ويتمثل العيب الرئيسي لأنظمة التبخير الحراري في مستويات الشوائب العالية والأغشية منخفضة الكثافة الناتجة عنها. ويمكن التخفيف من هذه المشكلة إلى حد ما باستخدام مصادر المساعدة الأيونية، ولكنها تظل قيدًا كبيرًا.
مستويات الشوائب العالية:
تميل أنظمة التبخير الحراري إلى إظهار أعلى مستويات الشوائب بين طرق الترسيب بالبخار الفيزيائي (PVD). ويرجع ذلك في المقام الأول إلى أن العملية تنطوي على تسخين المادة المصدر إلى درجة حرارة عالية في غرفة تفريغ. وأثناء عملية التسخين هذه، يمكن أن تتبخر أي شوائب أو ملوثات موجودة في المادة المصدر وتصبح جزءًا من الفيلم المترسب. ويمكن أن يؤدي ذلك إلى أفلام ذات جودة رديئة، مما يؤثر على أدائها في التطبيقات التي تتطلب نقاءً عاليًا.الأفلام منخفضة الكثافة:
غالبًا ما تكون الأغشية الناتجة عن التبخير الحراري منخفضة الكثافة، مما يعني أنها قد لا تلتصق جيدًا بالركيزة ويمكن أن تكون مسامية. يمكن أن تؤثر هذه المسامية على الخواص الميكانيكية والكهربائية للفيلم، مما يجعله أقل ملاءمة للتطبيقات التي تتطلب فيلمًا كثيفًا وموحدًا. تساهم الكثافة المنخفضة أيضًا في ارتفاع مستويات الشوائب، حيث يمكن أن تحبس المسام الشوائب أو تسمح لها بالانتقال عبر الفيلم.
التخفيف باستخدام المساعدة الأيونية:
