الاسبترنج هو عملية ترسيب غشاء رقيق حيث يتم طرد الذرات من مادة مستهدفة بسبب قصفها بجسيمات عالية الطاقة ثم ترسيبها على ركيزة. وتستخدم هذه العملية على نطاق واسع في صناعات مثل أشباه الموصلات ومحركات الأقراص والأقراص المدمجة والأجهزة البصرية.
شرح مفصل:
-
آلية الاخرق:
-
يتضمن الاخرق استخدام بلازما من الجسيمات أو الأيونات عالية الطاقة التي تضرب سطح هدف صلب. ويتسبب هذا القصف في طرد الذرات من الهدف. ثم تنتقل الذرات المقذوفة عبر الفراغ وتترسب على ركيزة مكونة طبقة رقيقة. هذه العملية هي نوع من ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، مما يعني أن الترسيب يحدث من خلال وسائل فيزيائية وليس كيميائية.التطور التاريخي:
-
لوحظت ظاهرة الاخرق لأول مرة في القرن التاسع عشر من قبل علماء مثل غروف وفاراداي. ومع ذلك، لم تصبح عملية الاخرق عملية صناعية مهمة حتى منتصف القرن العشرين، خاصة مع تطوير تقنيات مثل ألواح الحلاقة المرشوشة بالكروم في الستينيات. وقد تطور الفهم النظري والتطبيقات العملية لعملية الاخرق بشكل كبير منذ اكتشافها، مع التقدم في تكنولوجيا التفريغ وفيزياء البلازما.
-
أنواع الاخرق:
-
هناك العديد من الاختلافات في عملية الاخرق، بما في ذلك الاخرق الكاثودي، واخرق الصمام الثنائي، واخرق الترددات اللاسلكية أو التيار المستمر، واخرق الحزمة الأيونية، واخرق الحزمة التفاعلية، واخرق التفاعلية. على الرغم من اختلاف الأسماء والتقنيات المحددة، تتضمن جميع هذه الطرق بشكل أساسي طرد الذرات من المادة المستهدفة بسبب القصف الأيوني.التطبيقات:
يعد الاخرق أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع الأغشية الرقيقة ذات الخصائص الدقيقة، مثل تلك اللازمة في أشباه الموصلات والأجهزة البصرية والطلاءات الدقيقة. وتشتهر الأغشية التي يتم إنتاجها عن طريق الاخرق بتجانسها الممتاز وكثافتها والتصاقها، مما يجعلها مناسبة لمجموعة واسعة من التطبيقات التي تكون فيها هذه الخصائص ضرورية.
