخ فراغ عالية ، مثل مضخة فراغ ريشة ، مضخة جزيئية ، مضخة نشر
تحذيرات
سلامة المشغل هي أهم قضية! يرجى تشغيل الجهاز بحذر. يعد العمل بالغازات القابلة للاشتعال والانفجار أو السامة أمرًا خطيرًا للغاية ، ويجب على المشغلين اتخاذ جميع الاحتياطات اللازمة قبل بدء تشغيل الجهاز. يعد العمل بالضغط الإيجابي داخل المفاعلات أو الغرف أمرًا خطيرًا ، ويجب على المشغل الالتزام بإجراءات السلامة بدقة. يجب أيضًا توخي الحذر الشديد عند العمل بمواد تفاعلية للهواء ، خاصة في حالة الفراغ. يمكن أن يؤدي التسرب إلى سحب الهواء إلى الجهاز مما يؤدي إلى حدوث رد فعل عنيف.
مصممة لك
تقدم KinTek خدمة ومعدات مخصصة عميقة للعملاء في جميع أنحاء العالم ، والعمل الجماعي المتخصص لدينا والمهندسون ذوو الخبرة الأثرياء قادرون على تنفيذ متطلبات أجهزة ومعدات البرمجيات المخصصة ، ومساعدة عملائنا على بناء المعدات والحلول الحصرية والشخصية!
هل تسمح بإسقاط أفكارك إلينا من فضلك ، مهندسونا جاهزون لك الآن!
FAQ
ما هي طريقة PECVD؟
ما هو الـ Mpcvd؟
ما هو استخدام PECVD؟
ما هي آلة Mpcvd؟
ما هي مزايا PECVD؟
ما هي مزايا Mpcvd؟
ما هو الفرق بين ALD و PECVD؟
هل ألماس الأمراض القلبية الوعائية حقيقي أم مزيف؟
ما هو الفرق بين PECVD والخرق؟
4.9
out of
5
I'm amazed by the quick delivery and the quality of the product. It's a game-changer for our lab.
4.8
out of
5
The Slide PECVD tube furnace has exceeded our expectations. It's a valuable addition to our research facility.
4.7
out of
5
This PECVD machine is a lifesaver! It has helped us achieve remarkable results in our research.
4.9
out of
5
The durability of this product is exceptional. It has withstood rigorous use in our lab.
4.8
out of
5
The technological advancements in this PECVD system have revolutionized our research capabilities.
4.7
out of
5
I highly recommend this product. It's worth every penny and has enhanced our research efficiency.
4.9
out of
5
The Slide PECVD tube furnace is a fantastic investment. It has accelerated our research progress significantly.
4.8
out of
5
This PECVD system is user-friendly and has simplified our research procedures.
4.7
out of
5
The technical support provided by KINTEK SOLUTION is outstanding. They're always ready to assist us.
4.9
out of
5
The Slide PECVD tube furnace has revolutionized our research methodology. It's a must-have for any lab.
4.8
out of
5
This PECVD machine is a game-changer. It has enabled us to achieve groundbreaking results in our research.
PDF - فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD
disabled = false, 3000)"> تنزيلكتالوج فرن Cvd و Pecvd
disabled = false, 3000)"> تنزيلكتالوج آلة Pecvd
disabled = false, 3000)"> تنزيلكتالوج آلة Mpcvd
disabled = false, 3000)"> تنزيلاطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة

صنع العميل آلة CVD متعددة الاستخدامات لفرن أنبوب CVD
احصل على فرن CVD الخاص بك مع الفرن متعدد الاستخدامات KT-CTF16. وظائف انزلاق ودوران وإمالة قابلة للتخصيص للحصول على تفاعلات دقيقة. اطلب الان!

RF PECVD نظام تردد الراديو ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
RF-PECVD هو اختصار لعبارة "ترسيب البخار الكيميائي المعزز ببلازما التردد اللاسلكي." ترسب مادة DLC (فيلم الكربون الشبيه بالماس) على ركائز الجرمانيوم والسيليكون. يتم استخدامه في نطاق الطول الموجي للأشعة تحت الحمراء 3-12um.

آلة الرنان الأسطوانية MPCVD لنمو المختبر والماس
تعرف على آلة الرنان الأسطواني MPCVD ، وهي طريقة ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما بالميكروويف المستخدمة في زراعة الأحجار الكريمة والأغشية الماسية في صناعات المجوهرات وأشباه الموصلات. اكتشف مزاياها الفعالة من حيث التكلفة مقارنة بأساليب HPHT التقليدية.

