فرن CVD و PECVD
فرن أنبوب منزلق PECVD مع آلة تغويز سائل PECVD
رقم العنصر : KT-PE12
السعر يتغير بناءً على specs and customizations
- الأعلى. درجة حرارة
- 1200 ℃
- درجة حرارة عمل ثابتة
- 1100
- قطر أنبوب الفرن
- 60 ملم
- طول منطقة التسخين
- 1x450 ملم
- معدل التسخين
- 0-20 ℃ / دقيقة
- مسافة انزلاق
- 600 ملم
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع On-time Dispatch Guarantee.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! Leave a Message الحصول على الاقتباس السريع Via Whatsappالتطبيقات
يتكون نظام PECVD المنزلق KT-PE12 المزود بغاز سائل من مصدر بلازما RF بقدرة 500 وات وفرن منزلق TF-1200 و 4 وحدة تحكم بالغاز دقيقة MFC ومحطة تفريغ قياسية واحدة. نظام انزلاق سكة غرفة الفرن ، والذي يمكن أن يحقق الغرض من التسخين السريع والتبريد السريع ، يمكن تركيب مروحة تدوير الهواء القسري المساعدة الاختيارية لتسريع معدل التبريد ؛ حركة انزلاق اختيارية تعمل تلقائيًا ؛ الأعلى. درجة حرارة العمل تصل إلى 1200 درجة مئوية ، وأنبوب الفرن عبارة عن أنبوب كوارتز بقطر 60 مم ؛ 4 قنوات متر تدفق الكتلة MFC مع مصادر غاز الميثان ، H2 ، O2 و N2 ؛ محطة التفريغ هي مضخة تفريغ دوارة دوارة 4 لتر / ثانية ، بحد أقصى. ضغط الفراغ يصل إلى 10 باسكال.
مزايا
- مصدر المطابقة الأوتوماتيكية لبلازما الترددات اللاسلكية ، خرج مستقر لنطاق طاقة خرج واسع من 5-500 وات
- يتوفر نظام انزلاق حجرة الفرن للتدفئة عالية السرعة والتبريد لوقت قصير والتبريد السريع الإضافي وحركة الانزلاق الأوتوماتيكية
- التحكم في درجة الحرارة القابلة للبرمجة PID ودقة التحكم الممتازة ودعم التحكم عن بعد والتحكم المركزي
- التحكم في مقياس التدفق الكتلي عالي الدقة MFC ، الخلط المسبق لغازات المصدر وسرعة إمداد الغاز المستقرة
- شفة فراغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منفذ تكييف مختلف لتلبية إعداد محطة مضخة فراغ مختلفة ، وختم جيد ودرجة فراغ عالية
- يطبق CTF Pro جهاز تحكم بشاشة لمس TFT مقاس 7 بوصات وإعداد برنامج أكثر ملاءمة وتحليل بيانات التاريخ
تتوفر أنظمة درجات حرارة مختلفة وإعدادات CVD
ميزة السلامة
- يمتلك فرن الأنبوب Kindle Tech الحماية الحالية ووظيفة الإنذار بدرجة الحرارة الزائدة ، وسوف يقوم الفرن بإيقاف تشغيل الطاقة تلقائيًا
- بناء الفرن في وظيفة الكشف الحراري للزوجين ، سيتوقف الفرن عن التسخين وسيتم تشغيل الإنذار بمجرد كسره أو اكتشاف عطل
- يدعم PE Pro وظيفة إعادة تشغيل انقطاع التيار الكهربائي ، وسوف يستأنف الفرن برنامج تسخين الفرن عند وصول الطاقة بعد الفشل
المواصفات الفنية
| نموذج الفرن | KT-PE12-60 |
| الأعلى. درجة حرارة | 1200 ℃ |
| درجة حرارة عمل ثابتة | 1100 |
| مادة أنبوب الفرن | الكوارتز عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 ملم |
| طول منطقة التسخين | 1x450 ملم |
| مادة الغرفة | ألياف الألومينا اليابانية |
| عنصر التسخين | لفائف الأسلاك Cr2Al2Mo2 |
| معدل التسخين | 0-20 ℃ / دقيقة |
| زوجان حراريان | بناء في نوع K. |
| تحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID / جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ± 1 |
| مسافة انزلاق | 600 ملم |
| وحدة بلازما RF | |
| انتاج الطاقة | 5 -500 واط قابل للتعديل بثبات ± 1٪ |
| تردد RF | 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪ استقرار |
| قوة الانعكاس | 350 واط كحد أقصى. |
| مطابقة | تلقائي |
| ضوضاء | <50 ديسيبل |
| تبريد | تبريد الهواء. |
| وحدة تحكم دقيقة بالغاز | |
| عداد التدفق | مقياس تدفق الكتلة MFC |
| قنوات الغاز | 4 قنوات |
| معدل المد و الجزر | MFC1: 0-5SCCM O2.0 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| الخطية | ± 0.5٪ FS |
| التكرار | ± 0.2٪ FS |
| خط الأنابيب والصمام | ستانلس ستيل |
| أقصى ضغط تشغيل | 0.45 ميجا باسكال |
| تحكم مقياس التدفق | جهاز تحكم رقمي بمقبض / جهاز تحكم بشاشة تعمل باللمس |
| وحدة تفريغ قياسية (اختيارية) | |
| مضخة فراغ | مضخة فراغ دوارة دوارة |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر / S. |
| منفذ شفط فراغ | KF25 |
| مقياس الفراغ | مقياس فراغ بيراني / مقاومة السيليكون |
| ضغط الفراغ المقدر | 10 باسكال |
| وحدة تفريغ عالية (اختياري) | |
| مضخة فراغ | مضخة دوارة دوارة + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر / ثانية + 110 لتر / ثانية |
| منفذ شفط فراغ | KF25 |
| مقياس الفراغ | مقياس الفراغ المركب |
| ضغط الفراغ المقدر | 6x10-5Pa |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات أعلاه | |
الحزمة القياسية
| لا. | وصف | كمية |
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب الكوارتز | 1 |
| 3 | شفة فراغ | 2 |
| 4 | كتلة أنبوب الحرارية | 2 |
| 5 | أنبوب كتلة هوك الحرارية | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | مصدر البلازما RF | 1 |
| 8 | تحكم دقيق بالغاز | 1 |
| 9 | وحدة فراغ | 1 |
| 10 | دليل التشغيل | 1 |
