الفيلم المرشوش عبارة عن طبقة رقيقة من المواد التي يتم إنشاؤها من خلال عملية تسمى الرش الرذاذ، والتي تنطوي على قذف الذرات من مادة مستهدفة على ركيزة باستخدام قصف الجسيمات عالية الطاقة. تُستخدم هذه الطريقة على نطاق واسع في الصناعات لترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز مختلفة، وهي ضرورية للتطبيقات في أشباه الموصلات والأجهزة البصرية والألواح الشمسية.
ملخص الإجابة:
يتم إنتاج الفيلم المرشوش عن طريق عملية الرش بالرش، حيث تقصف جسيمات عالية الطاقة مادة مستهدفة، مما يؤدي إلى قذف الذرات وترسيبها على الركيزة. هذه التقنية ضرورية لإنشاء الأغشية الرقيقة في مختلف الصناعات نظرًا لقدرتها على ترسيب مجموعة واسعة من المواد بشكل متسق وعلى أشكال وأحجام متنوعة من الركائز.
-
شرح كل جزء:عملية الاخرق:
-
تنطوي عملية الاخرق على استخدام جهاز يسمى الاخرق الذي يعمل في بيئة مفرغة من الهواء. يتم إدخال غاز الأرجون، ويتم وضع مادة مستهدفة مقابل الركيزة. يتم تطبيق الجهد، عادةً من خلال التيار المستمر أو التردد اللاسلكي (RF) أو طرق التردد المتوسط. يقوم هذا الجهد بتأيين غاز الأرجون، مما يؤدي إلى تكوين بلازما. يتم تسريع جسيمات الأرجون المتأينة (الأيونات) نحو المادة المستهدفة لتضربها بطاقة عالية. ويتسبب هذا التأثير في طرد الذرات من الهدف بسبب تبادل الزخم.
-
ترسيب الأغشية الرقيقة:
-
تكون الذرات المقذوفة من المادة المستهدفة في حالة غير متوازنة وتميل إلى الترسيب على جميع الأسطح داخل غرفة التفريغ. وتقوم الركيزة الموضوعة في الحجرة بتجميع هذه الذرات، مكونة طبقة رقيقة. تعتبر عملية الترسيب هذه حاسمة في صناعات مثل أشباه الموصلات، حيث تكون سماكة الفيلم الدقيقة والمتسقة ضرورية لأداء الجهاز.التطبيقات والأهمية:
تُعد الأغشية المرشحة حيوية في العديد من التطبيقات التكنولوجية، بما في ذلك شاشات LED والمرشحات البصرية والألواح الشمسية. وتصبح القدرة على ترسيب الأغشية الرقيقة ذات الجودة العالية والاتساق ممكنة عن طريق الرش الرقيق، الذي يمكنه التعامل مع مجموعة متنوعة من المواد وأحجام الركائز. هذا التنوع والدقة يجعلان من تقنية الاخرق تقنية لا غنى عنها في عمليات التصنيع الحديثة.
تلف الرذاذ
