في ترسيب الرذاذ، يكون الغاز الأساسي المستخدم في الترسيب الرذاذيذ هو غاز خامل، عادةً الأرجون، بسبب وزنه الجزيئي العالي وخصائصه الفعالة في نقل الزخم. وبالنسبة للعناصر الأخف، يُفضل استخدام النيون، بينما يُستخدم الكريبتون أو الزينون للعناصر الأثقل. يمكن أيضًا استخدام الغازات التفاعلية مثل الأكسجين أو النيتروجين عندما تتطلب العملية تكوين مركبات.
الأرجون كغاز رش أولي:
يشيع استخدام الأرجون في ترسيب الرذاذ لأنه غاز خامل لا يتفاعل كيميائياً مع المادة المستهدفة أو الركيزة. وزنه الجزيئي العالي مقارنةً بالغازات الخاملة الأخرى مثل الهيليوم أو النيون يجعله أكثر فعالية في نقل الزخم إلى المادة المستهدفة، وبالتالي تعزيز كفاءة الاخرق. ويحدث نقل الزخم هذا عندما تتصادم أيونات الأرجون، التي يتم تسريعها بواسطة مجال كهربائي، مع المادة المستهدفة، مما يتسبب في طرد الذرات أو الجزيئات وترسيبها على الركيزة.استخدام النيون والكريبتون والزينون:
بالنسبة للمواد المستهدفة الأخف وزنًا، يُستخدم النيون أحيانًا كغاز رش لأن وزنه الذري أقرب إلى وزن العناصر الأخف، مما يحسن عملية نقل الزخم. وبالمثل، بالنسبة للمواد المستهدفة الأثقل، يُفضَّل استخدام الكريبتون أو الزينون نظرًا لقرب وزنهما الذري من هذه العناصر، مما يضمن كفاءة أكبر في عملية الاخرق.
الغازات التفاعلية في ترسيب الرذاذ:
عندما يكون الهدف من عملية الترسيب هو إنشاء مركب بدلاً من عنصر نقي، يتم إدخال غازات تفاعلية مثل الأكسجين أو النيتروجين في الغرفة. وتتفاعل هذه الغازات كيميائياً مع ذرات الرذاذ، إما على سطح الهدف أو أثناء الطيران أو على الركيزة لتكوين المركب المطلوب. ويُعد اختيار هذه الغازات التفاعلية والتحكم فيها أمرًا بالغ الأهمية لأنها تؤثر بشكل مباشر على التركيب الكيميائي للفيلم المترسب وخصائصه.
