تشمل عيوب الترسيب بالحزمة الأيونية مساحة مستهدفة صغيرة، ومعدلات ترسيب منخفضة، وتعقيد المعدات وتكلفتها العالية. بالإضافة إلى ذلك، فإن تحقيق سمك موحد على مساحات كبيرة يمثل تحديًا، ويمكن أن تكون هناك مشاكل في تسخين الركيزة وإجهاد الفيلم.
المساحة المستهدفة الصغيرة ومعدلات الترسيب المنخفضة:
يتميز ترسيب الرش بالحزمة الأيونية بمساحة مستهدفة صغيرة نسبيًا للقصف، مما يؤثر بشكل مباشر على معدل الترسيب. هذه الطريقة ليست فعالة في ترسيب أفلام ذات مساحة كبيرة بسماكة موحدة. ومعدلات الترسيب للعازلات منخفضة بشكل خاص، حيث تتراوح بين 1-10 Å/ثانية، مما قد يعيق كفاءة العملية، خاصة في التطبيقات عالية الإنتاجية.ارتفاع تعقيد المعدات والتكلفة:
المعدات المستخدمة في رش الحزمة الأيونية معقدة، وتتطلب أنظمة متطورة لإدارة الحزمة الأيونية وعملية الترسيب. ولا يزيد هذا التعقيد من الاستثمار الأولي فحسب، بل يزيد أيضاً من تكاليف التشغيل المستمرة. يمكن أن تكون تكلفة النظام المرتفعة وتعقيده عائقاً كبيراً أمام المؤسسات التي تفكر في هذه التقنية، خاصة تلك التي تعاني من قيود الميزانية.
التحديات المتعلقة بالتوحيد وتسخين الركيزة:
غالبًا ما يكون تحقيق القصف الأيوني الموحد على سطح الركيزة أمرًا صعبًا، مما يؤدي إلى اختلافات في خصائص الفيلم عبر السطح. ويمكن أن يؤثر عدم التوحيد هذا على جودة وأداء الأفلام المودعة. وبالإضافة إلى ذلك، يمكن أن تتسبب المادة المستهدفة النشطة في تسخين مفرط للركيزة، مما قد يؤدي إلى تلف الركيزة أو يؤثر سلبًا على خصائص الفيلم.
مشاكل إجهاد الفيلم ودمج الغازات:
