معدات الاخرق هي أداة متخصصة تستخدم في عملية تصنيع ترسيب الأغشية الرقيقة.
وهي تستخدم في المقام الأول في صناعات مثل أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية.
تعمل هذه المعدات عن طريق قذف الذرات من مادة مستهدفة على ركيزة من خلال قصف جسيمات عالية الطاقة.
6 نقاط أساسية لفهم معدات الاخرق
1. بيئة الفراغ
تتطلب عملية الاخرق بيئة تفريغ الهواء لتقليل وجود غازات أخرى يمكن أن تتداخل مع عملية الترسيب.
وعادةً ما يكون مستوى التفريغ في جهاز الرش بالمطاط أعلى من ذلك المطلوب في طرق الترسيب الأخرى مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD).
وهذا يتطلب نظام تفريغ عالي الفعالية.
2. مقدمة الغاز الخامل
يتم إدخال كمية صغيرة من الغاز الخامل، عادةً الأرجون، في غرفة التفريغ.
ويتم اختيار الأرجون لأنه خامل ولا يتفاعل مع المادة المستهدفة أو الركيزة.
وهذا يضمن أن يكون الترسيب نقيًا وغير ملوث.
3. وضع الهدف والركيزة
يتم وضع المادة المستهدفة، وهي مصدر الذرات التي سيتم ترسيبها، والركيزة التي سيحدث فيها الترسيب، في الغرفة.
وعادةً ما يتم وضعهما مقابل بعضهما البعض، حيث تتلقى المادة المستهدفة شحنة سالبة لتعمل كقطب سالب.
4. تطبيق الجهد
يتم تطبيق الجهد بين الهدف والركيزة، والذي يمكن أن يكون في شكل تيار مباشر (DC) أو تردد لاسلكي (RF) أو تردد متوسط.
يعمل هذا الجهد على تأيين غاز الأرجون، مما يخلق أيونات الأرجون والإلكترونات الحرة.
5. التأين والرش
تتصادم الإلكترونات الحرة مع ذرات الأرجون، مما يؤدي إلى تأينها وتكوين بلازما.
ثم يتم تسريع أيونات الأرجون الموجبة الشحنة نحو المادة المستهدفة السالبة الشحنة بسبب المجال الكهربائي.
عندما تصطدم هذه الأيونات بالهدف، فإنها تنقل طاقتها، مما يؤدي إلى طرد الذرات من الهدف.
6. الترسيب على الركيزة
تنتقل الذرات المقذوفة عبر الفراغ وتترسب على الركيزة مكونة طبقة رقيقة.
ويمكن التحكم في هذه العملية لإنشاء أغشية من مواد مختلفة، بما في ذلك المواد ذات درجات الانصهار العالية والسبائك، والتي يصعب ترسيبها باستخدام طرق أخرى.
مواصلة الاستكشاف، استشر خبرائنا
هل أنت مستعد لإحداث ثورة في عملية ترسيب الأغشية الرقيقة؟ استفد من دقة ونقاء معدات الترسيب الرقيق من KINTEK SOLUTION المتطورة.
مصممة لتقديم أداء استثنائي في صناعات أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأجهزة البصرية.
من خلال تقنيتنا المتطورة، اختبر جودة ترسيب لا مثيل لها، وارفع من قدراتك التصنيعية اليوم.
ثق بشركة KINTEK SOLUTION لتلبية احتياجاتك من معدات الرش بالتبخير واكتشف الفرق في كل طبقة تقوم بإيداعها.
اتصل بنا الآن للحصول على استشارة وابدأ رحلتك إلى إنتاج الأغشية الرقيقة المتفوقة!
