فريق التقنية · Kintek Solution

مضخة التفريغ بالانتشار هي نوع من مضخات التفريغ التي تعمل على مبدأ انتشار الغاز لتحقيق مستويات تفريغ عالية.وعلى عكس المضخات الميكانيكية، فهي لا تعتمد على أجزاء متحركة لضغط الغاز.وبدلاً من ذلك، تستخدم المضخة نفاثة عالية السرعة من البخار (غالباً ما تكون من الزيت أو الزئبق) لحبس جزيئات الغاز وتوجيهها نحو العادم، مما يخلق فرقاً في الضغط.وتسمح هذه العملية للمضخة بتحقيق ضغوط منخفضة للغاية، مما يجعلها مناسبة لتطبيقات التفريغ العالي في صناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات ومختبرات الأبحاث ومحاكاة الفضاء.غالبًا ما يتم إقران مضخات التفريغ بالانتشار بمضخة تفريغ مساندة، مثل مضخة التفريغ الغشائية للتعامل مع نطاقات الضغط الأعلى قبل أن تتولى مضخة التفريغ الغشائي.

شرح النقاط الرئيسية:

1. مبدأ عمل مضخة تفريغ الهواء بالانتشار:

   • تعمل مضخات التفريغ بالانتشار باستخدام نفاثة عالية السرعة من البخار (عادةً الزيت أو الزئبق) لحبس جزيئات الغاز من غرفة التفريغ.
   • يخلق بخار البخار النفاث تدرجًا في الضغط، موجهًا جزيئات الغاز نحو العادم، حيث تتم إزالتها بواسطة مضخة تفريغ داعمة.
   • لا تعتمد هذه العملية على الضغط الميكانيكي، مما يجعلها مناسبة لتحقيق مستويات تفريغ فائقة الارتفاع.

2. المكونات الرئيسية:

   • :: مصدر البخار:تستخدم المضخة سائلًا ساخنًا (زيت أو زئبق) لتوليد نفاثة البخار.
   • نظام الفوهة:يتم توجيه البخار من خلال فوهات لتكوين نفاثة عالية السرعة.
   • نظام التبريد:تقوم آلية تبريد بتكثيف البخار مرة أخرى إلى سائل، مما يسمح بإعادة استخدامه.
   • مضخة دعم:A مضخة تفريغ الحجاب الحاجز أو جهاز مشابه غالبًا ما يُستخدم لتقليل الضغط إلى مستوى يمكن لمضخة التفريغ الغشائي أن تعمل فيه مضخة التفريغ بفعالية.

3. المزايا:

   • مستويات التفريغ العالي:يمكن لمضخات الانتشار أن تحقق ضغوطًا منخفضة تصل إلى 10^7 إلى 10^10 تور، مما يجعلها مثالية لتطبيقات التفريغ العالي.
   • لا توجد أجزاء متحركة:يقلل غياب المكونات الميكانيكية من البلى، مما يؤدي إلى انخفاض متطلبات الصيانة.
   • مقاومة المواد الكيميائية:عند استخدام السوائل المستقرة كيميائياً، يمكن لهذه المضخات التعامل مع الغازات المسببة للتآكل.

4. التطبيقات:

   • تصنيع أشباه الموصلات:تُستخدم في عمليات مثل ترسيب الأغشية الرقيقة والحفر، حيث يكون التفريغ العالي أمرًا بالغ الأهمية.
   • مختبرات الأبحاث:مثالية للتجارب التي تتطلب تفريغًا عاليًا للغاية، مثل علوم السطح وفيزياء الجسيمات.
   • محاكاة الفضاء:تستخدم لمحاكاة ظروف التفريغ في الفضاء لاختبار مكونات المركبة الفضائية.

5. مقارنة مع مضخات التفريغ الغشائية:

   • بينما تتفوق مضخات الانتشار في تطبيقات التفريغ العالي, مضخات التفريغ الغشائية مناسبة بشكل أفضل لمستويات التفريغ المنخفضة إلى المتوسطة.
   • مضخات الحجاب الحاجز خالية من الزيت ومقاومة كيميائياً، مما يجعلها مثالية للتطبيقات التي يكون فيها التلوث مصدر قلق، كما هو الحال في الصناعات الغذائية ومستحضرات التجميل والصناعات الكيميائية.
   • تتطلب مضخات الانتشار مضخة دعم، وغالبًا ما تكون مضخة غشائية، للتعامل مع نطاقات الضغط الأعلى قبل أن تعمل بفعالية.

6. الصيانة والقيود:

   • تتطلب مضخات الانتشار صيانة دورية لأنظمة التسخين والتبريد لضمان كفاءة التشغيل.
   • كما أنها حساسة للتلوث من الجسيمات أو الغازات التفاعلية التي يمكن أن تؤدي إلى تدهور سائل الضخ.
   • تكلفة الإعداد الأولية أعلى مقارنةً بمضخات التفريغ الأخرى، ولكن الفوائد طويلة الأجل لأداء التفريغ العالي غالبًا ما تبرر الاستثمار.

من خلال فهم هذه النقاط الرئيسية، يمكن للمشتري اتخاذ قرار مستنير بشأن ما إذا كانت مضخة التفريغ بالانتشار مناسبة لاستخدامه المحدد، خاصةً عند إقرانها مع مضخة تفريغ الحجاب الحاجز للحصول على الأداء الأمثل.

جدول ملخص:

الجانب	التفاصيل
مبدأ العمل	يستخدم نفاثة بخار عالية السرعة لحبس جزيئات الغاز، مما يؤدي إلى تفريغ الهواء.
المكونات الرئيسية	مصدر بخار، ونظام فوهة، ونظام تبريد، ومضخة دعم.
المزايا	مستويات تفريغ عالية، وعدم وجود أجزاء متحركة، ومقاومة للمواد الكيميائية.
التطبيقات	تصنيع أشباه الموصلات ومختبرات الأبحاث ومحاكاة الفضاء.
المقارنة	الأفضل للتفريغ العالي؛ وغالبًا ما تقترن بمضخات غشائية للاستخدام الأمثل.
الصيانة	تتطلب صيانة منتظمة لأنظمة التدفئة والتبريد.

اكتشف كيف يمكن لمضخة تفريغ الهواء بالانتشار أن تعزز عمليات التفريغ العالي لديك- اتصل بخبرائنا اليوم !