ماكينة ألماس MPCVD 915 ميجا هرتز
915 ميجا هرتز MPCVD الماس آلة الماس 915MHz ونموها الفعال متعدد البلورات، يمكن أن تصل المساحة القصوى إلى 8 بوصات، ويمكن أن تصل مساحة النمو الفعال القصوى للبلورة الواحدة إلى 5 بوصات. تُستخدم هذه المعدات بشكل أساسي لإنتاج أفلام الماس متعدد الكريستالات كبيرة الحجم، ونمو الماس أحادي البلورة الطويل، ونمو الجرافين عالي الجودة في درجات حرارة منخفضة، وغيرها من المواد التي تتطلب طاقة توفرها بلازما الميكروويف للنمو.

تمتع بتجربة التقطير قصير المسار الفعال وعالي الجودة 5 لتر مع الأواني الزجاجية المتينة من البورسليكات ، وغطاء التسخين السريع ، وجهاز التركيب الدقيق. قم باستخراج وتنقية السوائل المختلطة المستهدفة بسهولة في ظل ظروف تفريغ عالية. تعرف على المزيد حول مزاياها الآن!

اكتشف مزايا فرن التفريغ بالكبس الساخن! تصنيع المعادن والمركبات المقاومة للحرارة الكثيفة والسيراميك والمركبات تحت درجة حرارة وضغط مرتفعين.

فرن الغلاف الجوي بالهيدروجين KT-AH - فرن الغاز التعريفي للتلبيد / التلدين بميزات أمان مدمجة وتصميم غلاف مزدوج وكفاءة موفرة للطاقة. مثالية للمختبر والاستخدام الصناعي.

آلة كبس حراري أوتوماتيكية عالية الحرارة
المكبس الساخن بدرجة حرارة عالية هو آلة مصممة خصيصًا لكبس المواد وتلبيدها ومعالجتها في بيئة ذات درجة حرارة عالية. وهي قادرة على العمل في نطاق مئات الدرجات المئوية إلى آلاف الدرجات المئوية لمجموعة متنوعة من متطلبات المعالجة في درجات الحرارة العالية.

مبخر دوار سعة 0.5-1 لتر للاستخراج والطهي الجزيئي للطهي الجزيئي والمختبر
هل تبحث عن مبخر دوراني موثوق وفعال؟ يستخدم المبخر الدوراني 0.5-1L تسخين بدرجة حرارة ثابتة وتبخير غشاء رقيق لتنفيذ مجموعة من العمليات ، بما في ذلك إزالة وفصل المذيبات. مع المواد عالية الجودة وميزات السلامة ، فهو مثالي للمختبرات في الصناعات الدوائية والكيميائية والبيولوجية.

مكبس حراري يدوي بدرجة حرارة عالية
المكبس الساخن بدرجة حرارة عالية هو آلة مصممة خصيصًا لكبس المواد وتلبيدها ومعالجتها في بيئة ذات درجة حرارة عالية. وهي قادرة على العمل في نطاق مئات الدرجات المئوية إلى آلاف الدرجات المئوية لمجموعة متنوعة من متطلبات المعالجة في درجات الحرارة العالية.

تم تصميم أفران تلبيد الضغط الفراغي لتطبيقات الضغط الساخن ذات درجة الحرارة العالية في تلبيد المعادن والسيراميك. تضمن ميزاته المتقدمة التحكم الدقيق في درجة الحرارة، وصيانة موثوقة للضغط، وتصميمًا قويًا للتشغيل السلس.

معقم مساحة بيروكسيد الهيدروجين
معقم الفضاء ببيروكسيد الهيدروجين هو جهاز يستخدم بيروكسيد الهيدروجين المتبخر لتطهير المساحات المغلقة. يقتل الكائنات الحية الدقيقة عن طريق إتلاف مكوناتها الخلوية والمواد الوراثية.

فرن التلبيد بالبلازما الشرارة فرن SPS
اكتشف مزايا أفران التلبيد بالبلازما الشرارة لتحضير المواد بسرعة وبدرجة حرارة منخفضة. تسخين موحد ومنخفض التكلفة وصديق للبيئة.

فرن 1200 ℃ فرن الغلاف الجوي المتحكم فيه
اكتشف فرن الغلاف الجوي KT-12A Pro الذي يمكن التحكم فيه - غرفة تفريغ عالية الدقة وشديدة التحمّل، ووحدة تحكم ذكية متعددة الاستخدامات تعمل باللمس، وتوحيد ممتاز لدرجة الحرارة حتى 1200 درجة مئوية. مثالي للتطبيقات المعملية والصناعية على حد سواء.

