ويتأثر معدل الترسيب في ترسيب الأغشية الرقيقة بالعديد من العوامل، بما في ذلك نوع تقنية الترسيب المستخدمة، وبارامترات عملية الترسيب، وخصائص المواد المستخدمة. يمكن أن تؤثر هذه العوامل بشكل كبير على جودة وتوحيد وكفاءة الطبقة الرقيقة المنتجة.
تكنولوجيا وتقنيات الترسيب:
يؤثر اختيار تقنية الترسيب بشكل مباشر على معدل الترسيب. على سبيل المثال، توفر طرق التبخير الحراري عمومًا معدلات تبخير أسرع مقارنةً بالتبخير بالرش. يمكن لتقنيات مثل التبخير الومضي، التي تستخدم البوتقات، ترسيب أغشية أكثر سمكًا بسبب الأحجام الكبيرة التي يمكنها التعامل معها. من ناحية أخرى، يسمح التبخير بالحزمة الإلكترونية بالتحكم الدقيق في معدل التبخر، مما يجعلها مناسبة لترسيب المركبات الكيميائية المعقدة أو المركبات ذات التركيبات المعروفة.معلمات العملية:
- يمكن ضبط العديد من معلمات العملية للتأثير على معدل الترسيب. وتشمل هذه المعلمات:
- الضغط والفراغ: تؤثر جودة التفريغ على نقاء الفيلم المترسب، حيث تقلل معدلات الترسيب الأعلى من إدراج الشوائب الغازية. ويؤثر الضغط في غرفة التفاعل أيضًا على خشونة الفيلم.
- درجة الحرارة: تلعب درجة حرارة الركيزة دورًا حاسمًا في وقت الترسيب الأولي ومعدل النمو. تؤدي درجات الحرارة المنخفضة إلى نمو أبطأ للفيلم وزيادة خشونة السطح، بينما تؤدي درجات الحرارة المرتفعة إلى تسريع عملية الترسيب وتقليل الخشونة.
- نوع الغاز وتدفقه: يمكن أن يؤثر نوع الغاز المستخدم ومعدل تدفقه على معدل الترسيب وتوحيد الفيلم.
الكثافة الحالية والانحياز: يمكن أن تؤثر هذه المعلمات الكهربائية على طاقة جزيئات الترسيب، مما يؤثر على معدل الترسيب وجودته.
خصائص المواد:
تؤثر أيضًا خصائص المواد التي يتم ترسيبها، مثل تفاعليتها وتطايرها ونقائها، على معدل الترسيب. على سبيل المثال، المواد المقاومة للحرارة مثل التنجستن من الصعب ترسيبها باستخدام طرق لا تنطوي على تسخين شعاع الإلكترون. يمكن أن يؤثر نقاء المادة المصدر وهندسة غرفة التبخير أيضًا على سمك وتوحيد الطبقة المترسبة.
التحسين والتحكم:
