MPCVD
معدات رسم طلاء نانو الماس HFCVD
رقم العنصر : MP-CVD-100
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
اطلب عرض السعر المخصص الخاص بك 👋
احصل على عرض أسعارك الآن! ترك رسالة الحصول على الاقتباس السريع Via الدردشة عبر الإنترنتطلب
مبدأ عمل الماس هو ترسيب البخار الكيميائي HFCVD: مزج جو يحتوي على الكربون مع الهيدروجين المفرط، وتنشيطه بطريقة معينة، ثم تمريره عبر تكوين جو معين، وطاقة التنشيط، ودرجة حرارة الركيزة، والمسافة بين الركيزة و مصدر التنشيط، وما إلى ذلك. في ظل هذه الظروف، يتم ترسيب فيلم الماس على السطح السفلي. من المعتقد عمومًا أن نواة ونمو أفلام الماس يمكن تقسيمها إلى ثلاث مراحل:
- يتحلل الغاز المحتوي على الكربون وغاز الرادون إلى ذرات الكربون والهيدروجين ومجموعات حرة نشطة أخرى عند درجة حرارة معينة. تتحد مع المصفوفة لتشكل أولاً طبقة انتقالية رقيقة جدًا من الكربيد.
- تودع ذرات الكربون نوى الماس على الطبقة الانتقالية المتكونة على الركيزة.
- تنمو النواة البلورية الماسية المتكونة إلى قطعة صغيرة من الماس في ظل بيئة مناسبة، ثم تنمو لتصبح فيلمًا ماسيًا.
التفاصيل والأجزاء
المواصفات الفنية
| التركيب الفني لـ HFCVD | ||
| المعايير الفنية | تكوين المعدات | أعدادات النظام |
| الجرس: ضياء. 500 مم، الارتفاع 550 مم، غرفة الفولاذ المقاوم للصدأ SUS304؛ عزل الجلد الداخلي من الفولاذ المقاوم للصدأ، ارتفاع الرفع 350 مم؛ | مجموعة من حجرة التفريغ (جرة الجرس) الجسم الرئيسي (هيكل تبريد الماء المغلف) | الجسم الرئيسي لغرفة الفراغ (جرة الجرس) ؛ التجويف مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 عالي الجودة ؛ جرة الجرس العمودية: يتم تثبيت سترة تبريد المياه المغلفة على المحيط العام لجرة الجرس. الجدار الداخلي لجرة الجرس معزول بجلد من الفولاذ المقاوم للصدأ، وجرة الجرس مثبتة على الجانب. تحديد المواقع دقيقة ومستقرة. نافذة المراقبة: مرتبة أفقيًا في منتصف الحجرة المفرغة نافذة مراقبة 200 مم، تبريد مائي، حاجز، تكوين جانبي وعلوي زاوية مائلة 45 درجة، نافذة مراقبة 50 درجة (لاحظ نفس النقطة مثل نافذة المراقبة الأفقية، ومنصة دعم العينة ); تحافظ نافذتا المراقبة على الموضع والحجم الحاليين. قاع الجرة أعلى بمقدار 20 مم من مستوى المقعد، مع ضبط التبريد؛ الثقوب المحفوظة على الطائرة، مثل الصمامات الكبيرة، وصمامات إطلاق الهواء، وقياس ضغط الهواء، والصمامات الالتفافية، وما إلى ذلك، مغلقة بشبكة معدنية ومخصصة لتثبيت واجهة الأقطاب الكهربائية؛ |
| طاولة المعدات: الطول 1550 * العرض 900 * الارتفاع 1100 ملم | مجموعة واحدة من جهاز جدول عينة السحب (اعتماد محرك مزدوج المحور) | جهاز حامل العينة: حامل العينة من الفولاذ المقاوم للصدأ (تبريد مياه اللحام) جهاز ذو 6 أوضاع؛ يمكن تعديله بشكل منفصل، فقط التعديل لأعلى ولأسفل، نطاق التعديل لأعلى ولأسفل هو 25 مم، ويلزم أن يكون الاهتزاز الأيسر والأيمن أقل من 3% عند الصعود لأعلى ولأسفل (أي الاهتزاز الأيسر والأيمن الارتفاع أو الانخفاض بمقدار 1 مم أقل من 0.03 مم)، ولا تدور مرحلة العينة عند الارتفاع أو الانخفاض. |
| درجة الفراغ النهائية: 2.0×10-1Pa؛ | مجموعة من نظام الفراغ | نظام الفراغ: تكوين نظام الفراغ: مضخة ميكانيكية + صمام فراغ + صمام نزف مادي + أنبوب العادم الرئيسي + ممر جانبي؛ (مقدم من مورد مضخة التفريغ)، يستخدم صمام التفريغ صمامًا هوائيًا؛ قياس نظام الفراغ: ضغط الغشاء. |
| معدل ارتفاع الضغط: ≥5Pa/h؛ | نظام إمداد الغاز بمقياس التدفق الشامل بقناتين | نظام إمداد الغاز: يتم تكوين مقياس التدفق الكتلي بواسطة الطرف B، مدخل هواء ثنائي الاتجاه، يتم التحكم في معدل التدفق بواسطة مقياس التدفق الكتلي، بعد الاجتماع ثنائي الاتجاه، يدخل غرفة التفريغ من الأعلى، ومن الداخل أنبوب سحب الهواء 50 مم |
| نموذج لحركة الطاولة: النطاق لأعلى ولأسفل هو ± 25 مترًا؛ مطلوب هز نسبة اليسار واليمين عند أعلى وأسفل بنسبة ± 3%؛ | مجموعة واحدة من جهاز القطب الكهربائي (قناتان) | جهاز القطب الكهربائي: اتجاه طول فتحات القطب الأربعة موازٍ لاتجاه طول منصة الدعم، واتجاه الطول يواجه نافذة المراقبة الرئيسية بقطر 200 مم. |
| ضغط العمل: استخدم مقياس ضغط الغشاء، نطاق القياس: 0 ~ 10 كيلو باسكال؛ ثابت العمل عند 1 كيلو باسكال ~ 5 كيلو باسكال، تتغير قيمة الضغط الثابت زائد أو ناقص 0.1 كيلو باسكال؛ | مجموعة من نظام مياه التبريد | نظام مياه التبريد: تم تجهيز كل من الجرس والأقطاب الكهربائية واللوحة السفلية بأنابيب تبريد المياه المتداولة، كما أنها مجهزة بجهاز إنذار لتدفق المياه غير الكافي 3.7: نظام التحكم. يتم وضع المفاتيح والأدوات والأدوات وإمدادات الطاقة لرفع الجرس والتفريغ ومضخة التفريغ والطريق الرئيسي والالتفافية والإنذار والتدفق وضغط الهواء وما إلى ذلك على جانب الحامل، ويتم التحكم فيها بواسطة شاشة تعمل باللمس مقاس 14 بوصة ; يحتوي الجهاز على برنامج تحكم أوتوماتيكي بالكامل دون تدخل يدوي، ويمكنه تخزين البيانات وبيانات الاتصال |
| موضع سحب الهواء: يقع مدخل الهواء في الجزء العلوي من الجرس، ويقع موضع منفذ العادم مباشرة أسفل حامل العينة؛ | نظام التحكم | |
| نظام التحكم: جهاز تحكم PLC + شاشة لمس 10 بوصة | مجموعة من نظام التحكم في الضغط الأوتوماتيكي (صمام التحكم في الضغط الأصلي مستورد من ألمانيا) | |
| نظام التضخم: 2 قنوات مقياس التدفق الشامل، نطاق التدفق: 0-2000cccm و0-200cccm؛ صمام صمام هوائي | مقياس فراغ المقاومة | |
| 3.1.10 مضخة التفريغ: مضخة التفريغ D16C | ||
مزايا
يستخدم قالب سحب الطلاء المركب المصنوع من الماس النانوي كربيد الأسمنت (WC-Co) كركيزة، ويستخدم طريقة طور البخار الكيميائي (طريقة CVD باختصار) لتغليف الطلاء المركب التقليدي من الماس والماس النانو على سطح الجزء الداخلي. ثقب القالب. ومنتج جديد تمامًا تم الحصول عليه بعد طحن وتلميع الطلاء. لا يتميز الطلاء المركب المصنوع من الألماس النانوي المطلي على سطح الثقب الداخلي بخصائص الالتصاق القوي ومقاومة التآكل للطلاء الماسي التقليدي فحسب، بل يتمتع أيضًا بمزايا السطح المسطح والسلس لطلاء الماس النانوي والاحتكاك الصغير معامل وسهولة الطحن والتلميع. تكنولوجيا الطلاء لا تحل المشكلة الفنية المتمثلة في التصاق الطلاء فحسب، بل تخترق أيضًا عنق الزجاجة المتمثل في أنه ليس من السهل تلميع سطح طلاء الماس، وتزيل العوائق التي تحول دون تصنيع فيلم الماس CVD.
المؤشرات الفنية | يموت الرسم التقليدي | قالب رسم مطلي بالماس النانو |
طلاء حجم الحبوب السطحية | لا أحد | 20 ~ 80 نانومتر |
طلاء محتوى الماس | لا أحد | ≥99% |
سمك طلاء الماس | لا أحد | 10 ~ 15 ملم |
خشونة السطح | را ≥0.1 ملم | الفئة أ: Ra<0.1mm الفئة ب: Ra<0.05mm |
طلاء الرسم يموت نطاق قطر الثقب الداخلي | Ф3 ~ Ф70 ملم | Ф3 ~ Ф70 ملم |
عمر الخدمة | العمر الافتراضي يعتمد على ظروف العمل | 6-10 مرات أطول |
معامل الاحتكاك السطحي | 0.8 | 0.1 |