فرن الصهر التعريفي بفرن القوس الفراغي غير القابل للاستهلاك
استكشف مزايا فرن القوس بالفراغ غير القابل للاستهلاك المزود بأقطاب كهربائية ذات نقطة انصهار عالية. صغير وسهل التشغيل وصديق للبيئة. مثالي للأبحاث المخبرية على المعادن المقاومة للصهر والكربيدات.

استخراج وتنقية السوائل المختلطة بسهولة باستخدام نظام التقطير قصير المسار 10 لتر. مكنسة كهربائية عالية وتسخين بدرجة حرارة منخفضة لنتائج مثالية.

قم بالاستخراج والتنقية بسهولة باستخدام مجموعة التقطير قصير المدى سعة 2 لتر. تضمن الأواني الزجاجية المصنوعة من البورسليكات شديدة التحمل ، وغطاء التسخين السريع ، وجهاز التركيب الدقيق تقطيرًا عالي الجودة وكفاءة. اكتشف المزايا اليوم!

المبخر الدوار 0.5-4 لتر للاستخراج، والطهي الجزيئي للطهي الجزيئي والمختبر
فصل المذيبات "منخفضة الغليان" بكفاءة باستخدام مبخر دوار 0.5-4 لتر. مصمم بمواد عالية الجودة ، مانع تسرب Telfon + Viton ، وصمامات PTFE لعملية خالية من التلوث.
المقالات ذات الصلة

ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD): دليل شامل
تعرّف على كل ما تحتاج إلى معرفته عن الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي (PECVD)، وهي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات. استكشف مبادئها وتطبيقاتها وفوائدها.

فهم PECVD: دليل لترسب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما
PECVD هي تقنية مفيدة لإنشاء أغشية رقيقة لأنها تسمح بترسيب مجموعة متنوعة من المواد ، بما في ذلك الأكاسيد والنتريد والكربيدات.

فرن PECVD حل منخفض الطاقة ومنخفض درجة الحرارة للمواد اللينة
أصبحت أفران PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) حلاً شائعًا لترسيب الأغشية الرقيقة على أسطح المواد اللينة.

مزايا استخدام فرن أنبوب CVD للطلاء
تتميز طلاءات CVD بالعديد من المزايا مقارنة بطرق الطلاء الأخرى ، مثل النقاوة العالية والكثافة والتوحيد ، مما يجعلها مثالية للعديد من التطبيقات في مختلف الصناعات.

دليل خطوة بخطوة لعملية PECVD
PECVD هو نوع من عمليات ترسيب البخار الكيميائي الذي يستخدم البلازما لتعزيز التفاعلات الكيميائية بين سلائف الطور الغازي والركيزة.

دور البلازما في طلاءات PECVD
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هو نوع من عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة التي تستخدم على نطاق واسع لإنشاء طلاءات على ركائز مختلفة. في هذه العملية ، يتم استخدام البلازما لإيداع أغشية رقيقة من مواد مختلفة على الركيزة.

دليل شامل لصيانة معدات PECVD
تعد الصيانة المناسبة لمعدات PECVD أمرًا بالغ الأهمية لضمان الأداء الأمثل وطول العمر والسلامة.

مقارنة أداء PECVD و HPCVD في تطبيقات الطلاء
على الرغم من استخدام كل من PECVD و HFCVD لتطبيقات الطلاء ، إلا أنهما يختلفان من حيث طرق الترسيب والأداء والملاءمة لتطبيقات محددة.

فهم طريقة PECVD
PECVD هي عملية ترسيب بخار كيميائي معزز بالبلازما وتستخدم على نطاق واسع في إنتاج الأغشية الرقيقة لتطبيقات مختلفة.

دليل شامل لأفران الأنبوب المنقسمة: التطبيقات والميزات
من الصحيح أن فرن الأنبوب المنفصل هو نوع من المعدات المختبرية التي تتكون من أنبوب أو غرفة مجوفة يمكن فتحها للسماح بإدخال وإزالة العينات أو المواد التي يتم تسخينها.

لماذا يعتبر PECVD ضروريًا لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة
PECVD (ترسيب البخار الكيميائي المحسن بالبلازما) هي تقنية شائعة لترسيب الأغشية الرقيقة تستخدم في تصنيع أجهزة الإلكترونيات الدقيقة.

دليل المبتدئين لأجهزة MPCVD
MPCVD (ترسيب البخار الكيميائي بالبلازما الميكروويف) هي عملية تستخدم لإيداع أغشية رقيقة من المواد على ركيزة باستخدام البلازما الناتجة عن أفران الميكروويف.