فريق التقنية · Kintek Solution

لقياس سُمك الأغشية الرقيقة باستخدام الفحص المجهري الإلكتروني بالمسح الضوئي (SEM)، عادةً ما يتم استخدام نهج المقطع العرضي.ويتضمن ذلك تحضير عينة عن طريق قطعها بشكل عمودي على سطح الفيلم لكشف مقطع عرضي.ثم تُصوَّر العينة بعد ذلك باستخدام SEM، مما يوفر صورًا عالية الدقة تسمح بقياس سمك الفيلم بدقة.هذه الطريقة مفيدة بشكل خاص للأفلام الرقيقة جداً أو المعقدة جداً بالنسبة للتقنيات الأخرى مثل انعكاسية الأشعة السينية أو قياس الإهليلج.الميزة الرئيسية لطريقة SEM هي قدرتها على توفير دليل مرئي مباشر على بنية الفيلم وسماكته بدقة عالية جداً.

شرح النقاط الرئيسية:

1. تحضير العينة:

   • الخطوة الأولى في قياس سُمك الغشاء الرقيق باستخدام SEM هي تحضير العينة.يتضمن ذلك عادةً قطع العينة بشكل عمودي على سطح الفيلم لإنشاء مقطع عرضي.يجب أن يكون هذا المقطع العرضي مصقولاً لضمان سطح أملس للتصوير الدقيق.

2. التصوير باستخدام SEM:

   • بمجرد تحضير العينة، يتم وضعها في جهاز SEM.يستخدم جهاز SEM حزمة مركزة من الإلكترونات لمسح سطح العينة.ينتج عن تفاعل الإلكترونات مع العينة إشارات مختلفة يمكن استخدامها لإنشاء صورة لسطح العينة.لقياس السُمك، تُستخدم إشارة الإلكترون الثانوية بشكل شائع لأنها توفر معلومات طبوغرافية مفصلة.

3. قياس السُمك:

   • تسمح الصور عالية الدقة التي يتم الحصول عليها من SEM بقياس سمك الطبقة الرقيقة بدقة.ويتم ذلك عادةً عن طريق قياس المسافة من السطح العلوي للفيلم إلى الركيزة في صورة SEM.يمكن استخدام أدوات برمجية لتعزيز دقة هذه القياسات.

4. مزايا استخدام SEM لقياس سماكة الأغشية الرقيقة:

   • الدقة العالية: يوفر SEM صورًا عالية الدقة للغاية، وهو أمر بالغ الأهمية لقياس الأغشية الرقيقة جدًا بدقة.
   • التصور المباشر: على عكس بعض الطرق الأخرى، يسمح التصوير المقطعي المحوسب SEM بالتصوير المباشر للفيلم وتفاعله مع الركيزة، مما يوفر دليلاً واضحاً على بنية الفيلم.
   • تعدد الاستخدامات: يمكن استخدام SEM على مجموعة واسعة من المواد، مما يجعلها أداة متعددة الاستخدامات لتحليل الأغشية الرقيقة.

5. الاعتبارات والقيود:

   • إعداد العينة: يمكن أن تكون الحاجة إلى إعداد العينة بعناية قيدًا، حيث يمكن أن يؤدي الإعداد غير السليم إلى قياسات غير دقيقة.
   • التكلفة وسهولة الوصول: معدات SEM باهظة الثمن وتتطلب مشغلين مهرة، مما قد يحد من إمكانية الوصول إليها بالنسبة لبعض المستخدمين.
   • بيئة التفريغ: يتطلب SEM بيئة تفريغ الهواء، والتي قد لا تكون مناسبة لجميع أنواع العينات.

من خلال اتباع هذه الخطوات والاعتبارات، يمكن استخدام SEM بشكل فعال لقياس سُمك الأغشية الرقيقة، مما يوفر معلومات قيمة لمختلف التطبيقات في علوم المواد والهندسة.

جدول ملخص:

الخطوة	الوصف
تحضير العينة	قطع العينة بشكل عمودي على سطح الفيلم وتلميعها للحصول على تصوير سلس.
التصوير باستخدام SEM	استخدم SEM لمسح العينة باستخدام شعاع إلكتروني للحصول على صور عالية الدقة.
قياس السُمك	قياس المسافة من سطح الفيلم إلى الركيزة في صور SEM.
المزايا	دقة عالية، وتصوير مباشر، وتعدد استخدامات المواد المختلفة.
القيود	يتطلب إعدادًا دقيقًا ومعدات مكلفة وبيئة مفرغة من الهواء.

هل تحتاج إلى مساعدة في قياس سُمك الغشاء الرقيق باستخدام SEM؟ اتصل بخبرائنا اليوم للحصول على حلول مصممة خصيصاً لك!